一种特气柜系统及其抽真空的方法与流程

本发明是关于特气柜，特别是关于一种特气柜系统及其抽真空的方法。

背景技术：

1、特气柜主要用要供应特种气体，如易燃、易爆、剧毒等，主要用于半导体和led的新兴行业，电子特气柜的主要目的是安全输送特气，在进行特气柜的充气时，将压缩的气体灌入到特气柜内部，通过特气柜对压缩的气体利用即可，重所周知，操作特气的主要要求之一是保证压力和纯度，压力通过调压压阀来实现；纯度可通过系统的高气密性避免无外部污染和通过过滤器过滤气体中的微粒来实现，而特气钢瓶操作的主要危险在于：换瓶前钢瓶阀门未关死或者管路中残留有危害性气体；换瓶后钢瓶接头未连接好，导致开瓶时气体溢出。

技术实现思路

1、为了克服现有的问题，本申请实施例提供一种特气柜系统及其抽真空的方法，整体气密性能良好，有相应过滤装置进行油气以及固体颗粒等过滤分离，保证系统管路的纯净度，避免了管路中残留有危害性气体，同时各个构件阀体连接紧密，开启方便，气密性能良好，具有良好的防锈能力和较长的使用寿命。

2、本申请实施例解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种特气柜系统及其抽真空的方法，特气柜系统包括真空抽取模块、供气组件以及吹扫模块，所述真空抽取模块、供气组件以及吹扫模块通过管路连接，所述供气组件的一端设有猪尾管，另一端设有气体出口，通过将气体从猪尾管内部导入，最后经过供气组件，从气体出口排出即可；

4、其中，所述供气组件包括低压气体隔离阀、调压阀、高压隔离阀以及气源压力表，关闭所述高压排空阀、气体隔离阀以及低压气体隔离阀，打开所述真空供给阀、低压排空阀、高压隔离阀以及切断阀，当所述真空压力表上的显示压力低于设定值时，抽真空完成，所述低压气体隔离阀以及所述调压阀连接管路设有在线式过滤器，所述调压阀的顶端设有压力表，观察所述气源压力表，打开所述阀门高压隔离阀以及调压阀，并观察压力表的压力变化，打开所述低压气体隔离阀，用于进行特气柜供气，所述高压隔离阀以及气源压力表连接管路设有切断阀，所述高压隔离阀以及气源压力表连接管路设有垫片式过滤器，用于进行油气以及固体颗粒过滤分离，从而保证系统管路纯净度。

5、优选的，所述真空抽取模块包括真空供给阀、真空发生器、高压排空阀以及低压排空阀，所述高压排空阀以及低压排空阀连接管道设有真空压力表，所述真空供给阀以及所述真空发生器连接管路设有第一单向阀，所述真空发生器以及低压排空阀连接管路设有第二单向阀，所述真空抽取模块还包括放空口以及真空抽取氮气进口。

6、优选的，所述吹扫模块包括用于吹扫氮气的吹扫氮气进口以及设置于所述吹扫氮气进口底端的气体隔离阀，所述气体隔离阀与所述吹扫氮气进口连接管路设有第三单向阀，关闭所述低压排空阀、低压气体隔离阀以及高压排空阀，打开所述气体隔离阀，观察所述气源压力表上的显示压力与吹扫气源的压力相等即可。

7、一种特气柜抽真空的方法，该特气柜适用于权利要求-任一所述的特气柜抽真空的方法，所述特气柜抽真空的方法如下：

8、关闭所述高压排空阀、气体隔离阀以及低压气体隔离阀，打开所述真空供给阀、低压排空阀、高压隔离阀以及切断阀，当所述真空压力表上的显示压力低于设定值时，抽真空完成；

9、关闭所述低压排空阀、低压气体隔离阀以及高压排空阀，打开所述气体隔离阀，观察所述气源压力表上的显示压力与吹扫气源的压力相等即可；

10、观察所述气源压力表，打开所述阀门高压隔离阀以及调压阀，并观察压力表的压力变化，打开所述低压气体隔离阀，用于进行特气柜供气。

11、本申请实施例的优点是：

12、本发明中整体气密性能良好，有相应过滤装置进行油气以及固体颗粒等过滤分离，保证系统管路的纯净度，避免了管路中残留有危害性气体，同时各个构件阀体连接紧密，开启方便，气密性能良好，具有良好的防锈能力和较长的使用寿命。

技术特征：

1.一种特气柜系统，其特征在于，特气柜系统包括真空抽取模块、供气组件(8)以及吹扫模块，所述真空抽取模块、供气组件(8)以及吹扫模块通过管路连接；

2.如权利要求1所述的一种特气柜系统，其特征在于，所述真空抽取模块包括真空供给阀(1)、真空发生器(3)、高压排空阀(6)以及低压排空阀(7)，所述真空供给阀(1)以及所述真空发生器(3)连接管路设有第一单向阀(2)，所述真空发生器(3)以及低压排空阀(7)连接管路设有第二单向阀(4)。

3.如权利要求2所述的一种特气柜系统，其特征在于，所述高压排空阀(6)以及低压排空阀(7)连接管道设有真空压力表(5)。

4.如权利要求1所述的一种特气柜系统，其特征在于，所述吹扫模块包括用于吹扫氮气的吹扫氮气进口(14)以及设置于所述吹扫氮气进口(14)底端的气体隔离阀(9)，所述气体隔离阀(9)与所述吹扫氮气进口(14)连接管路设有第三单向阀(10)。

5.如权利要求1所述的一种特气柜系统，其特征在于，所述调压阀(18)的顶端设有压力表(22)，所述高压隔离阀(19)以及气源压力表(21)连接管路设有切断阀(20)。

6.如权利要求1所述的一种特气柜系统，其特征在于，所述供气组件(8)的一端设有猪尾管(15)，另一端设有气体出口(11)。

7.如权利要求1所述的一种特气柜系统，其特征在于，所述真空抽取模块还包括放空口(12)以及真空抽取氮气进口(13)。

8.一种特气柜抽真空的方法，其特征在于，该特气柜适用于权利要求1-7任一所述的特气柜抽真空的方法，所述特气柜抽真空的方法如下：

技术总结本申请提供了一种特气柜系统及其抽真空的方法，涉及特气柜技术领域，特气柜系统包括真空抽取模块、供气组件以及吹扫模块，真空抽取模块、供气组件以及吹扫模块通过管路连接，其中，供气组件包括低压气体隔离阀、调压阀、高压隔离阀以及气源压力表，低压气体隔离阀以及调压阀连接管路设有在线式过滤器，高压隔离阀以及气源压力表连接管路设有垫片式过滤器，用于进行油气以及固体颗粒过滤分离，从而保证系统管路纯净度，其中，整体气密性能良好，有相应过滤装置进行油气以及固体颗粒等过滤分离，保证系统管路的纯净度，避免了管路中残留有危害性气体，同时各个构件阀体连接紧密，开启方便，气密性能良好，具有良好的防锈能力和较长的使用寿命。技术研发人员：李超,陈伟才,殷志亮,郑孙校受保护的技术使用者：安徽壹月科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/12