一种高稳定真空压强控制系统的制作方法

本发明属于真空压强控制，具体涉及一种高稳定真空压强控制系统。

背景技术：

1、现国内厂家的真空压强控制仪通常采用真空测量仪加电磁脉冲阀的方式，依靠真空测量仪不断检查真空度，再根据检查到的真空压强值与控制压强的目标值对电磁阀进行pid调节后最终达到理想的真空压强，其优点是调节简单，成本低廉，但问题是电磁阀采用的是脉宽调制方式工作，使得送入真空腔体内的气体也为断续进去状态，因此使得pid的精细调节异常困难，稳定度较低，也有厂家采用直流控制电磁阀的方式来解决上述问题，但出于电磁阀的本身结构会出现启停控制失调等问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于：提供一种高稳定真空压强控制系统，解决传统控制系统因为电磁阀的不线性和有开启阀值导致的进入控制过程慢、稳定度低，以及电磁阀的脉动开合导致的气流断续造成实际真空度波动的问题。

2、本发明采用的技术方案如下：

3、一种高稳定真空压强控制系统，包括真空规管、真空测量控制仪、气体质量流量计，所述真空规管与真空测量控制仪电信号连接，所述真空测量控制仪与气体质量流量计电信号连接，所述真空规管的探测端设置在真空室内，所述气体质量流量计设置在真空室的气体输送管上。

4、进一步地，所述真空测量控制仪包括信号放大与处理模块、比较模块、真空度设定模块。

5、进一步地，所述信号放大与处理模块与真空规管电信号连接，所述信号放大与处理模块、真空度设定模块与比较模块电信号连接，所述比较模块与气体质量流量计电信号连接。

6、进一步地，所述真空测量控制仪还电信号连接有上位机。

7、综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

8、1、本发明中，真空规管为用于检测真空室内真空度的传感器件，用于把真空度变换为模拟电信号；真空测量控制仪的信号放大与处理模块用于把真空规管测得的模拟电信号放大，再处理转换为数字信号，以便显示和上传到上位机；真空测量控制仪的真空度设定模块用于设定真空室的真空度，通过比较模块不断比较测量的真空度与设定的真空度的差值生成控制信号；流量计用于根据真空测量控制仪生成的控制信号，调节充气流量，使真空室的真空度稳定在设定值。由于控制信号是从0伏开始起控，且气体流量与控制信号是线性对应关系，使得本系统进入控制过程快，稳定度高，气流输送平稳，有效解决了传统控制系统因为电磁阀的不线性和有开启阀值导致的进入控制过程慢、稳定度低，以及电磁阀的脉动开合导致的气流断续造成实际真空度波动的问题。

技术特征：

1.一种高稳定真空压强控制系统，其特征在于，包括真空规管、真空测量控制仪、气体质量流量计，所述真空规管与真空测量控制仪电信号连接，所述真空测量控制仪与气体质量流量计电信号连接，所述真空规管的探测端设置在真空室内，所述气体质量流量计设置在真空室的气体输送管上。

2.按照权利要求1所述的一种高稳定真空压强控制系统，其特征在于，所述真空测量控制仪包括信号放大与处理模块、比较模块、真空度设定模块。

3.按照权利要求2所述的一种高稳定真空压强控制系统，其特征在于，所述信号放大与处理模块与真空规管电信号连接，所述信号放大与处理模块、真空度设定模块与比较模块电信号连接，所述比较模块与气体质量流量计电信号连接。

4.按照权利要求1所述的一种高稳定真空压强控制系统，其特征在于，所述真空测量控制仪还电信号连接有上位机。

技术总结本发明公开了一种高稳定真空压强控制系统，属于真空压强控制技术领域，目的在于解决传统控制系统因为电磁阀的不线性和有开启阀值导致的进入控制过程慢、稳定度低，以及电磁阀的脉动开合导致的气流断续造成实际真空度波动的问题。其包括真空规管、真空测量控制仪、气体质量流量计，真空规管与真空测量控制仪电信号连接，真空测量控制仪与气体质量流量计电信号连接，真空规管的探测端设置在真空室内，气体质量流量计设置在真空室的气体输送管上。真空测量控制仪的信号放大与处理模块与真空规管电信号连接，信号放大与处理模块、真空度设定模块与比较模块电信号连接，比较模块与气体质量流量计电信号连接。本发明适用于一种高稳定真空压强控制系统。技术研发人员：方俊,薛照明,薛海受保护的技术使用者：成都天一国泰真空设备有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/30