厚度测试方法、厚度测试设备与太阳能电池与流程

【】本申请涉及光伏，尤其涉及一种厚度测试方法、厚度测试设备与太阳能电池。

背景技术

0、背景技术：

1、太阳能电池生产的智能化是近年来光伏制造业的一个重要发展趋势，旨在通过自动化和信息化的融合，提高电池生产效率和降低生产成本的同时，保证产品质量。

2、目前，电池生产使用的在线监控设备的需求量与日俱增，但仍无法实现对在制电池的磷掺杂多晶硅层的厚度的在线检测，需要额外制备厚度监控片，且测试时间相对较长，测试流程复杂，因此，需要进一步优化检测方法。

技术实现思路

0、技术实现要素：

1、鉴于此，本申请提供一种厚度测试方法、厚度测试设备与太阳能电池，实现对在制电池的磷掺杂多晶硅层的在线检测，无需设置额外的厚度监控片。

2、第一方面，本申请提供一种厚度测试方法，所述厚度测试方法包括如下步骤：

3、准备待测电池片，所述待测电池片包含基底层，依次层叠设置于所述基底层的表面的隧穿介质层与磷掺杂多晶硅层，所述磷掺杂多晶硅层的厚度为t；

4、采用红外入射光透过所述待测电池片，得到透过所述待测电池片的红外接收光的能量反馈值n；

5、通过所述能量反馈值n表征所述磷掺杂多晶硅层的厚度t；其中，所述磷掺杂多晶硅层的厚度t与所述能量反馈值n的关系满足：t＝an+x，a为修正系数，-50≤a＜0，x为补偿值，0＜x≤20000。

6、在一些实施方式中，所述修正系数a与补偿值x采用如下方法得到：

7、制备基底层，在所述基底层上形成厚度为ti的磷掺杂多晶硅层，得到待测电池片；

8、采用红外入射光透过所述待测电池片，得到透过所述待测电池片的红外接收光的能量反馈值ni；

9、将所述磷掺杂多晶硅层的厚度ti与所述能量反馈值ni带入ti＝aini+xi，得到ai与xi；

10、计算ai与xi的平均值，得到所述修正系数a与补偿值x，其中，0＜i＜n。

11、在一些实施方式中，所述红外入射光的波长为1500nm～10000nm。

12、在一些实施方式中，所述红外入射光透过所述待测电池片的时间t＜1s。

13、在一些实施方式中，所述红外入射光的光路垂直于所述待测电池片的表面。

14、在一些实施方式中，所述红外入射光从所述待测电池片的正面入射，所述红外接收光从所述待测电池片的背面接收。

15、在一些实施方式中，所述待测电池片为在制电池片。

16、在一些实施方式中，所述基底层的表面具有金字塔结构。

17、第二方面，本申请提供一种厚度测试设备，所述厚度测试设备使用第一方面任一项所述的厚度测试方法；

18、所述厚度测试设备包括红外发射件与红外接收件，所述红外发射件与所述红外接收件的轴线重合。

19、第三方面，本申请提供一种太阳能电池片，所述太阳能电池片包含磷掺杂多晶硅层，所述磷掺杂多晶硅层采用第一方面任一项所述的厚度测试方法进行厚度检测或采用第二方面所述的厚度测试设备进行厚度检测。

20、采用本申请的技术方案后，至少具有如下有益效果：

21、本申请的厚度测试方法，依据红外光透过不同厚度磷掺杂多晶硅层的电池片时能量存在线性化规律的关系，采用红外入射光从太阳能电池片的正面进入，从太阳能电池片的背面接收红外接收光，再通过测试红外接收光的能量反馈值n，最后使用公式t＝an+x(a为修正系数，-50≤a＜0，x为补偿值，0＜x≤20000)表征磷掺杂多晶硅层的厚度。即本申请的厚度测试方法可实现对在制电池的磷掺杂多晶硅层厚度的实时测试，不需要额外制备监控片，缩短磷掺杂多晶硅层的厚度测试时间，简化测试流程。

技术特征：

1.一种厚度测试方法，其特征在于，所述厚度测试方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述厚度测试方法，其特征在于，所述修正系数a与补偿值x采用如下方法得到：

3.根据权利要求1所述厚度测试方法，其特征在于，所述红外入射光的波长为1500nm～10000nm。

4.根据权利要求1所述厚度测试方法，其特征在于，所述红外入射光透过所述待测电池片的时间t＜1s。

5.根据权利要求1所述厚度测试方法，其特征在于，所述红外入射光的光路垂直于所述待测电池片的表面。

6.根据权利要求1所述厚度测试方法，其特征在于，所述红外入射光从所述待测电池片的正面入射，所述红外接收光从所述待测电池片的背面接收。

7.根据权利要求1所述厚度测试方法，其特征在于，所述待测电池片为在制电池片。

8.根据权利要求1所述厚度测试方法，其特征在于，所述基底层的表面具有金字塔结构。

9.一种厚度测试设备，其特征在于，所述厚度测试设备使用权利要求1～8任一项所述的厚度测试方法；

10.一种太阳能电池片，其特征在于，所述太阳能电池片包含磷掺杂多晶硅层，所述磷掺杂多晶硅层采用权利要求1～8任一项所述的厚度测试方法进行厚度检测或采用权利要求9所述的厚度测试设备进行厚度检测。

技术总结本申请涉及光伏技术领域，尤其涉及一种厚度测试方法、厚度测试设备与太阳能电池，厚度测试方法包括如下步骤：准备待测电池片，待测电池片包含基底层，依次层叠设置于基底层的表面的隧穿介质层与磷掺杂多晶硅层，磷掺杂多晶硅层的厚度为T；采用红外入射光透过待测电池片，得到透过待测电池片的红外接收光的能量反馈值N；通过能量反馈值N表征磷掺杂多晶硅层的厚度T；其中，磷掺杂多晶硅层的厚度T与能量反馈值N的关系满足：T＝aN+x，a为修正系数，‑50≤a＜0，x为补偿值，0＜x≤20000。本申请的厚度测试方法，采用红外光线可以实现对在制电池的磷掺杂多晶硅层的在线检测，无需设置额外的厚度监控片，缩短磷掺杂多晶硅层的测试时间，简化测试流程。技术研发人员：查通,吴君立,金井升,张昕宇受保护的技术使用者：晶科能源（海宁）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25