一种晶圆吹扫用承载盒的制作方法

本技术涉及承载装置，具体为一种晶圆吹扫用承载盒。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，当硅晶圆经过加工、制造形成硅太阳能电池后，由于pn结和费米能级的差异，导致载流子分离形成电压，进而有饱和电流、填充因子和光电转化效率等电性能参数直观反映并影响太阳能电池伏安特性，载流子寿命是反映材料和器件缺陷浓度的重要参数，也是衡量器件开关速度、电流增益、电压等特性的重要指标，同时对半导体激光器、光电探测器以及太阳能电池等光电子器件的电光和光电转化效率起到重要作用；

2、目前在晶圆加工完成后，需要对其进行吹扫清理，在其吹扫的过程中，需要将晶圆进行固定，但是其固定元件容易对晶圆表面造成划伤，对后续的加工造成不便，且在对吹扫完成或待加工的晶圆进行放取时较为不便。

3、鉴于此，我们提出一种晶圆吹扫用承载盒。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种晶圆吹扫用承载盒。

2、本实用新型的技术方案是：

3、一种晶圆吹扫用承载盒，包括晶圆吹扫用承载盒主体，所述晶圆吹扫用承载盒主体的内部安装有承载组件，所述承载组件的上方固定安装有工作台，所述工作台的上方安装有过滤板，所述过滤板的上方右侧固定安装有第二固定器，所述第二固定器的左侧安装有第一固定器，所述第一固定器的下方固定安装有伸缩柱，所述伸缩柱的末端开设有橡胶固定板。

4、作为优选的技术方案，所述工作台的侧面开设有安装孔，所述安装孔的外侧安装有防护组件。

5、作为优选的技术方案，所述防护组件的下方安装有安装框，所述安装框的下方安装有安装带，所述安装带的内部开设有调节槽，所述调节槽的内部安装有第一调节柱，所述第一调节柱的前端安装有推出槽。

6、作为优选的技术方案，所述推出槽的内部安装有挡尘板，所述挡尘板的上方安装有安装板，所述安装板的上方开设有观察板。

7、作为优选的技术方案，所述观察板的下方固定安装有第一防护板，所述第一防护板的下方固定安装有安装座。

8、作为优选的技术方案，所述安装座的上方开设有第一连接孔，所述第一连接孔的上方开设有第一吹扫连接孔。

9、作为优选的技术方案，所述第一吹扫连接孔的侧面安装有第二防护板，所述第二防护板的侧面开设有第二吹扫连接孔，所述第二吹扫连接孔的下方开设有底板。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型通过在承载组件的上方固定安装有工作台，工作台的上方安装有过滤板，过滤板的上方右侧固定安装有第二固定器，第二固定器的左侧安装有第一固定器，第一固定器的下方固定安装有伸缩柱，伸缩柱的末端开设有橡胶固定板，通过工作台对过滤板进行安装，将吹扫的杂物及粉尘进行收集，同时第一固定器及第二固定器对下方放置晶圆及晶圆放置板进行固定，其内部伸缩柱带动橡胶固定板进行挤压对晶圆进行挤压固定，不易对其晶圆表面造成划伤，以便于对晶圆进行吹扫清理。

12、2、本实用新型通过在防护组件的下方安装有安装框，安装框的下方安装有安装带，安装带的内部开设有调节槽，调节槽的内部安装有第一调节柱，第一调节柱的前端安装有推出槽，推出槽的内部安装有挡尘板，通过第一调节柱与工作台侧面安装孔进行连接，带动第一调节柱于安装框下方调节槽内部向右侧进行移动，带动工作台于侧面推出槽进行推出，以便于对晶圆进行取放。

技术特征：

1.一种晶圆吹扫用承载盒，包括晶圆吹扫用承载盒主体（1），其特征在于：所述晶圆吹扫用承载盒主体（1）的内部安装有承载组件（2），所述承载组件（2）的上方固定安装有工作台（21），所述工作台（21）的上方安装有过滤板（26），所述过滤板（26）的上方右侧固定安装有第二固定器（25），所述第二固定器（25）的左侧安装有第一固定器（22），所述第一固定器（22）的下方固定安装有伸缩柱（23），所述伸缩柱（23）的末端开设有橡胶固定板（24）。

2.如权利要求1所述的一种晶圆吹扫用承载盒，其特征在于：所述工作台（21）的侧面开设有安装孔（27），所述安装孔（27）的外侧安装有防护组件（3）。

3.如权利要求2所述的一种晶圆吹扫用承载盒，其特征在于：所述防护组件（3）的下方安装有安装框（33），所述安装框（33）的下方安装有安装带（34），所述安装带（34）的内部开设有调节槽（32），所述调节槽（32）的内部安装有第一调节柱（31），所述第一调节柱（31）的前端安装有推出槽（35）。

4.如权利要求3所述的一种晶圆吹扫用承载盒，其特征在于：所述推出槽（35）的内部安装有挡尘板（36），所述挡尘板（36）的上方安装有安装板（11），所述安装板（11）的上方开设有观察板（12）。

5.如权利要求4所述的一种晶圆吹扫用承载盒，其特征在于：所述观察板（12）的下方固定安装有第一防护板（15），所述第一防护板（15）的下方固定安装有安装座（13）。

6.如权利要求5所述的一种晶圆吹扫用承载盒，其特征在于：所述安装座（13）的上方开设有第一连接孔（14），所述第一连接孔（14）的上方开设有第一吹扫连接孔（16）。

7.如权利要求6所述的一种晶圆吹扫用承载盒，其特征在于：所述第一吹扫连接孔（16）的侧面安装有第二防护板（17），所述第二防护板（17）的侧面开设有第二吹扫连接孔（18），所述第二吹扫连接孔（18）的下方开设有底板（19）。

技术总结本技术涉及承载装置技术领域，具体为一种晶圆吹扫用承载盒，包括晶圆吹扫用承载盒主体，承载组件的上方固定安装有工作台，工作台的上方安装有过滤板，过滤板的上方右侧固定安装有第二固定器，第二固定器的左侧安装有第一固定器，第一固定器的下方固定安装有伸缩柱，伸缩柱的末端开设有橡胶固定板，通过工作台对过滤板进行安装，将吹扫的杂物及粉尘进行收集，同时第一固定器及第二固定器对下方放置晶圆及晶圆放置板进行固定，其内部伸缩柱带动橡胶固定板进行挤压对晶圆进行挤压固定，不易对其晶圆表面造成划伤，以便于对晶圆进行吹扫清理。技术研发人员：陆先锋受保护的技术使用者：无锡颂林达科技有限公司技术研发日：20231221技术公布日：2024/7/25