一种半导体机台的改良机构的制作方法

本发明涉及半导体机台，具体为一种半导体机台的改良机构。

背景技术：

1、半导体材料是一类具有半导体性能(导电能力介于导体与绝缘体之间，其电阻率约在1mω·cm～1gω·cm范围内、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料，而半导体机台是半导体加工过程中常用的设备之一，其可实现对半导体进行有效的加工，但是现有技术中的半导体机台在使用时，在其转动时不能配套的进行左右移动及摆动，从而降低了其调节效率和通风效率，因此我们提出了一种半导体机台的改良机构。

技术实现思路

1、本发明解决的技术问题在于克服现有技术的缺陷，提供一种半导体机台的改良机构。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体机台的改良机构，包括基座，所述基座的顶部通过螺栓连接有罩体，且罩体的顶部为开口设置，所述基座的顶部靠近后侧处通过螺栓连接有导轨，且导轨上滑动连接有u形板，所述u形板的顶部通过转轴和轴承活动连接有放置板，所述放置板的顶部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有侧板，所述放置板的底部靠近前侧处通过转轴和轴承活动连接有摆动管，且摆动管的前侧和后侧均为封闭设置，所述摆动管的前端靠近前侧处套设有管体，所述管体的底部焊接有旋转板，且旋转板的底部通过转轴和轴承与基座的顶部活动连接，所述基座的底部中间处通过螺栓连接有伺服电机，且旋转板底部上的转轴底端穿过轴承的内圈与伺服电机的输出轴固定连接，所述旋转板的左右两侧均通过螺栓连接有冷风机，且两个冷风机的出风口上均套接有l形管，所述l形管与冷风机相远离的一端与摆动管的内部相连通连接。

3、优选的，所述罩体的顶部通过螺栓连接有壳体，且壳体的底部为开口设置，所述罩体和壳体的前侧均安装有活动门，所述放置板的顶部靠近左右两侧处均滑动连接有夹板，所述壳体的左右两侧内壁靠近底部处通过螺栓连接有电缸，且电缸上的推杆与壳体内壁相远离的一端贯穿侧板并通过螺栓连接在夹板的侧壁上。

4、优选的，所述壳体的内腔顶部通过转轴和轴承活动连接有u形杆，且壳体的顶部通过螺栓连接有驱动电机，所述u形杆上的转轴顶端穿过轴承的内圈与驱动电机的输出轴固定连接，所述u形杆的底部通过螺栓连接有转盘，且转盘的顶部通过螺栓连接有吹风机，所述转盘的底部靠近左右两侧处通过螺栓连接有连接杆，且两个连接杆的底端通过螺栓连接有同一个第一喷气管，所述吹风机上的出风管底端贯穿转盘与第一喷气管的内部相连通连接。

5、优选的，所述u形板的前后侧内壁上均安装有第一滑块，且所述导轨的前后侧均开设有与第一滑块相匹配的第一滑槽。

6、优选的，所述罩体的左右两侧均连通连接有抽气泵，所述抽气泵上的出气口上套接有u形管，所述u形管与抽气泵相远离的一端连通连接有聚气盒，且聚气盒通过螺栓连接在壳体的外壁上，所述壳体的内腔顶部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有第二喷气管，所述第二喷气管与转盘相远离的一侧连通连接有导管，所述导管与第二喷气管相远离的一端贯穿壳体与聚气盒相连通连接。

7、优选的，所述夹板的底部上安装有第二滑块，且放置板的顶部上开设有与第二滑块相匹配的第二滑槽，两个所述夹板相对的一侧均安装有防护垫。

8、优选的，所述基座的底部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有支撑板，且两个支撑板以基座的中心轴线为对称轴呈左右对称设置。

9、一种半导体机台的改良机构的使用方法，包括以下步骤：

10、s1：首先打开基座及罩体前侧的活动门，将操作的设备置于放置板上；

11、s2：随之启动两个电缸，两个电缸带动两个夹板相合拢，并使得两个防护垫与设备的两侧相贴合，实现对设备进行固定并关闭两个电缸；

12、s3：随后可启动驱动电机、冷风机、吹风机、抽气泵及伺服电机，伺服电机带动旋转板左右转动，此时在管体及摆动管的配合下使得u形板在导轨上左右滑动，并使得摆动管和放置板左右摆动；

13、s4：接着冷风机通过l形管将冷风导入至摆动管内，并由摆动管上的出气口内喷出，实现有效的通风；

14、s5：此时吹风机将气体从第一喷气管喷出，实现对设备的顶部进行降温；

15、s6：而驱动电机通过转盘和u形杆带动第一喷气管转动，实现均匀降温；

16、s7：同步的是抽气泵通过u形管将罩体内的气体导入聚气盒内，并由导管导入至第二喷气管，并由第二喷气管喷出，实现左右降温的同时带动其内部空气进行循环流动。

17、与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过旋转、摆动管及管体等部件之间的相互配合，可实现带动u形板在导轨上左右滑动，且能够使得放置板及摆动管进行摆动，从而使得其转动时能配套的进行左右移动及摆动，从而提高了其调节效率和通风效率，到达在有效通风和降温的目的，提高了其工作效率。

技术特征：

1.一种半导体机台的改良机构，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)的顶部通过螺栓连接有罩体(6)，且罩体(6)的顶部为开口设置，所述基座(1)的顶部靠近后侧处通过螺栓连接有导轨(4)，且导轨(4)上滑动连接有u形板(2)，所述u形板(2)的顶部通过转轴和轴承活动连接有放置板(7)，所述放置板(7)的顶部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有侧板(11)，所述放置板(7)的底部靠近前侧处通过转轴和轴承活动连接有摆动管(21)，且摆动管(21)的前侧和后侧均为封闭设置，所述摆动管(21)的前端靠近前侧处套设有管体(25)，所述管体(25)的底部焊接有旋转板(23)，且旋转板(23)的底部通过转轴和轴承与基座(1)的顶部活动连接，所述基座(1)的底部中间处通过螺栓连接有伺服电机(24)，且旋转板(23)底部上的转轴底端穿过轴承的内圈与伺服电机(24)的输出轴固定连接，所述旋转板(23)的左右两侧均通过螺栓连接有冷风机(26)，且两个冷风机(26)的出风口上均套接有l形管(27)，所述l形管(27)与冷风机(26)相远离的一端与摆动管(21)的内部相连通连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体机台的改良机构，其特征在于：所述罩体(6)的顶部通过螺栓连接有壳体(17)，且壳体(17)的底部为开口设置，所述罩体(6)和壳体(17)的前侧均安装有活动门，所述放置板(7)的顶部靠近左右两侧处均滑动连接有夹板(9)，所述壳体(17)的左右两侧内壁靠近底部处通过螺栓连接有电缸(8)，且电缸(8)上的推杆与壳体(17)内壁相远离的一端贯穿侧板(11)并通过螺栓连接在夹板(9)的侧壁上。

3.根据权利要求1所述的一种半导体机台的改良机构，其特征在于：所述壳体(17)的内腔顶部通过转轴和轴承活动连接有u形杆(28)，且壳体(17)的顶部通过螺栓连接有驱动电机(18)，所述u形杆(28)上的转轴顶端穿过轴承的内圈与驱动电机(18)的输出轴固定连接，所述u形杆(28)的底部通过螺栓连接有转盘(14)，且转盘(14)的顶部通过螺栓连接有吹风机(13)，所述转盘(14)的底部靠近左右两侧处通过螺栓连接有连接杆(12)，且两个连接杆(12)的底端通过螺栓连接有同一个第一喷气管(10)，所述吹风机(13)上的出风管底端贯穿转盘(14)与第一喷气管(10)的内部相连通连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体机台的改良机构，其特征在于：所述u形板(2)的前后侧内壁上均安装有第一滑块，且所述导轨(4)的前后侧均开设有与第一滑块相匹配的第一滑槽。

5.根据权利要求1所述的一种半导体机台的改良机构，其特征在于：所述罩体(6)的左右两侧均连通连接有抽气泵(5)，所述抽气泵(5)上的出气口上套接有u形管(20)，所述u形管(20)与抽气泵(5)相远离的一端连通连接有聚气盒(19)，且聚气盒(19)通过螺栓连接在壳体(17)的外壁上，所述壳体(17)的内腔顶部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有第二喷气管(15)，所述第二喷气管(15)与转盘(14)相远离的一侧连通连接有导管(16)，所述导管(16)与第二喷气管(15)相远离的一端贯穿壳体(17)与聚气盒(19)相连通连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体机台的改良机构，其特征在于：所述夹板(9)的底部上安装有第二滑块，且放置板(7)的顶部上开设有与第二滑块相匹配的第二滑槽，两个所述夹板(9)相对的一侧均安装有防护垫(22)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体机台的改良机构，其特征在于：所述基座(1)的底部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有支撑板(3)，且两个支撑板(3)以基座(1)的中心轴线为对称轴呈左右对称设置。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种半导体机台的改良机构的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结本发明公开了一种半导体机台的改良机构，包括基座，所述基座的顶部通过螺栓连接有罩体，且罩体的顶部为开口设置，所述基座的顶部靠近后侧处通过螺栓连接有导轨，且导轨上滑动连接有U形板，所述U形板的顶部通过转轴和轴承活动连接有放置板，所述放置板的顶部靠近左右两侧处均通过螺栓连接有侧板，所述放置板的底部靠近前侧处通过转轴和轴承活动连接有摆动管，本发明通过旋转、摆动管及管体等部件之间的相互配合，可实现带动U形板在导轨上左右滑动，且能够使得放置板及摆动管进行摆动，从而使得其转动时能配套的进行左右移动及摆动，从而提高了其调节效率和通风效率，到达在有效通风和降温的目的，提高了其工作效率。技术研发人员：杨永梅,张茂成受保护的技术使用者：杨永梅技术研发日：技术公布日：2024/7/29