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平板探测器、驱动方法、探测装置及成像系统与流程

  • 国知局
  • 2024-07-31 19:02:29

本申请涉及平板探测器,更具体而言,涉及到一种平板探测器、驱动方法、探测装置及成像系统。

背景技术:

1、在相关技术中,平板探测器可以增加光电转换器的数量来提高分辨率,使得探测器可以输出更高质量的图像。

2、但是,增加光电转换器的数量会导致平板探测器需要设计更多的走线。例如,在一个薄膜晶体管驱动一个光电转换器的结构中,光电转换器增加到原先的四倍,薄膜晶体管也需要增加到原先的四倍,对应的薄膜晶体管走线也需要增加到原先的四倍。而平板探测器的走线存在空间的限制,进而导致探测器面板的分辨率存在限制。

技术实现思路

1、本申请实施方式提供一种平板探测器、驱动方法、探测装置及成像系统。

2、本申请实施方式提供的平板探测器包括基底、多条数据线和多条栅线。所述多条数据线与所述多条栅线划分出多个探测单元。至少一个所述探测单元包括光电转换器和薄膜晶体管。所述光电转换器包括靠近所述基底一侧设置的底电极,所述薄膜晶体管的第一极与所述数据线连接,所述薄膜晶体管的第二极与所述底电极连接。在一个所述探测单元中,所述光电转换器包括至少四个子光电转换器,至少四个所述子光电转换器与同一个所述底电极电连接。

3、如此,相比于一个薄膜晶体管驱动一个子光电转换器的结构,本申请实施方式提供的平板探测器中薄膜晶体管的走线减少,平板探测器的走线空间的限制减少,以便平板探测器增加子光电转换器的数量实现更高的分辨率。

4、在某些实施方式中,每个所述子光电转换器远离所述基底一侧设置有对应的顶电极,所述探测单元还包括至少四条偏压线,每条所述偏压线通过贯穿钝化层的过孔与对应的一个所述顶电极电连接。

5、如此,在一个探测单元中,在多个子光电转换器共用一个底电极的情况下,每个子光电转换器可以独立工作。

6、在某些实施方式中,在一个所述探测单元中,沿行方向排布的相邻两个所述子光电转换器对应的所述顶电极连接的所述钝化层的过孔位于同一行。

7、如此,钝化层的过孔的位置可以沿行方向设置,有利于提高钝化层的过孔的制程效率。

8、在某些实施方式中,在一个所述探测单元中,沿列方向排布的相邻两个所述子光电转换器对应的所述顶电极连接的所述钝化层的过孔位于不同列。

9、如此,多条偏压线可以沿列方向排布,有利于偏压线的布线。

10、在某些实施方式中,在一个所述探测单元中,每两个所述子光电转换器对应的所述钝化层的过孔关于所述探测单元的中心点对称,所述探测单元的中心点基于多个所述子光电转换器的排布位置确定。

11、如此,每两个钝化层的过孔的位置可以关于中心点对称,有利于提高钝化层的过孔的制程效率。

12、本申请实施方式提供的驱动方法用于上述实施方式的平板探测器,驱动方法包括:对每个所述子光电转换器提供对应的偏置电压,以驱动对应的所述子光电转换器工作,其中,每个所述子光电转换器基于连接的所述底电极的电压和所述偏置电压启动工作。

13、如此,对每个所述子光电转换器提供对应的偏置电压,可以驱动对应的所述子光电转换器独立工作。

14、在某些实施方式中,所述驱动方法包括:驱动对应的所述子光电转换器工作,以使所述子光电转换器将接收的光信号转换成电信号。

15、如此,驱动对应的所述子光电转换器独立工作,可以使得对应的所述子光电转换器独立提供对应的电信号。

16、在某些实施方式中,在驱动对应的所述子光电转换器工作之后,所述驱动方法包括:驱动读取电路读取所述光电转换单元输出的电信号,以使所述读取电路根据读取的电信号提供显示信息。

17、如此,读取电路可以根据每个子光电转换器独立提供的电信号生成对应的灰度图像,使得平板探测器的分辨率基于子光电转换器的数量确定,以便提高平板探测器的分辨率。

18、本申请实施方式提供的探测装置包括上述实施方式的平板探测器。

19、本申请实施方式提供的成像系统包括上述实施方式的平板探测装置。

20、在本申请实施方式提供的平板探测器、驱动方法、探测装置及成像系统中,平板探测器包括基底、多条数据线和多条栅线。多条数据线与多条栅线划分出多个探测单元。至少一个探测单元包括光电转换器和薄膜晶体管。光电转换器包括靠近基底一侧设置的底电极,薄膜晶体管的第一极与数据线连接,薄膜晶体管的第二极与底电极连接。在一个探测单元中,光电转换器包括至少四个子光电转换器,至少四个子光电转换器与同一个底电极电连接。相比于一个薄膜晶体管驱动一个子光电转换器的结构,本申请实施方式提供的平板探测器中薄膜晶体管的走线减少,平板探测器的走线空间的限制减少,以便平板探测器增加子光电转换器的数量实现更高的分辨率。

21、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本申请的实践了解到。

技术特征:

1.一种平板探测器,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的平板探测器,其特征在于,每个所述子光电转换器远离所述基底一侧设置有对应的顶电极,所述探测单元还包括至少四条偏压线,每条所述偏压线通过贯穿钝化层的过孔与对应的一个所述顶电极电连接。

3.根据权利要求2所述的平板探测器,其特征在于,在一个所述探测单元中,沿行方向排布的相邻两个所述子光电转换器对应的所述顶电极连接的所述钝化层的过孔位于同一行。

4.根据权利要求2所述的平板探测器,其特征在于,在一个所述探测单元中,沿列方向排布的相邻两个所述子光电转换器对应的所述顶电极连接的所述钝化层的过孔位于不同列。

5.根据权利要求2所述的平板探测器,其特征在于,在一个所述探测单元中,每两个所述子光电转换器对应的顶电极连接的所述钝化层的过孔关于所述探测单元的中心点对称,所述探测单元的中心点基于多个所述子光电转换器的排布位置确定。

6.一种驱动方法,其特征在于,驱动方法用于权利要求1-5任一项所述的平板探测器,包括:

7.根据权利要求6所述的驱动方法,其特征在于,所述驱动方法包括:

8.根据权利要求7所述的驱动方法,其特征在于,在驱动对应的所述子光电转换器工作之后,所述驱动方法包括:

9.一种探测装置,其特征在于,所述探测装置包括权利要求1-5任一项所述的平板探测器。

10.一种成像系统,其特征在于,所述成像系统包括权利要求1-5任一项所述的平板探测器,或权利要求9所述的平板探测装置。

技术总结在本申请实施方式公开了一种平板探测器、驱动方法、探测装置及成像系统。平板探测器包括基底、多条数据线和多条栅线。多条数据线与多条栅线划分出多个探测单元。至少一个探测单元包括光电转换器和薄膜晶体管。光电转换器包括靠近基底一侧设置的底电极,薄膜晶体管的第一极与数据线连接,薄膜晶体管的第二极与底电极连接。在一个探测单元中,光电转换器包括至少四个子光电转换器,至少四个子光电转换器与同一个底电极电连接。相比于一个薄膜晶体管驱动一个子光电转换器的结构,本申请实施方式提供的平板探测器中薄膜晶体管的走线减少,平板探测器的走线空间的限制减少,以便平板探测器增加子光电转换器的数量实现更高的分辨率。技术研发人员:王震受保护的技术使用者:北京京东方光电科技有限公司技术研发日:技术公布日:2024/7/29

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