检查装置及检查方法与流程

本发明的一方式涉及一种检查装置及检查方法。

背景技术：

1、作为对晶圆上所形成的发光元件组的良好·不良进行判定的方法，已知有一种对发光元件所发出的光致发光进行观察，基于该光致发光的亮度进行发光元件的好坏判定的方法(例如参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2015-148447号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的问题

2、此处，存在例如因工艺不均(膜厚、杂质浓度等)导致晶圆上的各发光元件的亮度分布变得平缓的情况。在该情况下，难以仅基于亮度的绝对值来高精度地进行发光元件的好坏判定。

3、作为能够解决上述问题的方法，考虑如下方法：基于相对于发光元件组的平均亮度的判定对象的发光元件的亮度比率(即相对亮度)进行判定对象的发光元件的好坏判定，该发光元件组包含判定对象的发光元件与该发光元件的周边的发光元件。然而，例如在包含判定对象的发光元件的发光元件组(判定对象的发光元件及该发光元件的周边的发光元件)被污物等覆盖而成为暗区域的情况下，尽管发光元件组中所含的所有发光元件的亮度值的绝对值极低，但判定对象的发光元件的相对亮度不会变低，因此有将判定对象的发光元件判定为良品的担忧。

4、本发明的一方式鉴于上述实际情况而完成，其目的在于，高精度地进行基于光致发光的发光元件的好坏判定。

5、解决问题的技术手段

6、本发明的一方式的检查装置是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查装置，该多个发光元件包含第1发光元件及配置于该第1发光元件的周边的第2发光元件，上述检查装置具备：激发光源，其产生照射至对象物的激发光；摄像部，其对来自对象物的荧光进行摄像；及判定部，其基于由摄像部摄像的来自第1发光元件的荧光及来自第2发光元件的荧光计算来自第1发光元件的荧光的相对亮度，通过将基于来自第1发光元件的荧光的绝对亮度及相对亮度的计算值与规定的阈值进行比较而进行第1发光元件的好坏判定。

7、在本发明的一方式的检查装置中，基于被照射了激发光的第1发光元件的荧光及第2发光元件的荧光计算第1发光元件的相对亮度，将基于该相对亮度及第1发光元件的荧光的绝对亮度的计算值与规定的阈值进行比较，而进行第1发光元件的好坏判定。例如在判定对象的发光元件及该发光元件的周边的发光元件(发光元件组)被污物等覆盖而成为暗区域的情况下，尽管发光元件组中所含的所有发光元件的荧光的绝对亮度极低(即为不良品)，但判定对象的发光元件的相对亮度不会变低，因此若基于相对亮度进行好坏判定，则有将判定对象的发光元件判定为良品的担忧。就该方面而言，在本发明的一方式的检查装置中，不仅考虑相对亮度还考虑绝对亮度，基于自绝对亮度及相对亮度计算的计算值进行发光元件的好坏判定，因此在如上所述发光元件组成为暗区域那样的情况下，能够将即使相对亮度较高而绝对亮度也极低的发光元件判定为不良品。即，根据本发明的一方式的检查装置，可高精度地进行基于光致发光的发光元件的好坏判定。

8、在上述检查装置中，也可为，判定部将来自第1发光元件的荧光的绝对亮度及相对亮度的积作为计算值而计算，在该计算值小于阈值的情况下，将第1发光元件判定为不良品。通过计算绝对亮度及相对亮度的积，可将绝对亮度极低的(接近0的)发光元件的计算值恰当地设为较小的值，而将该发光元件恰当地判定为不良品。

9、在上述检查装置中，也可为，判定部将来自第1发光元件的荧光的绝对亮度的m次方(m为正数)及相对亮度的n次方(n为正数)的积作为计算值而计算，在该计算值小于阈值的情况下，将第1发光元件判定为不良品。通过计算绝对亮度及相对亮度的乘方的积，可将绝对亮度极低的(接近0的)发光元件的计算值更显著地设为较小的值，而可将该发光元件更恰当地判定为不良品。

10、上述检查装置也可还具备修正部，该修正部对来自第1发光元件的荧光进行考虑了来自配置于第1发光元件的周边的发光元件的荧光的影响的修正。认为摄像部所摄像的第1发光元件的荧光受到来自配置于第1发光元件的周边的发光元件的荧光的影响。就该方面而言，通过对来自第1发光元件的荧光考虑来自周边的发光元件的荧光的影响而进行修正，可基于来自第1发光元件的原本的荧光进一步高精度地进行第1发光元件的好坏判定。

11、在上述检查装置中，也可为，判定部自摄像部所摄像的对象物的区域中除了发光元件的缘部的区域取得来自发光元件的荧光。一般而言，发光元件在对象物中形成为台面状，且在缘部具有倾斜部。这样的倾斜部会反射光，结果若包含该倾斜部而计算亮度，则有无法恰当地计算来自发光元件的荧光的亮度的担忧。就该方面而言，通过自除了该倾斜部那样的缘部的区域取得荧光(来自发光元件的荧光)，可排除倾斜部的影响而恰当地取得来自发光元件的荧光。

12、本发明的一方式的检查方法是形成有多个发光元件的对象物的检查方法，该多个发光元件包含第1发光元件及配置于该第1发光元件的周边的第2发光元件，上述检查方法包括：照射步骤，其向对象物照射激发光；摄像步骤，其对来自对象物的荧光进行摄像；相对亮度计算步骤，其基于摄像步骤中所摄像的来自第1发光元件的荧光及来自第2发光元件的荧光计算来自第1发光元件的荧光的相对亮度；及判定步骤，其通过将基于来自第1发光元件的荧光的绝对亮度及相对亮度的计算值与规定的阈值进行比较而进行第1发光元件的好坏判定。

13、在上述检查方法的判定步骤中，也可将来自第1发光元件的荧光的绝对亮度及相对亮度的积作为计算值而计算，在该计算值小于阈值的情况下，将第1发光元件判定为不良品。

14、在上述检查方法的判定步骤中，也可将来自第1发光元件的荧光的绝对亮度的m次方(m为正数)及相对亮度的n次方(n为正数)的积作为计算值而计算，在该计算值小于阈值的情况下，将第1发光元件判定为不良品。

15、上述检查方法也可还包括修正步骤，该修正步骤在摄像步骤之后且相对亮度计算步骤之前，对来自第1发光元件的荧光进行考虑了来自配置于第1发光元件的周边的发光元件的荧光的影响的修正。

16、在上述检查方法的相对亮度计算步骤中，也可自摄像步骤中所摄像的对象物的区域中除了发光元件的缘部的区域取得来自发光元件的荧光。

17、发明的效果

18、根据本发明的一方式，可高精度地进行基于光致发光的发光元件的好坏判定。

技术特征：

1.一种检查装置，其中，

2.如权利要求1所述的检查装置，其中，

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其中，

4.如权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其中，

5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其中，

6.一种检查方法，其中，

7.如权利要求6所述的检查方法，其中，

8.如权利要求6或7所述的检查方法，其中，

9.如权利要求6～8中任一项所述的检查方法，其中，

10.如权利要求6～9中任一项所述的检查方法，其中，

技术总结检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置，该多个发光元件包含第1发光元件及配置于该第1发光元件的周边的第2发光元件，且上述检查装置具备：激发光源，其产生照射至样品的激发光；相机，其对来自样品的荧光进行摄像；及控制装置的判定部，其基于由相机摄像的来自第1发光元件的荧光及来自第2发光元件的荧光，计算来自第1发光元件的荧光的相对亮度，通过将基于来自第1发光元件的荧光的绝对亮度及相对亮度的计算值与规定的阈值进行比较而进行第1发光元件的好坏判定。技术研发人员：中村共则受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社技术研发日：技术公布日：2024/7/29