存储器装置的制作方法

在此描述的本公开的实施例涉及半导体装置，并且更具体地，涉及存储器装置。

背景技术：

1、半导体存储器被分类为当电力被关闭时存储的数据消失的易失性存储器(诸如，静态随机存取存储器(sram)或动态随机存取存储器(dram))或者即使当电力被关闭时存储的数据也被保留的非易失性存储器(诸如，闪存、相变ram(pram)、磁ram(mram)、电阻ram(rram)或铁电ram(fram))。

2、dram装置包括与字线和位线连接的存储器单元。通过位线，dram装置将数据存储在存储器单元中或者读取存储在存储器单元中的数据。通过全局输入/输出线，dram装置可将数据传送到位线或者可从位线接收数据。在这种情况下，当全局输入/输出线的rc负载由于各种因素而增大时，dram装置的操作的性能和可靠性降低。

技术实现思路

1、本公开的实施例提供具有提高的可靠性和提高的性能的存储器装置。

2、根据一些实施例，一种存储器装置包括：第一存储器单元，与第一字线和第一位线电连接；第一位线感测放大器电路，与第一位线电连接；第一局部感测放大器电路，通过第一局部输入/输出线与第一位线感测放大器电路电连接；第一局部驱动器，通过第一预全局输入/输出线与第一局部感测放大器电路电连接；以及感测放大器和写入驱动器，通过全局输入/输出线与第一局部驱动器电连接，并且第一局部驱动器基于针对第一存储器单元的操作选择性地将第一预全局输入/输出线与全局输入/输出线电断开。

3、根据一些实施例，一种存储器装置包括：第一子阵列，包括与全局输入/输出线连接的第一局部驱动器；以及第二子阵列，包括与全局输入/输出线连接的第二局部驱动器。当针对包括在第一子阵列中的第一存储器单元的操作被执行时，第二局部驱动器阻挡与全局输入/输出线的连接。当针对包括在第二子阵列中的第二存储器单元的操作被执行时，第一局部驱动器阻挡与全局输入/输出线的连接。

4、根据一些实施例，一种存储器装置包括：基底；晶体管层，在基底上，并且包括第一位线感测放大器电路、第一局部感测放大器电路和第一局部驱动器；布线层，在晶体管层上，并且包括第一局部输入/输出线和第一预全局输入/输出线，第一局部输入/输出线电连接第一位线感测放大器电路和第一局部感测放大器电路，第一预全局输入/输出线电连接第一局部感测放大器电路和第一局部驱动器；存储器单元层，在布线层上，并且包括通过第一位线与第一位线感测放大器电路电连接的第一存储器单元；以及金属层，在存储器单元层上，并且包括与第一局部驱动器电连接的全局输入/输出线。

技术特征：

1.一种存储器装置，包括：

2.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，第一位线感测放大器电路、第一局部感测放大器电路和第一局部驱动器被包括在晶体管层中，晶体管层在基底上，

3.根据权利要求2所述的存储器装置，其中，第一局部驱动器通过垂直穿透存储器单元层的接触塞与全局输入/输出线电连接。

4.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，第一局部驱动器被配置为：

5.根据权利要求4所述的存储器装置，其中，第一局部驱动器还被配置为：

6.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，第一局部驱动器包括：

7.根据权利要求6所述的存储器装置，其中，第一局部感测放大器电路包括：

8.根据权利要求1所述的存储器装置，还包括：

9.根据权利要求1所述的存储器装置，还包括：

10.根据权利要求9所述的存储器装置，其中，第二局部驱动器被配置为基于针对第二存储器单元的操作选择性地将第二预全局输入/输出线与全局输入/输出线电断开。

11.根据权利要求1所述的存储器装置，其中，第一存储器单元是动态随机存取存储器单元。

12.根据权利要求1至11中的任何一项所述的存储器装置，还包括：

13.一种存储器装置，包括：

14.根据权利要求13所述的存储器装置，其中，第一子阵列还包括：

15.根据权利要求14所述的存储器装置，其中，第一局部驱动器通过第一预全局输入/输出线与第一局部感测放大器电路电连接，并且

16.根据权利要求15所述的存储器装置，其中，第一局部驱动器包括：

17.根据权利要求16所述的存储器装置，其中，第一驱动晶体管的尺寸不同于第二驱动晶体管的尺寸。

18.根据权利要求15至17中的任何一项所述的存储器装置，其中，第一位线感测放大器电路、第二位线感测放大器电路、第一局部感测放大器电路、第二局部感测放大器电路、第一局部驱动器和第二局部驱动器被包括在晶体管层中，晶体管层在基底上，

19.一种存储器装置，包括：

20.根据权利要求19所述的存储器装置，其中，第一局部驱动器被配置为：

技术总结公开存储器装置，所述存储器装置包括：第一存储器单元，与第一字线和第一位线电连接；第一位线感测放大器电路，与第一位线电连接；第一局部感测放大器电路，通过第一局部输入/输出线与第一位线感测放大器电路电连接；第一局部驱动器，通过第一预全局输入/输出线与第一局部感测放大器电路电连接；以及感测放大器和写入驱动器，通过全局输入/输出线与第一局部驱动器电连接，并且第一局部驱动器基于针对第一存储器单元的操作选择性地将第一预全局输入/输出线与全局输入/输出线电断开。技术研发人员：申丞濬,姜映宇,赵东赫,徐宁焄受保护的技术使用者：三星电子株式会社技术研发日：技术公布日：2024/3/31