远程等离子体设备及其负载模拟方法与流程

本发明涉及等离子体处理设备，特别地涉及远程等离子体设备及其负载模拟方法。

背景技术：

1、等离子体设备用于制造芯片的各种行业，包括半导体、磁读写、磁存储和微机电系统。等离子体设备包括电容耦合等离子体(ccp)设备、电感耦合等离子体(icp)设备和变压器耦合等离子体(tcp)设备。

2、远程等离子体设备是半导体前道制程中的一项新兴的设备，集射频源和腔体于一体。通常，远程等离子体设备与主等离子设备的工艺腔体进行连接，在远程等离子体设备中激发的等离子体进入主等离子设备的工艺腔体以进行相应制造过程，例如芯片工艺中的刻蚀、原子层沉积、辅助物理气相沉积以及晶圆除胶、腔体清洁和尾气处理等环节。

3、由于远程等离子体设备是一个集成了射频源和腔体的综合设备，并且通常需要配合后续的工艺腔体。因此，在电路测试时要考虑工艺气体的流速和腔体压强等复杂的气体环境，且如果要使用工艺气体的话，需要申请工艺气体使用证明（实践中半导体特气的申请使用十分困难），这使得远程等离子体设备的电路调试或老化测试过程变得不易操作，且测试准确性下降。

4、因此，需要一种针对远程等离子设备的测试方法，能在等离子体激发后的复杂状态下便利地对远程等离子体设备进行测试。本申请适用于解决此需求。

技术实现思路

1、针对上文提到的在复杂气体环境下对远程等离子体的测试不便利的问题。

2、本申请提供了一种用于远程等离子体设备的负载模拟的方法，所述方法包括：设置激发等离子体的参数，所述等离子体产生在所述远程等离子体设备的腔体中；在所述腔体中激发等离子体；接收电参数值，所述电参数值来源于由所述远程等离子体设备检测到的电信号；建立数学模型，所述数学模型表征所述电参数值与所述等离子体的参数的关系。

3、可选地，所述激发等离子体的参数包括以下的一项或多项：所述腔体的压强、流入所述腔体的气体种类、流入所述腔体的气体流速、射频功率发生器的功率和射频功率发生器的频率。

4、可选地，所述电参数值包括表征所激发的等离子体的阻抗值。

5、可选地，所述电参数值包括由所述远程等离子体设备检测到的表征等离子体电特性的电压值、电流值和相位值。

6、可选地，所述数学模型包括至少一个电容和至少一个电感，用于表征所激发的等离子体的阻抗值。

7、可选地，所述数学模型还包括至少一个电阻。

8、本申请还提供了一种远程等离子体设备，包括：射频功率发生器和腔体，所述射频功率发生器激发产生在所述腔体中的等离子体；所述远程等离子体设备还包括：用于负载模拟的计算机可读介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被执行时实现以下步骤：接收所设置的激发等离子体的参数；接收电参数值，所述电参数值来源于由所述远程等离子体设备在等离子体被激发后检测到的电信号；建立数学模型，所述数学模型表征所述电参数值与所述等离子体的参数的关系。

9、可选地，所述激发等离子体的参数包括以下的一项或多项：所述腔体的压强、流入所述腔体的气体种类、流入所述腔体的气体流速、射频功率发生器的功率和射频功率发生器的频率。

10、可选地，所述电参数值包括由所述远程等离子体设备检测到的表征等离子体电特性的电压值、电流值和相位值。

11、可选地，所述数学模型包括至少一个电容和至少一个电感，用于表征所激发的等离子体的阻抗值。

12、本申请可实现如下的有益效果：本申请提供的电流传感器能在射频电流的频率发生较大范围的变动时仍能精确测量射频电流值。

13、通过用电阻、电容及电感等电气元件组合成远程等离子体的模拟负载，这样即使在复杂的气体环境下也可对远程等离子体设备进行电路测试，并且在测试中实现极大的便利。

14、上文相当广泛地概述了本申请的特征和技术优点，以便可以更好地理解以下对本申请的详细描述。下文将描述本申请的额外特征和优点，它们形成本申请的权利要求的主题。本领域技术人员应明白，可容易地利用公开的概念和特定实施例作为修改或设计用于实现本申请的相同目的的其它结构或过程的基础。本领域技术人员还应意识到，此类等效构造没有偏离随附权利要求中所阐述的本申请的精神和范围。

技术特征：

1.一种用于远程等离子体设备的负载模拟的方法，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

7.一种远程等离子体设备，包括：射频功率发生器和腔体，所述射频功率发生器激发产生在所述腔体中的等离子体；

8.根据权利要求7所述的远程等离子体设备，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的远程等离子体设备，其特征在于，

10.根据权利要求7所述的远程等离子体设备，其特征在于，

技术总结本申请提供了一种远程等离子体设备及其负载模拟方法，该方法包括：设置激发等离子体的参数，所述等离子体产生在所述远程等离子体设备的腔体中；在所述腔体中激发等离子体；接收电参数值，所述电参数值由所述远程等离子体设备检测到的电信号；建立数学模型，所述数学模型表征所述电参数值与所述等离子体的参数的关系。技术研发人员：刘睿哲,赵馗受保护的技术使用者：上海励兆科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23