等离子体 - 技术新讯

使用等离子体形成介电材料层的方法与流程

本公开总体涉及形成适用于电子器件制造的层的方法。更具体地，本公开的示例涉及使用等离子体形成低介电常数材料层的方法。背景技术：1、在器件(例如半导体器件)的制造过程中，通常希望用绝缘或介电材料填充衬底表......

2024-09-14 52

#等离子体#流程#材料

检测卡及其制备方法和在测量等离子体灭菌室内铝沾污浓度空间分布中的应用与流程

本发明涉及等离子体灭菌的，进一步地说，是涉及检测卡及其制备方法和在测量等离子体灭菌室内铝沾污浓度空间分布中的应用。背景技术：1、等离子体灭菌技术凭借其低温、无化学残留、不损伤器械、灭菌时间短等特点，广......

2024-09-14 52

#等离子体#浓度#测量

一种基于激光诱导等离子体刻蚀的钙钛矿图案化方法

本发明涉及一种基于激光诱导等离子体刻蚀的钙钛矿图案化方法，属于钙钛矿。背景技术：1、钙钛矿量子点是近年来大放异彩的半导体材料，以其高量子产率、可调带隙、宽色域、高纯度等优势活跃在超清显示和高端照明领域......

2024-09-14 6

#等离子体#诱导#图案

一种反应等离子体沉积镀膜用的ICO靶材及其制备方法与流程

本发明属于靶材制备，尤其涉及一种反应等离子体沉积镀膜用的ico靶材及其制备方法。背景技术：1、tco薄膜(透明导电氧化物薄膜，transparent conductive oxide)的镀膜方法主要有......

2024-09-14 91

#等离子体#制备方法#流程

一种等离子体化学转化装置

本发明属于等离子体生成，更具体地，涉及一种等离子体化学转化装置。背景技术：1、低温等离子体是一种具有高度物理和化学活性的物质，可以通过气体放电产生。因为自由电子从电场中获得足够的能量之后，跟气体中的原......

2024-09-11 75

#等离子体#装置#化学

等离子体催化制备甲醇的装置的制作方法

本申请涉及甲醇制备，尤其涉及一种等离子体催化制备甲醇的装置。背景技术：1、甲醇作为一种重要的化工原料，具有安全环保、易储存运输等优点，常用于制造烯烃、生物柴油、燃料添加剂等。目前工业上合成甲醇大多从化......

2024-09-11 65

#等离子体#甲醇#制作方法

等离子体活化雾消杀设备及方法与流程

本发明涉及空气消杀，具体涉及等离子体活化雾消杀设备及方法。背景技术：1、随着生活质量不断提升，用户对产品的要求也越来越高。特别是在家电产品行业中特别明显，传统的功能已经无法满足用户需求。比如对室内的空......

2024-09-05 43

#等离子体#流程#方法

具有可移动插入件的等离子体剥离工具的制作方法

本公开总体涉及使用等离子体源处理衬底的装置、系统及方法。背景技术：1、等离子体处理广泛用于半导体工业中，用于半导体晶片和其它衬底的沉积、蚀刻、抗蚀剂去除和相关处理。等离子体源(例如微波、ecr、电感等......

2024-09-05 60

#等离子体#制作方法#工具

一种基于深度学习的高灵敏表面等离子体检测系统及方法

本发明属于光学检测，具体涉及一种基于深度学习的高灵敏表面等离子体检测系统及方法。背景技术：1、表面等离子体共振显微镜(surface plasmon resonance microscopy，sprm......

2024-09-05 59

#等离子体#灵敏#检测系统

用于高深宽比蚀刻的等离子体蚀刻工具的制作方法

背景技术：1、等离子体蚀刻处理常用于半导体装置的制造过程中。越来越多的半导体装置根据越来越狭窄的设计规则确定尺寸。特征尺寸逐渐减小，且越来越多的特征被装载于单一晶片上以产生更高密度的结构。随着装置特征......

2024-09-05 17

#等离子体#制作方法#高深

一种磁化脉冲微波空气等离子体炬固氮装置

本发明属于等离子体，具体涉及一种磁化脉冲微波空气等离子体炬固氮装置。背景技术：1、等离子体固氮技术以电能为驱动力，实现n2向活性氮化物的有效转化，不仅具有即开即用、即关即停的便捷性，还非常适合消纳风电......

2024-09-05 37

#固氮#等离子体#脉冲

适用于电镜样品的等离子体清洗装置、系统及清洗方法

本公开的至少一种实施例涉及适用于电镜样品的等离子体清洗装置，尤其涉及一种适用于电镜样品的等离子体清洗装置、系统及清洗方法。背景技术：1、扫描电子显微镜（简称扫描电镜，sem）的电子束与电镜样品相互作用......

2024-08-30 10

#等离子体#适用于#样品

一种低温等离子体流化床反应器

本发明涉及流化床反应器，具体涉及一种低温等离子体流化床反应器。背景技术：1、流化床反应器因其高效的传质传热性能在工业中得到了广泛应用。在传统流化床反应器中，生物质颗粒和催化剂颗粒流动时易出现不均匀分布......

2024-08-30 56

#等离子体#流化床#反应器

一种带有等离子体激励装置的高超飞行器巡航段跟踪控制方法

本发明涉及飞行器制导控制领域，具体为一种带有等离子体激励装置的高超飞行器巡航段跟踪控制方法。背景技术：1、高超声速飞行器(飞行速度大于5倍马赫数)在临近空间机动飞行，飞行器表面与外界大气环境发生复杂的......

2024-08-30 18

#等离子体#飞行器#装置

基于CMOS兼容的等离子体氮化物纳米孔阵列光传感芯片及其制备方法和应用

本发明涉及光学微纳结构设计和片上集成微纳传感芯片，尤其涉及一种基于cmos兼容的等离子体氮化物纳米孔阵列光传感芯片及其制备方法和应用。背景技术：1、光学传感芯片具有无标记、能实时检测生化物质等特性而被......

2024-08-22 46

#氮化物#等离子体#阵列

一种具有等离子体增强效应的有机纳米颗粒及其制备方法和应用与流程

本申请涉及光伏领域，具体涉及一种具有等离子体增强效应的有机纳米颗粒及其制备方法和应用。背景技术：1、为了充分利用太阳光谱，增强电池的光吸收，研究人员探索各种可应用于太阳能电池中的光捕获技术，比如：制备......

2024-08-22 76

#等离子体#纳米#颗粒

一种二氧化碳微波等离子体制备一氧化碳和石墨烯的方法

本发明属于二氧化碳裂解领域，具体涉及一种二氧化碳微波等离子体制备一氧化碳和石墨烯的方法。背景技术：1、工业革命以来化石能源的广泛利用在推动人类社会快速发展的同时也造成了以二氧化碳（co2）为主的温室气......

2024-08-22 67

#氧化碳#等离子体#石墨

太赫兹波段的表面等离子体激元发生器

本发明涉及微电子领域，具体而言，涉及一种太赫兹波段的表面等离子体激元发生器。背景技术：1、表面等离子体激元是一种被约束在波导结构表面进行传播的电磁波模式，其本质上是一种表面电磁波；因为表面等离子体激元......

2024-08-22 99

#等离子体#波段#发生器

蚀刻方法和等离子体处理装置与流程

本公开的例示性的实施方式涉及一种蚀刻方法和等离子体处理装置。背景技术：1、专利文献1公开了一种通过使用从处理气体生成的等离子体对有机膜进行蚀刻来在有机膜形成开口的方法。处理气体包含氧气、氮气或氢气等蚀......

2024-08-19 53

#等离子体#装置#流程

等离子体风机、吸尘器、吹风机、个人护理装置以及空气调节装置的制作方法

本公开涉及产生含有等离子体的空气流的等离子体风机以及具备等离子体风机的吸尘器、吹风机、个人护理装置、空气调节装置。背景技术：1、以往，在等离子体产生装置中，向一对电极之间施加高电压，通过电极间的放电而......

2024-08-08 47

#装置#等离子体#吹风机

远程等离子体清洁(RPC)输送入口适配器的制作方法

本文公开的主题总体上涉及与远程等离子清洁(rpc)功能相关的系统、方法、装置和机器可读介质，用于清洁工艺室内表面的残留物沉积物。背景技术：1、半导体衬底处理装置用于通过包含下列的技术来处理半导体衬底：......

2024-08-08 60

#等离子体#制作方法#适配器

一种等离子体还原碳化法制备负载型碳化钨和磷化钨的复合催化剂的方法及应用

本发明属于催化剂技术、电解水析氢，涉及一种等离子体还原碳化法制备负载型碳化钨和磷化钨的复合催化剂的方法。背景技术：1、氢气是一种高热值、可再生的清洁能源，被视作最有发展前景的化石燃料替代品。电解水制氢......

2024-08-08 86

#等离子体#催化剂#负载

一种复合电极的制备及其在耦合介质阻挡等离子体放电处理废水中的应用

本技术涉及污染物降解，具体涉及一种在碳布(cc)基底上负载银掺杂非金属化合物石墨氮化碳(g-c3n4)和银掺杂金属化合物硫化铜(cus)复合电极的制备方法及其耦合介质阻挡等离子体放电在细菌消毒和四环素......

2024-08-05 80

#等离子体#电极#介质

一种用于等离子体耦合电化学固氮制氨装置的气体溶解系统及运行方法

本发明属于等离子体耦合电化学固氮制氨设备，具体涉及一种用于等离子体耦合电化学固氮制氨装置的气体溶解系统及运行方法。背景技术：1、等离子体耦合电化学固氮制氨技术是一种新型高效合成氨技术，其包括以下三个步......

2024-08-05 89

#固氮#等离子体#电化学

等离子体成膜装置和等离子体成膜方法与流程

本公开的示例性实施方式涉及等离子体成膜装置和等离子体成膜方法。背景技术：1、在将处理气体等离子体化进行成膜处理时，作为防止等离子体脉动的技术，存在专利文献1所记载的技术。2、现有技术文献3、专利文献4......

2024-08-05 51