一种气路图绘制与显示方法、装置、设备和介质与流程

本发明涉及半导体工艺，尤其涉及一种气路图绘制与显示方法、装置、设备和介质。

背景技术：

1、在半导体工艺设备的控制系统中，气路控制是最为关键的部分之一，越复杂设备对应的气路控制越复杂，对于气路控制，控制软件中气路图显示界面可操作性、可维护性显得尤为重要。

2、现有气路图画面的管道仅仅显示为实线，或者是使用了文字和简单线条表示数据，这种方式会造成管道中的气体流向和种类信息的误判，不能实时精确的表现管道中的气体流向和种类信息，需要用户自行判断，用户很难直观的联系画面上的文字数据所对应的实体装置，增加了用户操作的门槛，也增加了操作误判的可能性，因此，亟需一种气路图绘制与显示方法以解决上述问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供一种气路图绘制与显示方法、装置、设备和介质，能够提升气路图中气体方向和气体种类显示的精确度，从而更直观和丰富的实时显示气体流向和种类信息，使得用户可更直观联系画面上相关信息所对应的实体，降低用户操作误判的可能性。

2、根据本发明的一方面，本发明实施例提供了一种气路图绘制与显示方法，所述方法包括：

3、响应于气路图中所包含气路控件的信号量信息更新时，获取各所述气路控件的气体属性信息；

4、根据预设递归算法和各所述气路控件分别对应的气体属性信息确定所述气路图对应的网状链表结构；其中，所述网状链表结构中的每个气路控件具有至少一个方向上相邻气路控件的气体环境上下文信息；

5、基于各所述气路控件的控件类型对所述网状链表结构中的每个气路控件进行分类得到控件分类结果；其中，所述控件分类结果中包括所述气路图中目标气路控件对应的第一清单集合和为所述目标气路控件提供数据的第二清单集合；

6、基于所述控件分类结果确定所述气路图中目标气路控件对应的目标链表结构清单；其中，所述目标链表结构清单包括所述目标气路控件分别在各个方向的数据提供控件清单；

7、基于数据提供控件清单中各数据提供控件所对应的目标气体环境上下文信息确定所述气路图中所述目标气路控件上所传输的气体方向和气体种类，并在所述气路图中进行绘制和显示。

8、根据本发明的另一方面，本发明实施例还提供了一种气路图绘制与显示装置，所述装置包括：

9、信息获取模块，用于响应于气路图中所包含气路控件的信号量信息更新时，获取各所述气路控件的气体属性信息；

10、结构确定模块，用于根据预设递归算法和各所述气路控件分别对应的气体属性信息确定所述气路图对应的网状链表结构；其中，所述网状链表结构中的每个气路控件具有至少一个方向上相邻气路控件的气体环境上下文信息；

11、分类模块，用于基于各所述气路控件的控件类型对所述网状链表结构中的每个气路控件进行分类得到控件分类结果；其中，所述控件分类结果中包括所述气路图中目标气路控件对应的第一清单集合和为所述目标气路控件提供数据的第二清单集合；

12、清单确定模块，用于从所述第二清单集合中确定出为所述第一清单集合中各清单子集所提供数据的目标链表结构清单；其中，所述目标链表结构清单包括所述目标气路控件分别在各个方向的数据提供控件清单；

13、显示模块，用于数据提供控件清单中各数据提供控件所对应的目标气体环境上下文信息确定所述气路图中所述目标气路控件上所传输的气体方向和气体种类，并在所述气路图中进行绘制和显示。

14、根据本发明的另一方面，本发明实施例还提供了一种电子设备，所述电子设备包括：

15、至少一个处理器；以及

16、与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，

17、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本发明任一实施例所述的气路图绘制与显示方法。

18、根据本发明的另一方面，本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现本发明任一实施例所述的气路图绘制与显示方法。

19、本发明实施例的技术方案，通过预设递归算法和各气路控件分别对应的气体属性信息确定气路图对应的网状链表结构，能够明确气路图中各个气路控件分别在各个方向上的所邻近控件的信息，便于后续处理；基于各气路控件的控件类型对网状链表结构中的每个气路控件进行分类得到控件分类结果，从第二清单集合中确定出为第一清单集合中各清单子集所提供数据的目标链表结构清单，根据各数据提供控件所提供的目标气体环境上下文信息确定目标气路控件上所传输的气体方向和种类，并绘制和显示，能够提升气路图中显示气体方向和气体种类的精确度，从而更直观和丰富的实时显示气体流向和种类信息，且用户可直观联系对应的实体，降低用户操作误判的可能性。

20、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种气路图绘制与显示方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气路控件至少包括：气源、管道、管道分支节点、控制阀、质量流量计、压力计、干泵；

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述气体属性信息包括：地址信息和气体种类信息；

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标气路控件包括：管道和管道分支节点；

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控件分类结果中包括所述气路图中目标气路控件对应的第一清单集合和为所述目标气路控件提供数据的第二清单集合；所述第一清单集合包括：管道清单和管道分支节点清单；所述第二清单集合包括：数据提供控件清单；所述数据提供控件清单包括：压力计清单、质量流量计清单、控制阀清单、气源清单、干泵清单和管道分支节点清单；

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述清单子集包括：管道清单、管道分支节点清单；所述管道清单中包括至少两个管道，所述管道分支节点清单中包括至少两个管道分支节点；

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标气体环境上下文信息包括所述数据提供控件的目标信号量信息和目标气体属性信息；其中，所述目标信号量信息包括：气源的第一压强值、控制阀的开关状态、干泵的开关状态、压力计的第二压强值、质量流量计的流量值；所述目标气体属性信息包括：所述数据提供控件的气体种类、气体种类对应的计数器、所关联的压力计气体环境上下文地址信息、所关联的质量流量计气体环境上下文地址信息；

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述质量流量计具有单向特性，预先指定所述质量流量计的进气方向和出气方向；所述气源为供气入口，为气路图中的压强最高点；所述干泵为抽气出口，为所述气路图中的压强最低点；

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述依据各所述管道在各个方向上的数据提供控件所提供的目标信号量信息，以及所述管道分支节点上所传输的气流方向，确定所述管道上所传输的气流方向，包括：

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述气路图中包括气源进气处；各所述气路控件预先配置对应的计数器，用于显示所述气路控件中的气体存在情况；

11.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述气路图中包括干泵抽气处；

12.根据权利要求10或11任一所述的方法，其特征在于，在所述气源进气处和所述干泵抽气处进行进气和抽气判断之后，若存在气体死区，则所述气体死区对应气路控件的计数器数值显示为预设值，在进行绘制时，将所述气体死区区域标注气体种类，并依据所述气体种类对应的气体危险等级进行颜色区分标注。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述气路图中进行绘制和显示，包括：

14.一种气路图绘制与显示装置，其特征在于，所述装置，包括：

15.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：

16.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现权利要求1-13中任一项所述的气路图绘制与显示方法。

技术总结本发明公开一种气路图绘制与显示方法、装置、设备和介质。该方法包括：根据预设递归算法和所获取各气路控件的气体属性信息确定气路图对应的网状链表结构；基于控件类型对网状链表结构中每个气路控件进行分类得到控件分类结果；基于控件分类结果确定气路图中目标气路控件对应的目标链表结构清单；根据目标链表结构清单中各数据提供控件所提供的参数信息确定目标气路控件上所传输的气体方向和种类并绘制和显示。本发明实施例，通过上述技术方案，能够提升气路图中气体方向和气体种类显示的精确度，从而更直观和丰富的实时显示气体流向和种类信息，使得用户可更直观联系画面上相关信息所对应的实体，降低用户操作误判的可能性。技术研发人员：曹建伟,朱凌锋,芮志仲,高挺,季冬,沈文杰,汤承伟受保护的技术使用者：浙江求是创芯半导体设备有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/1