一种自带圆周定位的载台装置的制作方法

本技术属于半导体晶圆用载物台领域，具体涉及一种自带圆周定位的载台装置。

背景技术：

1、现有晶圆载台，一般为气吸悬浮支撑，载台仅通过气流支撑晶圆，未对晶圆进行圆心相对于载台面进行物理定位，因此，在测量或加工时，对于圆心定位难以从硬件上保证，这会导致后续流程定位耗时长且不易保证稳定的定位等问题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种自带圆周定位的载台装置，其能解决上述问题。

2、设计原理：在晶圆载盘和底座之间设置一个定位硬件，能够自动开合的从外周向支撑的晶圆抵靠定位。设计方案如下。

3、一种自带圆周定位的载台装置，载台装置包括载台底座、载台底脚、载台上座、载台主轴和晶圆载盘，载台装置还包括一个圆周定位模块；其中，所述载台底脚采用气浮地脚；所述载台底座通过多个所述载台底脚被浮动地支撑；所述载台上座设置在所述载台底座上；所述载台主轴竖直的设置在所述载台底座和载台上座开设的承载孔中，所述载台主轴的顶部固定连接至所述晶圆载盘的底面中部，用于对晶圆载盘的驱动；所述圆周定位模块设置在载台上座和晶圆载盘之间，用于对晶圆载盘上气浮支撑的晶圆从外周进行定位。

4、进一步的，所述载台主轴包括升降轴体、固定转接件和弹片，弹片的内端固定至所述升降轴体的底部，弹片外端通过所述固定转接件连接至载台底座的底部，实现对升降轴体的底部弹性支撑。

5、进一步的，所述晶圆载盘上设有吹气孔、吸气孔和与圆周定位模块适配的定位槽孔。

6、进一步的，所述圆周定位模块包括导向安装板、导向滑块组件、定位转盘、导向柱、定位驱动电机组和定位传动带；所述导向滑块组件安装在所述导向安装板上，并在滑动块上竖直的安装所述导向柱；所述定位转盘设置在所述导向安装板的上方，定位转盘上开设多个导向弧形槽，用于导向柱的导向，并由所述定位驱动电机组和定位传动带驱动所述定位转盘绕轴心转动，以此实现对晶圆载盘上的晶圆的外周定位。

7、相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：通过本申请的圆周定位模块，能够从外周快速的对晶圆进行物理定位，定位稳定性易于保证，提高了整体的效率。

技术特征：

1.一种自带圆周定位的载台装置，载台装置包括载台底座(100)、载台底脚(200)、载台上座(300)、载台主轴(400)和晶圆载盘(500)，其特征在于：载台装置还包括一个圆周定位模块(600)；

2.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的载台装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的载台装置，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的载台装置，其特征在于：

7.根据权利要求5所述的载台装置，其特征在于：

8.根据权利要求5所述的载台装置，其特征在于：

技术总结本技术提供了一种自带圆周定位的载台装置，属于半导体晶圆用载物台领域，载台装置包括载台底座、载台底脚、载台上座、载台主轴和晶圆载盘，载台装置还包括一个圆周定位模块；其中，载台底脚采用气浮地脚；载台底座通过多个载台底脚被浮动地支撑；载台上座设置在载台底座上；载台主轴竖直的设置在载台底座和载台上座开设的承载孔中，载台主轴的顶部固定连接至晶圆载盘的底面中部，用于对晶圆载盘的驱动；圆周定位模块设置在载台上座和晶圆载盘之间，用于对晶圆载盘上气浮支撑的晶圆从外周进行定位；定位稳定性易于保证，提高了整体的效率。技术研发人员：郑新,夏张红,张知航,曹葵康受保护的技术使用者：苏州天准科技股份有限公司技术研发日：20231024技术公布日：2024/8/5