一种纳米压印晶圆良品率检测设备及方法与流程

本发明涉及纳米压印，具体为一种纳米压印晶圆良品率检测设备及方法。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，而纳米压印技术是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。

2、公开号为cn216773184u的专利文件公开了一种晶圆边缘检测设备，包括：检测设备机身、边缘检测装置、边缘检测转动装置、晶圆放置盒以及放置盒支撑装置，可将晶圆放置在晶圆放置盒内，晶圆放置盒的上下表面为透明材质，上检测器和下检测器分别位于晶圆放置盒的上方和下方，边缘检测装置的底部固定在边缘检测转动装置上且能够随着边缘检测转动装置的转动绕晶圆放置盒转动，通过上检测器和下检测器对晶圆上下表面的边缘进行检测，整个检测过程中，晶圆在晶圆放置盒内无需移动，避免晶圆需要频繁地被操作移动导致晶圆边缘检测设备本身对晶圆造成细微损伤，可提升晶圆边缘检测过程中的良品率；上述现有技术方案存在以下不足：对晶圆的检测范围存在限制，进行检测时存在检测死角的情况，且容易对检测精度产生影响。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种纳米压印晶圆良品率检测设备及方法，解决了上述背景技术中提出的问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种纳米压印晶圆良品率检测设备，包括工作仓，所述工作仓的内部顶部固定安装有液压缸，所述液压缸的底部固定连接有上模板，所述上模板的底部固定安装有软模具，所述工作仓的内部底部固定连接有固定座和支撑座，所述固定座的顶部设置有电加热板，所述电加热板的顶部固定连接有放置板，所述放置板的顶部设置有基片，所述固定座的内部设置有吸气泵a，所述吸气泵a的顶部设置有吸气管a，所述工作仓的内部顶部固定连接有固定仓，所述固定仓的侧面固定安装有电机a，所述固定仓的内部转动连接有螺纹杆，所述电机a通过其输出轴与螺纹杆固定连接，所述固定仓的内部滑动连接有移动块，所述移动块通过内置螺纹与螺纹杆螺纹连接，所述移动块的底部设置有检测探头，所述支撑座的内部设置有角度变换机构，所述工作仓的内部底部设置有吸附运输机构，所述工作仓的内部后端设置有吹风机构；所述角度变换机构包括转动盘、液压仓和挤压板，所述转动盘转动连接在支撑座的内部，所述转动盘的底部固定连接有转轴，所述转轴的底部固定连接有角度齿轮，所述液压仓贯穿且固定连接在支撑座的后端，所述液压仓的一端内部活塞滑动连接有压杆，所述压杆远离液压仓的一端固定连接有压板，所述压杆的表面套接有复位弹簧，所述液压仓的另一端内部活塞滑动连接有推杆，所述推杆远离液压仓的一端固定连接有齿牙条，所述齿牙条的侧面开设有凹槽，所述凹槽的内部设置有伸缩弹簧，所述凹槽的内部通过伸缩弹簧滑动连接有弧形齿牙，所述挤压板固定连接在移动块的后端。

3、根据上述技术方案，所述压板位于挤压板的位移轨迹上，所述复位弹簧的两端初始状态下与压板以及液压仓相抵触，挤压板向左移动时会与压板接触带动压板向左移动，压板向左移动会挤压复位弹簧使其逐渐绷紧。

4、根据上述技术方案，所述弧形齿牙的弧面朝向后端，且所述凹槽的深度大于弧形齿牙的长度，弧形齿牙的弧面受到挤压时会向凹槽内移动，弧形齿牙可以完全缩入凹槽内。

5、根据上述技术方案，所述吸附运输机构包括支撑柱和腔体，所述支撑柱的顶部固定安装有电机b，所述电机b的输出端固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定连接有吸附板，所述电动推杆的输出端底部固定连接有接触板，所述吸附板的内部开设有吸附腔，所述吸附板的顶部设置有吸气泵b，所述吸气泵b的侧面设置有吸气管b，所述腔体开设于放置板的内部，所述腔体的内部设置有连通组件。

6、根据上述技术方案，所述腔体的顶部与吸附腔的底部均开设有吸附孔，所述吸气管a远离吸气泵a的一端与腔体的底部贯穿且固定连接，腔体与吸附腔内部形成负压时会通过吸附孔吸附基片，吸气泵a启动时会通过吸气管a吸取腔体内空气使得腔体内持续形成负压。

7、根据上述技术方案，所述连通组件包括滑动块和弹簧伸缩杆，所述滑动块贯穿且滑动连接在腔体的侧面，所述滑动块的内部开设有连通槽，所述滑动块的顶部固定连接有抵板，所述弹簧伸缩杆固定连接在腔体的内侧壁上，所述弹簧伸缩杆的伸缩端与滑动块的侧面固定连接。

8、根据上述技术方案，所述滑动块的底部与腔体的底部紧密贴合，所述连通槽的直径大于吸气管a的直径，滑动块向左移动时连通槽会与吸气管a顶部相连通。

9、根据上述技术方案，所述吹风机构包括锥齿轮a、长杆、转杆、传动带、导风框、气压仓和挤压块，所述锥齿轮a固定连接在螺纹杆的表面，所述长杆与转杆的后端均与工作仓的内部后端转动连接，所述长杆的前端固定连接有锥齿轮b，所述转杆通过传动带与长杆传动连接，所述转杆的前端固定连接有风扇，所述导风框的后端与工作仓的内部后端固定连接，所述导风框的承诺贯穿且转动连接有横杆，所述横杆的侧面固定连接有转动齿轮，所述横杆的表面固定连接有导风板，所述气压仓与工作仓的内部后端固定连接，所述气压仓的一端设置有气囊，所述气压仓的另一端内部活塞滑动连接有活塞杆，所述活塞杆远离气压仓的一端固定连接有齿杆，所述挤压块固定连接在电机b输出轴的表面。

10、根据上述技术方案，所述挤压块的长度大于电机b输出轴表面到气囊的距离，所述齿杆上齿牙与转动齿轮上齿牙啮合，电机b输出轴转动时会带动挤压块挤压到气囊，齿杆移动时会其齿牙与转动齿轮上齿牙啮合会带动转动齿轮转动。

11、根据上述技术方案，所述的一种纳米压印晶圆良品率检测设备的检测方法，包括以下步骤：

12、s1：将基片放置在放置板顶部，开启吸气泵a对基片进行吸附，开启电加热板进行加热，加热完毕后开启液压缸带动上模板与软模具向下移动进行压印，压印结束基片冷却成型后开启液压缸带动上模板与软模具向上移动脱模；

13、s2：基片冷却成型脱模后，开启电机b带动电动推杆转动到放置板方向，开启电动推杆使吸附板移动到基片上方，开启吸气泵b将基片吸附到吸附板底部，开启电机b带动电动推杆转动到支撑座一端，关闭吸气泵b，基片落到转动盘顶部；

14、s3：开启电机a带动螺纹杆正转或反转，移动块会带动检测探头来回移动对下方的基片进行检测，而角度变换机构内组件配合会使得转动盘以及基片的角度不断变化，防止检测死角；

15、s4：开启电机a带动螺纹杆正转或反转会通过锥齿轮a配合锥齿轮b带动长杆转动，长杆转动通过传动带带动转杆转动，转杆转动带动风扇转动加快放置板处空气流动，提高此处基片冷却成型速度。

16、本发明提供了一种纳米压印晶圆良品率检测设备及方法。具备以下有益效果：

17、（1）本发明通过角度变换机构的设置，使得开启电机b带动螺纹杆转动，螺纹杆转动使得移动块带动检测探头移动对底部基片进行检测时，而移动块向左移动到最左端时会使得挤压板带动压板向左移动，此时通过液压仓、齿牙条、弧形齿牙等组件的配合会带动角度齿轮转动一定角度，角度齿轮转动带动转轴以及转动盘转动一定角度，转动盘转动一定角度使得其上的基片角度发生变化，当检测探头经过时可以对其再次进行检测，防止出现检测死角。

18、（2）本发明通过吸附运输机构的设置，使得将基片放置在放置板上时可以开启吸气泵a，吸气泵a通过吸气管a吸取腔体内空气使得腔体内持续形成负压从而通过吸附孔吸附住基片，使得对基片压印时不会产生偏移，而开启电机a带动电动推杆转动并通过电动推杆带动吸附板移动到基片上方时，腔体内会不再形成负压吸附基片，此时开启吸气泵b可以使得吸附板吸附基片进行运输，有效的提高了工作效率。

19、（3）本发明通过吹风机构的设置，使得开启电机b带动螺纹杆转动时还会通过锥齿轮a、锥齿轮b的配合带动长杆转动，长杆转动通过传动带带动转杆转动，转杆转动带动风扇转动加快放置板处的空气流动，从而加快压印成型后基片的冷却，而电机输出轴带动挤压块挤压到气囊时还会通过气压仓、齿杆等组件带动导风板转动使得风向出现变化，使得空气流动效果更加好。