一种用于真空室内的双向转运机构的制作方法

本发明涉及真空炉设备，具体涉及一种用于真空室内的双向转运机构。

背景技术：

1、长期以来，在磁性材料行业用于保护装料的转运机构都是利用在一个封闭的箱体内安装一套传动机构，在固定轨道上移动，单一方向对真空炉进行保护装料，箱体置于大气环境中，对箱体与真空室的对接密封要求很高，不利于高性能产品的无氧保护，而且这种转运工件的方式也只限于常温环境下。因此，需要提出一种可以在真空室内进行精准定向转运，同时也可以实现双向的工件转运功能的用于真空室内的双向转运机构。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本发明提供一种用于真空室内的双向转运机构，该用于真空室内的双向转运机构可以在真空室内进行精准定向转运，同时也可以实现双向的工件转运功能，在满足工件可以在固定的真空室内双向进取料，同时也能将高温工件直接从一个真空室转运到另一个真空室，实现工件在高温环境下快速的转运。

2、本发明的技术方案如下：

3、一种用于真空室内的双向转运机构，包括真空室、真空工作室和agv转运车，若干个真空工作室设置在所述真空室长度方向的两侧，所述真空工作室与所述真空室连通；在所述真空室内设置有agv转运车，所述agv转运车包括平移行走机构、升降机构和送取料机构，所述平移行走机构用于带着所述升降机构和送取料机构沿着所述真空室长度方向行走，所述升降机构用升降固定连接在所述升降机构上的送取料机构，所述送取料机构用于将放置在送取料机构上的工件向所述真空室两侧的真空工作室方向移动；

4、平移行走机构包括支撑平台、轮组和轨道和行走驱动元件，在所述真空室长度方向的底部设置有轨道，在所述支撑平台的顶部设置有与所述轨道配合的轮组，所述升降机构和送取料机构安装在所述支撑平台上，所述行走驱动元件驱动所述轮组转动；

5、升降机构包括升降平台、蜗轮蜗杆机构和升降驱动元件，所述升降驱动元件驱动所述蜗轮蜗杆机构带动所述升降平台升降。

6、行走驱动元件为行走电机。

7、行走电机为伺服电机。

8、平移行走机构还包括位置检测装置。

9、位置检测装置为固定设置在真空室内的激光测距仪，所述激光测距仪设置在所述agv转运车行走方向上检测所述agv转运车的行走距离。

10、升降驱动元件包括升降电机和减速机，所述减速机设置在升降电机和所述蜗轮蜗杆机构之间升降电机为伺服电机。

11、升降电机带有旋转编码器。

12、送取料机构为可伸缩货叉。

13、可伸缩货叉为伺服电机驱动型伸缩货叉。

14、本发明的有益效果在于：

15、本发明公开的一种用于真空室内的双向转运机构，该用于真空室内的双向转运机构可以在真空室内进行精准定向转运，同时也可以实现双向的工件转运功能，在满足工件可以在固定的真空室内双向进取料，同时也能将高温工件直接从一个真空室转运到另一个真空室，实现工件在高温环境下快速的转运。

技术特征：

1.一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，包括真空室（1）、真空工作室（2）和agv转运车（3），若干个真空工作室（2）设置在所述真空室（1）长度方向的两侧，所述真空工作室（2）与所述真空室（1）连通；在所述真空室（1）内设置有agv转运车（3），所述agv转运车（3）包括平移行走机构（3a）、升降机构（3b）和送取料机构（3c），所述平移行走机构（3a）用于带着所述升降机构（3b）和送取料机构（3c）沿着所述真空室（1）长度方向行走，所述升降机构（3b）用升降固定连接在所述升降机构（3b）上的送取料机构（3c），所述送取料机构（3c）将工件向真空工作室（2）内转移；

2.根据权利要求1所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述行走驱动元件为行走电机（3a2）。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述行走电机（3a2）为伺服电机。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述平移行走机构（3a）还包括位置检测装置。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述位置检测装置为固定设置在真空室（1）内的激光测距仪（3a5），所述激光测距仪（3a5）设置在所述agv转运车（3）行走方向上检测agv转运车（3）的行走距离。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述升降驱动元件包括升降电机（3b2）和减速机（3b4），所述减速机（3b4）设置在升降电机（3b2）和所述蜗轮蜗杆机构（3b3）之间。

7.根据权利要求6所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述升降电机（3b2）为伺服电机。

8.根据权利要求7所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述升降电机（3b2）带有旋转编码器。

9.根据权利要求1所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述送取料机构（3c）为可伸缩货叉。

10.根据权利要求9所述的一种用于真空室内的双向转运机构，其特征在于，所述可伸缩货叉为伺服电机驱动型伸缩货叉。

技术总结本发明涉及真空炉设备技术领域，具体是一种用于真空室内的双向转运机构，包括真空室、真空工作室和AGV转运车，若干个真空工作室设置在真空室长度方向的两侧，真空工作室与真空室连通；在真空室内设置有AGV转运车，AGV转运车包括平移行走机构、升降机构和送取料机构，平移行走机构用于带着升降机构和送取料机构沿着真空室长度方向行走，升降机构用升降固定连接在升降机构上的送取料机构，送取料机构用于将放置在送取料机构上的工件向真空室两侧的真空工作室方向移动。该机构可以在真空室内进行精准定向转运，也可以实现双向的工件转运功能，实现工件在高温环境下快速的转运。技术研发人员：曲绍芬,杨建川,于德军,高光伟,吴楠,白恩军,段文宽受保护的技术使用者：沈阳恒进真空科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/20