振镜装置及MEMS振镜集成产品的制作方法

本申请涉及微光机电，尤其是涉及一种振镜装置及mems振镜集成产品。

背景技术：

1、微机电系统(micro electro mechanical system，mems)振镜是一种采用mems技术制造的，在驱动器作用下反射镜按照一定规律偏转的器件。目前，mems振镜在许多领域中均得到广泛应用，如光通信、激光投影、三维成像、激光雷达等。

2、现有的振镜装置，反射镜的偏转角度检测通常采用压阻传感器进行测试，压阻传感器是通过mems工艺集成在扭转轴附近，振镜工作时，扭转轴上应力发生相应变化，压阻传感器检测到应力变化，获得振镜工作角度。但是，由于在振镜封装时，封装材料通常与芯片材料不同，其热膨胀系数存在差异，会导致热膨胀系数不匹配引起热应力，会影响压阻传感器性能，导致反射镜的偏转角度检测不准确，进而会影响到振镜装置的整体工作性能。

技术实现思路

1、为解决现有存在的技术问题，本申请提供一种反射镜偏转的检测和控制更加精准、工作性能提升的振镜装置及mems振镜集成产品。

2、第一方面，本申请提供一种振镜装置，包括：

3、框架，包括固定结构及通过慢转轴梁与所述固定结构连接的可动框架；

4、反射镜，通过快转轴梁与所述可动框架连接；

5、传感组件，包括对应所述慢转轴梁设置的第一传感元件、和/或对应所述快转轴梁设置的第二传感元件；

6、应力隔离结构，包括设于所述慢转轴梁外侧的应力隔离槽，用于隔离垂直于所述应力隔离槽延伸方向上的应力传递。

7、第二方面，本申请提供一种mems振镜集成产品，包括本申请任一实施例所述的振镜装置；

8、所述mems振镜集成产品为如下之一：光通信系统、激光雷达系统、激光投影系统、三维成像系统。

9、上述实施例所提供的振镜装置，通过于慢转轴梁外侧设置应力隔离槽，用于隔离垂直于应力隔离槽延伸方向上的应力传递，从而减小或消除由于振镜装置封装材料与芯片材料不同导致热膨胀系数不匹配而引起的热应力对于传感组件检测反射镜偏转角度的精度影响，获得高精度的反射镜偏转角度的检测信号，反射镜偏转角度的检测更加精准，进而对反射镜偏转角度的控制也可以更加精准，由此可以提升振镜装置的整体工作性能。

10、上述实施例中，mems振镜集成产品与对应的振镜装置实施例属于同一构思，从而与各个振镜装置实施例具有相同的技术效果，在此不再赘述。

技术特征：

1.一种振镜装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的振镜装置，其特征在于，所述慢转轴梁包括与可动框架连接的第一连接端、从所述第一连接端向内弯折延伸形成包含多个平行的直线段的主梁部及将所述主梁部与固定结构连接的第二连接端。

3.根据权利要求2所述的振镜装置，其特征在于，所述慢转轴梁中，与固定结构连接处对齐的直线段位于所述慢转轴梁的轴线上。

4.根据权利要求3所述的振镜装置，其特征在于，所述第一连接端和所述第二连接端分别位于所述慢转轴梁的轴线的相对两侧，所述第一传感元件设于所述第二连接端的端部，且位于所述慢转轴梁的轴线上。

5.根据权利要求4所述的振镜装置，其特征在于，所述应力隔离槽包括第一方向隔离槽，用于减小垂直于所述第一方向的第二方向上的轴应力；

6.根据权利要求5所述的振镜装置，其特征在于，所述应力隔离槽还包括第二方向隔离槽，用于减小垂直于所述第二方向的第一方向上的轴应力；

7.根据权利要求1所述的振镜装置，其特征在于，所述应力隔离槽包括设于所述慢转轴梁远离与可动框架连接的一端外侧的横向整体槽，所述横向整体槽的延伸方向与所述慢转轴梁的宽度方向相同，且所述横向整体槽的长度大于或等于所述慢转轴梁的宽度。

8.根据权利要求1所述的振镜装置，其特征在于，所述快转轴梁包括梁部主体及与反射镜连接的过渡连接端；

9.根据权利要求8所述的振镜装置，其特征在于，所述中心梁的宽度大于所述扩展梁的宽度；和/或，

10.一种mems振镜集成产品，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的振镜装置；

技术总结本申请提供一种振镜装置及MEMS振镜集成产品，所述振镜装置包括：框架，包括固定结构及通过慢转轴梁与所述固定结构连接的可动框架；反射镜，通过快转轴梁与所述可动框架连接；传感组件，包括对应所述慢转轴梁设置的第一传感元件、和/或对应所述快转轴梁设置的第二传感元件；应力隔离结构，包括设于所述慢转轴梁外侧的应力隔离槽，用于隔离垂直于所述应力隔离槽延伸方向上的应力传递。技术研发人员：熊笔锋,倪伟鉴受保护的技术使用者：觉芯电子（无锡）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/9