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一种基于数字控制技术的电解蚀刻设备的制作方法

  • 国知局
  • 2024-10-09 15:59:03

本发明涉及电解蚀刻,尤其涉及一种基于数字控制技术的电解蚀刻设备。

背景技术:

1、在当今日益发展的科技领域中,电解蚀刻技术作为一种重要的精密加工技术,已广泛应用于多个行业,特别是在金属加工、集成电路制造以及生物医学等领域。电解蚀刻技术,是通过电化学原理对材料进行蚀刻加工的技术。与传统的机械加工或化学蚀刻相比,电解蚀刻具有加工精度高、表面质量好、材料适应性广等优点。其基本原理是通过直流电源提供电能,以被加工材料作为阳极,通过电解液的电化学作用,使阳极材料发生溶解,从而实现蚀刻加工。

2、然而,随着科技的快速发展和市场需求的不断变化,对电解蚀刻设备的要求也越来越高。

3、中国专利公开号:cn103975096a公开了一种用于电解蚀刻铜的蚀刻设备,包括第一混合设备,其被设计成接收包含铜离子的酸性电解质和氧气或臭氧气体,以便形成第一液体-气体混合物,该混合物可从所述第一混合设备的第一出口被引导进入与其耦合的连接线路;容器,其含有容器液体;第二混合设备,其被布置在所述容器内并且被所述容器液体环绕,其中所述第二混合设备具有抽吸孔口以便抽吸存在于所述抽吸孔口的区域中的所述容器液体,其中所述第二混合设备被连接至所述连接线路并被设计成将所述第一液体/气体混合物和所抽吸的所述容器液体引导至所述第二混合设备的收缩区中,使得所抽吸的所述容器液体能够与所述第一液体/气体混合物混合并由此形成第二液体/气体混合物,其中所述第二混合设备具有第二出口,所述第二液体/气体混合物能够通过所述第二出口流出并与存在于所述第二出口的区域中的所述容器液体混合;以及容器出口线路,其被设计成将其中存在的所述容器液体供应至设置在蚀刻模块中的所述蚀刻材料。

4、由此可见,该发明虽然能实现电解蚀刻,但是未对蚀刻过程进行检测和调整,以至于对蚀刻精度的控制准确率不够。

技术实现思路

1、为此,本发明提供一种基于数字控制技术的电解蚀刻设备,用以克服现有技术中未对蚀刻过程进行检测和调整,以至于对蚀刻精度的控制准确率不够的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供一种基于数字控制技术的电解蚀刻设备,包括:

3、笔尖区、握持区、墨囊替换接口、电量显示模块、电源开关、可伸缩吸附电极头;

4、姿态确定模块,其用以根据笔身的倾斜角度、握持力度以及握持区域确定握笔姿态的标准程度;

5、控制模块,其与所述姿态确定模块连接,包括:

6、初次蚀刻确定单元,其用以根据所述握笔姿态的标准程度确定初次蚀刻的方式;

7、整体蚀刻确定单元,其用以确定初次蚀刻的效果评价,并根据所述效果评价确定是否进行整体蚀刻或对所述初次蚀刻的方式进行调整;

8、蚀刻电流调节单元,其用以确定蚀刻过程中笔尖区与蚀刻位置的垂直距离,并根据所述距离确定蚀刻电流的调节;

9、调整模块,其用以确定整体蚀刻过程的稳定程度,并根据所述稳定程度确定对所述蚀刻电流的调节过程的调整。

10、进一步地,所述初次蚀刻确定单元根据握笔姿态的标准程度确定初次蚀刻的方式包括根据握笔姿态的标准程度评价值和预设标准程度评价值的对比结果确定初次蚀刻的方式,在所述标准程度评价值大于或等于第一预设标准程度评价值的条件下,则以预设蚀刻速度、预设蚀刻电流、预设蚀刻深度进行蚀刻。

11、进一步地,所述初次蚀刻确定单元在所述标准程度评价值小于第一预设标准程度评价值且大于第二预设标准程度评价值的条件下,则根据修正系数对预设蚀刻速度、预设蚀刻电流、预设蚀刻深度进行修正后进行蚀刻。

12、进一步地,所述初次蚀刻确定单元在所述标准程度评价值小于或等于第二预设标准程度评价值的条件下,则对握笔姿态进行调整。

13、进一步地,所述整体蚀刻确定单元根据所述效果评价确定是否进行整体蚀刻或对所述初次蚀刻的方式进行调整包括根据效果评价值和预设效果评价值的对比结果确定是否进行整体蚀刻或对所述初次蚀刻的方式进行调整,在所述效果评价值大于或等于预设效果评价值的条件下,以初次蚀刻的蚀刻标准进行整体蚀刻。

14、进一步地,所述整体蚀刻单元确定单元在所述效果评价值小于预设效果评价值的条件下,则对初次蚀刻的蚀刻标准进行调整。

15、进一步地,所述整体蚀刻确定单元根据效果评价值与预设效果评价值的差值和预设效果评价值差值的对比结果确定对初次蚀刻的蚀刻标准的调整,在效果评价值与预设效果评价值的差值小于或等于预设效果评价值差值的条件下,根据调整系数对初次蚀刻的蚀刻速度进行调整。

16、进一步地,所述整体蚀刻确定单元在效果评价值与预设效果评价值的差值大于预设效果评价值差值的条件下,根据调整系数对初次蚀刻的蚀刻速度和蚀刻电流进行调整。

17、进一步地,所述调整模块根据稳定程度确定对所述蚀刻电流的调节过程的调整包括根据稳定程度评价值和预设稳定程度评价值的对比结果确定对所述蚀刻电流的调节过程的调整。

18、进一步地,所述调整模块在稳定程度评价值小于预设稳定程度评价值的条件下,根据调整系数对所述蚀刻电流的调节过程的变化率进行调整。

19、与现有技术相比,本发明的有益效果在于,本发明通过设置所述姿态确定模块,根据笔身的倾斜角度、握持力度以及握持区域确定握笔姿态的标准程度,通过结合倾斜角度、握持力度以及握持区域多个因素确定握笔姿态的标准程度,能够更精准的确定握笔姿态的标准程度评价值。

20、进一步地,本发明通过设置初次蚀刻确定单元,根据握笔姿态的标准程度评价值和预设标准程度评价值的对比结果确定初次蚀刻的蚀刻方式,根据标准程度不同的握笔姿态确定不同的蚀刻方式,能够提高蚀刻的精准度。

21、进一步地,本发明通过设置初次蚀刻确定单元,在所述标准程度评价值大于或等于第一预设标准程度评价值的条件下,说明握笔姿态的标准程度是达标的,此时的握笔姿态能够达到进行蚀刻的标准,可以直接以预设蚀刻速度、预设蚀刻电流、预设蚀刻深度进行蚀刻。

22、进一步地,本发明通过设置初次蚀刻确定单元,在所述标准程度评价值小于第一预设标准程度评价值且大于第二预设标准程度评价值的条件下,说明此时握笔姿态的标准程度是达标的,但是对蚀刻的精准度有影响,所以根据修正系数对预设蚀刻速度、预设蚀刻电流、预设蚀刻深度进行修正后进行蚀刻,通过设置了特定的修正系数,避免出现过度修正的情况。

23、进一步地,本发明通过设置初次蚀刻确定单元,在所述标准程度评价值小于或等于第二预设标准程度评价值的条件下,说明此时的握笔姿态是不达标的,此时进行蚀刻会使蚀刻效果不达标,所以需对握笔姿态进行调整后再进行蚀刻。

24、进一步地,本发明通过设置整体蚀刻确定单元,根据初次蚀刻的效果评价值和预设效果评价值的对比结果确定是否进行整体蚀刻或对所述初次蚀刻的方式进行调整,能够在初次蚀刻效果不达标的情况下,及时对蚀刻方式进行调整,能够提高蚀刻的准确度。

25、进一步地,本发明通过设置蚀刻电流调节单元,根据蚀刻过程中笔尖区与蚀刻位置的垂直距离确定蚀刻电流的调节,能够在握笔姿态变化时,及时对蚀刻电流进行调节,能够进一步提高蚀刻的精准度。

26、进一步地,本发明通过设置调整模块,通过根据稳定程度评价值和预设稳定程度评价值的对比结果确定对所述蚀刻电流的调节过程的调整,能够进一步提高蚀刻的精准度,同时设置了特定的调整系数,避免了过度调整的情况。

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