使气泡易于排出的用于粘附抛光垫的双面胶带，和使用该双面胶带的化学机械抛光设备的制作方法

本申请要求基于2021年12月17日提交的韩国专利申请no.10-2021-0182176的优先权的权益，该专利申请的全部内容作为本说明书的一部分并入。本发明涉及一种易于排出气泡的用于粘附抛光垫的双面胶带，和应用该胶带的化学机械抛光设备。

背景技术：

1、双面胶带广泛用于粘合组件，并且防止或填充表面之间的间隙。例如，它可以用于向电子设备施加保护膜以密封电子设备并吸收震动，并且还用于将cmp抛光垫固定在表面板上的方法中。

2、当将cmp抛光垫固定在表面板上时，使用面积相对较大的双面胶带。当使用这种大面积的双面胶带时，在粘合面内经常形成气泡。这样的气泡会引起损害抛光垫表面的平整度和使粘合力变弱等问题。

3、具体地，当将抛光垫固定在表面板上时，使用双面胶带，该双面胶带位于抛光垫的下表面与基台的上表面之间以将它们粘合。当双面胶带与表面板的上表面之间形成气泡时，抛光垫上表面的平整度受到阻碍，抛光垫的粘合力也被减弱。具体地，当如上所述平整度受到阻碍时，难以实现均匀的抛光性能，并且出现由于气泡导致的突出部分磨损更快的问题。

4、通常，当如上所述在界面处产生气泡时，从顶部按压双面胶带，以将气泡推出至边缘并将其去除。然而，在这种情况下，经常无法去除气泡。

5、[现有技术文献]

6、[专利文献]

7、韩国特许专利公开no.10-2013-0043589

技术实现思路

1、技术问题

2、本发明是为了解决现有技术的上述问题而设计的，

3、目的是提供一种用于粘附抛光垫的双面胶带，其可以在使用双面胶带时容易地去除粘附表面上产生的气泡，和一种应用所述双面胶带的化学机械抛光设备。

4、技术方案

5、为了实现上述目的，本发明提供一种用于粘附抛光垫的双面胶带，其包括：

6、上离型膜层；

7、第一粘合层；

8、胶带基底，层压在所述第一粘合层的下表面上；

9、第二粘合层，层压在所述胶带基底的下表面上；和

10、气泡排出图案形成片层，层压在所述第二粘合层的下表面上，并且包括在层压表面上以突出线形成的气泡排出图案。

11、在本发明的一个实施方案中，所述气泡排出图案形成片层可以在以突出线形成的图案渗入所述第二粘合层的下表面中的状态下层压。

12、在本发明的一个实施方案中，在使用时所述上离型膜层和所述气泡排出图案形成片层可以被去除。

13、在本发明的一个实施方案中，所述第二粘合层可以粘附至需要去除气泡的表面。

14、在本发明的一个实施方案中，所述以突出线形成的图案可以是条纹图案或多边形图案。

15、在本发明的一个实施方案中，所述多边形图案可以是由交叉的直线突出线形成的方形图案。

16、在本发明的一个实施方案中，所述突出线的横向截面可以是多边形、下部部分被切掉的圆形或下部部分被切掉的椭圆形。

17、在本发明的一个实施方案中，所述突出线的最长宽度可以是50μm至250μm，高度可以是5μm至30μm。

18、在本发明的一个实施方案中，所述方形图案在两个不相邻边之间的宽度可以为300μm至1000μm。

19、在本发明的一个实施方案中，所述气泡排出图案形成片层可以包括在一侧形成有以突出线形成的气泡排出图案的形成片和粘附至所述形成片的另一侧的基底膜。

20、此外，本发明提供一种化学机械抛光设备，其包括：

21、抛光垫；和

22、其上固定有所述抛光垫的表面板，

23、其中，所述抛光垫使用本发明的所述用于粘附抛光垫的双面胶带固定在所述表面板上。

24、在本发明的一个实施方案中，所述抛光垫的下表面可以粘附至所述双面胶带的第一粘合层上，以及

25、所述表面板的上表面可以粘附至所述双面胶带的第二粘合层上。

26、有益效果

27、本发明的用于粘附抛光垫的双面胶带提供了一种效果，其中，当在粘合界面处产生气泡时，通过在粘合层的外粘合表面上形成可以排出气泡的沟槽部分，可以通过施加压力将气泡容易地从粘合界面向外排出。

28、此外，本发明的化学机械抛光设备提供了一种效果：在抛光垫的上表面上具有优异的平整度，表现出均匀的抛光性能，并通过将抛光垫牢固地粘附至表面板上来提高抛光垫的使用寿命。

技术特征：

1.一种用于粘附抛光垫的双面胶带，包括：

2.根据权利要求1所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，所述气泡排出图案形成片层在形成为突出线的所述图案渗入所述第二粘合层的下表面中的状态下层压。

3.根据权利要求1所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，在使用时所述上离型膜层和所述气泡排出图案形成片层被去除。

4.根据权利要求3所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，所述第二粘合层粘附至需要去除气泡的表面。

5.根据权利要求1所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，以突出线形成的所述图案为条纹图案或多边形图案。

6.根据权利要求5所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，所述多边形图案是由交叉的直线突出线形成的方形图案。

7.根据权利要求1所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，所述突出线的横向截面是多边形、下部部分被切掉的圆形或下部部分被切掉的椭圆形。

8.根据权利要求1所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，所述突出线的最长宽度是50μm至250μm，高度是5μm至30μm。

9.根据权利要求8所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，所述方形图案在两个不相邻边之间的宽度为300μm至1000μm。

10.根据权利要求1所述的用于粘附抛光垫的双面胶带，其中，所述气泡排出图案形成片层包括在一侧形成有以突出线形成的气泡排出图案的形成片和粘附至所述形成片的另一侧的基底膜。

11.一种化学机械抛光设备，包括：

12.根据权利要求11所述的化学机械抛光设备，其中，所述抛光垫的下表面粘附至所述双面胶带的第一粘合层上，所述表面板的上表面粘附至所述双面胶带的第二粘合层上。

技术总结本发明提供一种用于粘附抛光垫的双面胶带以及一种应用了所述胶带的化学机械抛光设备，所述粘附胶带包括：上离型膜层；第一粘合层；胶带基底，层压在所述第一粘合层的下表面上；第二粘合层，层压在所述胶带基底的下表面上；和气泡排出图案形成片层，层压在所述第二粘合层的下表面上，并且包括在层压表面上以突出线形成的气泡排出图案。技术研发人员：闵丙柱,洪锡智,金昇槿,郑朾然,赵康文受保护的技术使用者：韩商KPX化学股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29