一种阀结构及流体设备的制作方法

本发明涉及流体设备，尤其是涉及一种阀结构及流体设备。

背景技术：

1、压力微泵是常用的一种流体设备，通常包括泵腔、泵膜、进口阀及出口阀，其中，泵腔上分别开设进液通孔及出液通孔，进口阀置于泵腔内。泵膜通过压电块驱动，压电块通过连接件提拉泵膜，泵腔的体积增加，泵腔内部压力减小，进口阀在压差的驱动下打开，流体从进口阀流入，而此时，出口阀保持关闭状态；压电块通过连接件推压泵膜，泵腔的体积减小，泵腔内部压力增加，出口阀在压差的作用下打开，而进口阀被压紧，处于关闭状态。

2、而目前，微泵等流体设备通常面临进口阀或者出口阀密封不严，从而导致流体泄露的问题。

3、综上所述，如何避免进口阀或者出口阀密封不严导致流体泄露是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明的第一个目的是提供一种阀结构，以避免进口阀或者出口阀密封不严导致流体泄露。

2、本发明的第二个目的是提供一种流体设备。

3、为了实现上述第一个目的，本发明提供了如下方案：

4、一种阀结构，用于流体设备，所述阀结构包括：

5、设置于所述流体设备的腔体内的阀芯，所述腔体上开设有连通所述腔体内外的连通通孔，所述腔体内环绕所述连通通孔的周向设置有抵接凸起，所述阀芯用于与所述抵接凸起抵接以封堵所述连通通孔；

6、一端与所述阀芯连接，另一端与所述腔体的内壁连接的弹性件，且当所述抵接凸起与所述阀芯抵接时，使得所述弹性件沿着远离所述阀芯的一端到连接阀芯的一端的方向，向远离所述腔体开设所述连通通孔的端面的方向倾斜。

7、在一个具体的实施方案中，所述抵接凸起通过刻蚀所述腔体的内壁而成；和/或

8、所述阀结构还包括至少覆盖在所述阀芯用于与所述抵接凸起抵接的位置处的第一柔性材料层；

9、和/或

10、所述阀结构还包括至少覆盖在所述抵接凸起用于与所述阀芯抵接的位置处的第二柔性材料层。

11、在另一个具体的实施方案中，所述弹性件沿着所述阀芯移动的方向的两侧完全镂空设置。

12、在另一个具体的实施方案中，所述弹性件为直的或者折弯而成的悬臂设置。

13、根据本发明的各个实施方案可以根据需要任意组合，这些组合之后所得的实施方案也在本发明范围内，是本发明具体实施方式的一部分。

14、本发明提供的阀结构，当用于流体设备中时，可以作为进口阀和/或出口阀使用，阀结构的弹性件的一端与流体设备的腔体的内壁连接，另一端与阀结构的阀芯连接，且腔体的内壁环绕连通通孔的周向设置有抵接凸起，抵接凸起与阀芯抵接，使得弹性件沿着远离阀芯的一端到连接阀芯的一端的方向向靠近腔体开设连通通孔的端面的方向倾斜，即抵接凸起给阀芯施加了预紧力，使得弹性件发生形变，而弹性件发生形变，避免了阀芯与抵接凸起脱离的问题。当腔体的内外压差超过预紧力的值时，阀芯才会与抵接凸起分离，以露出连通通孔，从而实现腔体内外的连通，实现流体进入腔体内或者排出至腔体外，进而避免了进口阀或者出口阀密封不严导致的流体泄露等问题。

15、为了实现上述第二个目的，本发明提供了如下方案：

16、一种流体设备，包括：

17、腔体，所述腔体上开设有连通通孔，且所述连通通孔的个数至少为2个，其中，至少1个所述连通通孔为进口孔，至少1个所述连通通孔为出口孔；

18、进口阀，所述进口阀设置在所述腔体内，用于封堵所述进口孔；

19、出口阀，所述出口阀设置在所述腔体内，用于封堵所述出口孔；

20、所述进口阀及所述出口阀中，至少一者如上述中任意一项所述的阀结构。

21、在另一个具体的实施方案中，所述腔体包括依次密封并叠放设置的第一盖板、基板以及第二盖板；

22、所述基板面向所述第一盖板的一端开设有第一凹槽，所述第一盖板封堵所述第一凹槽，以形成流体腔；

23、所述基板面向所述第二盖板的一端开设有第二凹槽，所述第二凹槽与所述第一凹槽背对背设置，且所述第一凹槽与所述第二凹槽共槽底的部分形成驱动膜，所述第二盖板封堵所述第二凹槽，以形成驱动腔，所述第二盖板上开设有与所述驱动腔连通的容纳通孔，所述驱动膜能够向靠近或者远离所述第一盖板的方向移动，以挤压或者拉伸所述流体腔；

24、所述进口阀及所述出口阀均与所述基板连接。

25、在另一个具体的实施方案中，所述第二盖板面向所述基板的一端设置有第一限位凸起，所述第一限位凸起用于抵接所述驱动膜面向所述第二盖板的一端，以限位所述驱动膜向靠近所述第二盖板的方向移动的位移；

26、所述第一盖板围设所述流体腔的一端用于抵接所述驱动膜面向所述第一盖板的一端，以限位所述驱动膜向靠近所述第一盖板的方向移动的位移；

27、或者

28、所述第一盖板面向所述基板的一端设置有第二限位凸起，所述第二限位凸起用于抵接所述驱动膜面向所述第一盖板的一端，以限位所述驱动膜向靠近所述第一盖板的方向移动的位移。

29、在另一个具体的实施方案中，所述第二盖板上开设有容纳通孔；

30、所述基板上开设有容纳凹槽，所述容纳凹槽内用于粘接驱动所述驱动膜移动的压电块。

31、在另一个具体的实施方案中，所述进口阀如上述中任意一项所述的阀结构，

32、所述进口孔开设在所述第二盖板上，所述基板面向所述第二盖板的一端开设有环形的第三凹槽，所述第三凹槽环绕的所述基板的部分形成所述进口阀的阀芯，所述第二盖板封堵所述第三凹槽，以形成所述进口阀的阀腔，用于与所述进口阀的阀芯抵接的抵接凸起设置在所述第二盖板上，

33、所述第三凹槽与所述第一凹槽背对背设置，且共槽底设置，所述第三凹槽的槽底部分镂空设置，以与所述第一凹槽连通，所述进口阀的弹性件为所述第三凹槽镂空设置所形成的悬臂，所述悬臂的个数至少为2个，且环布在所述进口阀的阀芯的周向；

34、和/或

35、所述出口阀如上述中任意一项所述的阀结构，

36、所述出口孔开设在所述第一盖板上，

37、所述基板面向所述第二盖板的一端开设有第四凹槽，所述第四凹槽与所述第一凹槽背对背设置，且共槽底设置，所述第二盖板封堵所述第四凹槽，

38、所述出口阀的阀芯设置在所述第一凹槽内，且向所述第四凹槽的投影完全落入所述第四凹槽内，

39、所述第四凹槽的槽底环绕所述出口阀的阀芯的部分形成所述出口阀的弹性件，

40、用于与所述出口阀的阀芯抵接的抵接凸起设置在所述第一盖板上。

41、在另一个具体的实施方案中，所述第二盖板上开设有与所述第四凹槽连通的空气连通孔；

42、和/或

43、所述出口阀的阀芯用于封堵所述出口孔的一端开设有阀芯凹槽，且所述阀芯凹槽至少部分与所述出口孔错开设置。

44、在另一个具体的实施方案中，所述出口孔开设在所述第二盖板上，

45、所述出口阀包括出液阀芯及出液弹性连接件，

46、所述基板面向所述第二盖板的一端开设有第五凹槽，所述第五凹槽与所述第一凹槽背对背设置，且共槽底设置，所述第二盖板封堵所述第五凹槽，且所述出口孔与所述第五凹槽连通，

47、所述出液阀芯设置在所述第一凹槽内，且向所述第五凹槽的投影完全落入所述第五凹槽内，

48、所述第五凹槽的槽底环绕所述出液阀芯的部分形成所述出液弹性连接件，

49、所述出液阀芯上开设有处于关闭状态的出液连通孔，且当所述出液弹性连接件带动所述出液阀芯向靠近所述第二盖板的方向移动时，所述出液连通孔连通所述第一凹槽及所述第五凹槽；

50、和/或

51、所述第一盖板及所述第二盖板均为玻璃板，所述基板为硅晶片，所述第一盖板及所述第二盖板分别键合在所述基板的两端；

52、和/或

53、所述流体设备为微泵。

54、根据本发明的各个实施方案可以根据需要任意组合，这些组合之后所得的实施方案也在本发明范围内，是本发明具体实施方式的一部分。

55、由于本发明提供的流体设备包括上述任意一项中的阀结构，因此，上述阀结构所具有的有益效果均是本发明公开的流体设备所包含的。