一种工艺配方的管理方法和半导体工艺设备与流程

本发明涉及半导体，特别是涉及一种工艺配方的管理方法和半导体工艺设备。

背景技术：

1、目前，随着自动化技术的发展，在实际生产中，芯片生产厂商会向半导体设备厂商购买半导体工艺设备，由芯片生产厂商开发运维的设备自动化系统可以向由半导体设备厂商开发运维的半导体工艺设备发送指令进行生产。

2、其中，对于工艺配方来说，信任区由芯片生产商开发运维的设备自动化系统组成，非信任区由半导体工艺设备、上位机电脑、下位机电脑组成。为了保证工艺配方的安全性，需要尽可能少地减少工艺配方信息在非信任区的驻留时间。

3、但是基于现有技术方案，在实际的生产过程中，工艺配方不可避免的要在半导体工艺设备中驻留很长时间，因此无法保证工艺配方的安全性。

技术实现思路

1、本发明实施例所要解决的技术问题是工艺配方的安全性低。

2、为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种工艺配方的管理方法，应用于半导体工艺设备，工艺配方的管理方法包括：

3、获取设备自动化系统下发的工艺配方；

4、对工艺配方进行加密处理，得到敏感数据资源包，以用于半导体工艺设备中包括的预设工艺模块调用敏感数据资源包中的工艺配方；

5、在全部预设工艺模块对敏感数据资源包的调用执行完成的情况下，删除敏感数据资源包。

6、本发明实施例公开了一种半导体工艺设备，包括：

7、第一控制器，用于获取设备自动化系统下发的工艺配方；

8、对工艺配方进行加密处理，得到敏感数据资源包，以用于半导体工艺设备中包括的预设工艺模块调用敏感数据资源包中的工艺配方；

9、在全部预设工艺模块对敏感数据资源包的调用执行完成的情况下，删除敏感数据资源包。

10、根据本发明的实施例，通过获取设备自动化系统下发的工艺配方，然后，对工艺配方进行加密处理，得到敏感数据资源包，以用于半导体工艺设备中包括的预设工艺模块调用敏感数据资源包中的工艺配方；这里，只能通过敏感数据资源包访问到工艺配方，避免其他设备访问到工艺配方，保证工艺配方的安全性。在全部预设工艺模块对敏感数据资源包的调用执行完成的情况下，在全部预设工艺模块对敏感数据资源包的调用执行完成的情况下，代表所有的处理逻辑结束，此时敏感数据资源包与工艺配方的生命周期结束，删除敏感数据资源包，保证工艺配方的安全性。

技术特征：

1.一种工艺配方的管理方法，应用于半导体工艺设备，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在全部所述预设工艺模块对所述敏感数据资源包的调用执行完成的情况下，删除所述敏感数据资源包，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取自动化系统下发的工艺配方，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述从所述通信缓冲区读取所述工艺配方之后，所述方法还包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述工艺配方进行加密处理，得到敏感数据资源包，包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述工艺配方进行加密处理，得到敏感数据资源包，包括：

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述对所述工艺配方进行解析，得到所述工艺配方的属性信息和解析后的工艺配方，包括：

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述对所述工艺配方进行加密处理，得到敏感数据资源包之后，所述方法还包括：

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设工艺模块调用所述敏感数据资源包中的工艺配方的方式为指针引用方式。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在全部所述预设工艺模块对所述敏感数据资源包的调用执行完成的情况下，删除所述敏感数据资源包，包括：

11.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括：

技术总结本发明实施例提供了一种工艺配方的管理方法，该方法包括：获取设备自动化系统下发的工艺配方；对工艺配方进行加密处理，得到敏感数据资源包，以用于半导体工艺设备中包括的预设工艺模块调用敏感数据资源包中的工艺配方；在全部预设工艺模块对敏感数据资源包的调用执行完成的情况下，删除敏感数据资源包。技术研发人员：张茜受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/10