光刻机曝光流程控制方法与流程

本申请涉及光刻机，更为具体地说，涉及一种光刻机曝光流程控制方法。

背景技术：

1、光刻机是半导体制造过程中的重要设备，其作用是将掩膜版中的电路图案按照预定的尺寸和位置通过曝光工艺精准地转移到硅片或其他衬底上，这就要求在掩膜版与硅片或其他底衬具有极高的对准精度，光刻机的精度和分辨率对芯片制造的质量和性能至关重要。

2、光刻机曝光工艺过程中不仅涉及掩膜版转运、晶圆转运、粗对准、精对准等运动控制类任务，还存在如图像处理任务、数据传输任务、状态监测任务等其它类型的任务，也即光刻机工作过程中需处理多任务场景下的控制，只有将多任务场景下的各种控制、处理、协调有机统一，才能保证光刻机的光刻效率和光刻质量。也就是，光刻机主控系统的主要功能是，控制各个关联系统和下位机单元按照一定的规则工作，保证硅片曝光动作能被准确无误地执行。

3、因此，期望提供一种改进的光刻机曝光流程控制方案，以提升光刻机曝光的复杂流程的控制性能。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种光刻机曝光流程控制方法，其通过根据业务路基生成包含大状态及其子状态的处理消息包，和将处理消息包入队到状态机的消息处理队列来执行大状态及其子状态，实现了高效率的光刻机曝光流程控制。

2、根据本申请的一方面，提供了一种光刻机曝光流程控制方法，包括：根据业务逻辑生成包含第一大状态的第一处理消息包，且将所述第一处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第一大状态；根据业务逻辑确定所述第一大状态内需要被执行的一个或多个子状态，并生成包含所述第一大状态和所述一个或多个子状态的子状态处理消息包，且将所述子状态处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述一个或多个子状态；以及，响应于所述第一大状态内需要被执行的一个或多个子状态执行完毕，根据业务逻辑生成包含第二大状态的第二处理消息包，且将所述第二处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第二大状态。

3、在上述光刻机曝光流程控制方法中，在根据当前业务生成包含第一大状态的第一处理消息包，且将所述第一处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第一大状态之前，进一步包括：服务层调用工件台控制系统(stg)提供的业务接口，以使得工件台控制系统(stg)切换到业务处理状态。

4、在上述光刻机曝光流程控制方法中，根据当前业务生成包含第一大状态的第一处理消息包，且将所述第一处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第一大状态包括：通过相对于工件台控制系统(stg)的外部传控模块或者所述工件台控制系统(stg)的内部各个下位机单元的调用生成包含第一大状态的第一处理消息包，且将所述第一处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第一大状态。

5、在上述光刻机曝光流程控制方法中，所述相对于工件台控制系统(stg)的外部传控模块通过调用工件台控制系统(stg)提供的消息通知接口来生成包含第一大状态的第一处理消息包；或者，所述内部各个下位机单元通过调用工件台控制系统(stg)提供的回调函数来生成包含第一大状态的第一处理消息包。

6、在上述光刻机曝光流程控制方法中，所述大状态和所述子状态包括用于表示状态的执行状态码的执行状态码，所述大状态的执行状态包括执行、成功和失败三种状态，且所述子状态的执行状态包括初始操纵、执行、成功和失败四种状态。

7、在上述光刻机曝光流程控制方法中，确定所述第一大状态内需要被执行的一个或多个子状态，并生成包含所述第一大状态和所述一个或多个子状态的子状态处理消息包，且将所述子状态处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述一个或多个子状态包括：响应于包含第一大状态的第一处理消息包入队到消息处理队列中，在所述第一处理消息包中，所述第一大状态的执行状态码为执行，且所述一个或多个子状态的执行状态码为初始操作；响应于所述第一处理消息包出队，生成包含所述第一大状态和所述一个或多个子状态的子状态处理消息包，且将所述子状态处理消息包入队到状态机的消息处理队列中，在所述子状态处理消息包中，所述第一大状态和所述一个或多个子状态的执行状态码都为执行；以及，响应于所述子状态处理消息包出队，执行所述一个或多个子状态，并生成包含所述第一大状态和所述一个或多个子状态的子状态成功处理消息包，在所述子状态成功消息包中，所述第一大状态的执行状态码为执行，且所述一个或多个子状态的执行状态码为成功。

8、在上述光刻机曝光流程控制方法中，响应于所述第一大状态包括多个子状态，分别生成包含所述第一大状态和各个子状态的多个子状态处理消息包，且根据业务逻辑串行或者并行地执行所述多个子状态处理消息包。

9、在上述光刻机曝光流程控制方法中，进一步包括：响应于存在需要与所述第二大状态并行执行的第三大状态，生成包含第三大状态的第三处理消息包，且将所述第二处理消息包与所述第三处理消息包依次入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第三大状态。

10、在上述光刻机曝光流程控制方法中，在所述第二处理消息包和所述第三处理消息包中，所述第二大状态和所述第三大状态的执行状态码为执行，且其子状态的执行状态码为初始操作。

11、本申请实施例提供的光刻机曝光流程控制方法，可以通过根据业务路基生成包含大状态及其子状态的处理消息包，和将处理消息包入队到状态机的消息处理队列来执行大状态及其子状态，实现了高效率的光刻机曝光流程控制。

技术特征：

1.一种光刻机曝光流程控制方法，包括：

2.如权利要求1所述的光刻机曝光流程控制方法，其中，在根据当前业务生成包含第一大状态的第一处理消息包，且将所述第一处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第一大状态之前，进一步包括：

3.如权利要求1所述的光刻机曝光流程控制方法，其中，根据当前业务生成包含第一大状态的第一处理消息包，且将所述第一处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第一大状态包括：

4.如权利要求3所述的光刻机曝光流程控制方法，其中，所述相对于工件台控制系统(stg)的外部传控模块通过调用工件台控制系统(stg)提供的消息通知接口来生成包含第一大状态的第一处理消息包；或者，所述内部各个下位机单元通过调用工件台控制(stg)系统提供的回调函数来生成包含第一大状态的第一处理消息包。

5.如权利要求1所述的光刻机曝光流程控制方法，其中，所述大状态和所述子状态包括用于表示状态的执行状态码的执行状态码，所述大状态的执行状态包括执行、成功和失败三种状态，且所述子状态的执行状态包括初始操纵、执行、成功和失败四种状态。

6.如权利要求5所述的光刻机曝光流程控制方法，其中，确定所述第一大状态内需要被执行的一个或多个子状态，并生成包含所述第一大状态和所述一个或多个子状态的子状态处理消息包，且将所述子状态处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述一个或多个子状态包括：

7.如权利要求1所述的光刻机曝光流程控制方法，其中，响应于所述第一大状态包括多个子状态，分别生成包含所述第一大状态和各个子状态的多个子状态处理消息包，且根据业务逻辑串行或者并行地执行所述多个子状态处理消息包。

8.如权利要求1所述的光刻机曝光流程控制方法，进一步包括：

9.如权利要求8所述的光刻机曝光流程控制方法，其中，在所述第二处理消息包和所述第三处理消息包中，所述第二大状态和所述第三大状态的执行状态码为执行，且其子状态的执行状态码为初始操作。

技术总结提供了一种光刻机曝光流程控制方法，包括：根据业务逻辑生成包含第一大状态的第一处理消息包，且将所述第一处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第一大状态；根据业务逻辑确定所述第一大状态内需要被执行的一个或多个子状态，并生成包含所述第一大状态和所述一个或多个子状态的子状态处理消息包，且将所述子状态处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述一个或多个子状态；以及，响应于所述第一大状态内需要被执行的一个或多个子状态执行完毕，根据业务逻辑生成包含第二大状态的第二处理消息包，且将所述第二处理消息包入队到状态机的消息处理队列中以执行所述第二大状态。这样，实现了高效率的光刻机曝光流程控制。技术研发人员：张琪,符友银,沈全安,姚孝珍,邓丽君受保护的技术使用者：新毅东（上海）科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17