激光直写光刻机台框开合机构的制作方法

本发明涉及自动化控制设备，具体说是激光直写光刻机台框开合机构。

背景技术：

1、激光直写光刻：是指利用激光束的高能量密度和高度聚焦特性，在光刻胶表面进行直接曝光，从而实现对微纳结构的精确刻画。

2、作为最接近的现有技术，根据中国专利公开号cn112764322a，公开了一种激光直写光刻机长辊式压板机构，包括压板部，压板部包括支撑翼板以及设置于支撑翼板下方的胶辊组件；胶辊组件包括转轴以及套接于转轴上的胶辊，转轴两端均通过线性导向轴与支撑翼板上下滑动连接，线性导向轴下端与转轴固定连接，线性导向轴上端与支撑翼板滑动连接，转轴与支撑翼板之间设置压缩弹簧，压缩弹簧套接于线性导向轴上，该结构采用压合技术，进行限位挤压工作；

3、但是目前的激光直写光刻机台框开合机构，大多采用上下台框独立控制打开、闭合，使得成本高、结构复杂，存在调控技术复杂的问题，本发明一套机构即可解决上下同时打开闭合工作，能够提高对整体运动的控制效果。

技术实现思路

1、针对现有技术中的问题，本发明提供了激光直写光刻机台框开合机构。

2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：激光直写光刻机台框开合机构，包括上台框工作组和下台框工作组，所述上台框工作组、下台框工作组相对限位设置，且上台框工作组、下台框工作组上设有操控处理结构，通过操控处理结构能够控制上台框工作组、下台框工作组相对运行，从而进行上台框工作组、下台框工作组之间的开合控制。

3、具体的，所述操控处理结构包括伺服电机，所述伺服电机上驱动连接有紧密丝杆，且紧密丝杆与导轨升降连接架螺纹连接，所述导轨升降连接架通过第一直线导轨、第二直线导轨进行限位，能够沿直线运动，所述导轨升降连接架一侧固定连接有升降梯形块，所述升降梯形块背离导轨升降连接架的一侧固定连接有升降v形块，所述升降梯形块上设有第四下台框升降轴承组合轴和第四上台框升降轴承组合轴，所述第四下台框升降轴承组合轴下端通过轮体在升降梯形块上运动，所述第四上台框升降轴承组合轴也通过轮体在升降梯形块上运动，所述第三下台框升降轴承组合轴通过轮体在升降v形块上运动，所述第三上台框升降轴承组合轴也通过轮体在升降v形块上运动，第三上台框升降轴承组合轴后端设有第一上台框升降轴承组合轴，所述第三下台框升降轴承组合轴后端设有第一下台框升降轴承组合轴，所述第四下台框升降轴承组合轴后端设有第二下台框升降轴承组合轴，所述第四上台框升降轴承组合轴后端设有第二上台框升降轴承组合轴，第一上台框升降轴承组合轴、第二上台框升降轴承组合轴、第三上台框升降轴承组合轴、第四上台框升降轴承组合轴上部与上台框工作组固定，所述第一下台框升降轴承组合轴、第二下台框升降轴承组合轴、第三下台框升降轴承组合轴、第四下台框升降轴承组合轴上部与下台框工作组固定，从而控制上台框工作组、下台框工作组相对运动，且第一台框升降限位导柱、第二台框升降限位导柱、第四台框升降限位导柱、第三台框升降限位导柱用于上台框工作组、下台框工作组的限位，使得上台框工作组、下台框工作组沿纵向位置滑动调节，通过伺服电机的设置，能够驱动紧密丝杆进行转动，从而使得导轨升降连接架在紧密丝杆上运动调节，同时导轨升降连接架侧端通过第一直线导轨、第二直线导轨进行限位，使得导轨升降连接架进行直线运动，能够带动升降v形块、升降梯形块同步运动，升降v形块上呈v型设置，升降梯形块呈梯形设置，且上端与第一上台框升降轴承组合轴、第一下台框升降轴承组合轴、第二下台框升降轴承组合轴、第二上台框升降轴承组合轴、第三上台框升降轴承组合轴、第三下台框升降轴承组合轴、第四下台框升降轴承组合轴、第四上台框升降轴承组合轴进行连接，伴随升降v形块、升降梯形块的运动，使得第一上台框升降轴承组合轴、第二上台框升降轴承组合轴、第三上台框升降轴承组合轴、第四上台框升降轴承组合轴以及第一下台框升降轴承组合轴、第二下台框升降轴承组合轴、第三下台框升降轴承组合轴、第四下台框升降轴承组合轴分别进行运动，从而改变上台框工作组、下台框工作组的位置，实现开合调节目的，通过独特的v型和梯形结构设置及一套伺服电机丝杆装置实现控制目的，结构比较简单、节约成本，同时节省很多空间，给其它复杂的机构留下充足运行空间，采用一套机构实现同时开合运动，同时机械式定位位置精确，减少误动作，调试也更加的方便。

4、本发明的有益效果：

5、本发明通过伺服电机的设置，能够驱动紧密丝杆进行转动，从而使得导轨升降连接架在紧密丝杆上运动调节，同时导轨升降连接架侧端通过第一直线导轨、第二直线导轨进行限位，使得导轨升降连接架进行直线运动，能够带动升降v形块、升降梯形块同步运动，升降v形块上呈v型设置，升降梯形块呈梯形设置，且上端与第一上台框升降轴承组合轴、第一下台框升降轴承组合轴、第二下台框升降轴承组合轴、第二上台框升降轴承组合轴、第三上台框升降轴承组合轴、第三下台框升降轴承组合轴、第四下台框升降轴承组合轴、第四上台框升降轴承组合轴进行连接，伴随升降v形块、升降梯形块的运动，使得第一上台框升降轴承组合轴、第二上台框升降轴承组合轴、第三上台框升降轴承组合轴、第四上台框升降轴承组合轴以及第一下台框升降轴承组合轴、第二下台框升降轴承组合轴、第三下台框升降轴承组合轴、第四下台框升降轴承组合轴分别进行运动，从而改变上台框工作组、下台框工作组的位置，实现开合调节目的，通过独特的v型和梯形结构设置及一套伺服电机丝杆装置实现控制目的，结构比较简单、节约成本，同时节省很多空间，给其它复杂的机构留下充足运行空间，采用一套机构实现同时开合运动，同时机械式定位位置精确，减少误动作，调试也更加的方便。

技术特征：

1.激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：包括上台框工作组（5）和下台框工作组（9），所述上台框工作组（5）、下台框工作组（9）相对限位设置，且上台框工作组（5）、下台框工作组（9）上设有操控处理结构，通过操控处理结构能够控制上台框工作组（5）、下台框工作组（9）相对运行，从而进行上台框工作组（5）、下台框工作组（9）之间的开合控制。

2.根据权利要求1所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：所述操控处理结构包括伺服电机（17），所述伺服电机（17）上驱动连接有紧密丝杆（16），且紧密丝杆（16）与导轨升降连接架（18）螺纹连接，所述导轨升降连接架（18）通过第一直线导轨（15）、第二直线导轨（19）进行限位，能够沿直线运动。

3.根据权利要求2所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：所述导轨升降连接架（18）一侧固定连接有升降梯形块（11），所述升降梯形块（11）背离导轨升降连接架（18）的一侧固定连接有升降v形块（8）。

4.根据权利要求3所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：所述升降梯形块（11）上设有第四下台框升降轴承组合轴（10）和第四上台框升降轴承组合轴（12）。

5.根据权利要求4所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：所述第四下台框升降轴承组合轴（10）下端通过轮体在升降梯形块（11）上运动，所述第四上台框升降轴承组合轴（12）也通过轮体在升降梯形块（11）上运动。

6.根据权利要求5所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：所述第三下台框升降轴承组合轴（6）通过轮体在升降v形块（8）上运动，所述第三上台框升降轴承组合轴（7）也通过轮体在升降v形块（8）上运动。

7.根据权利要求6所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：第三上台框升降轴承组合轴（7）后端设有第一上台框升降轴承组合轴（1），所述第三下台框升降轴承组合轴（6）后端设有第一下台框升降轴承组合轴（2），所述第四下台框升降轴承组合轴（10）后端设有第二下台框升降轴承组合轴（3）。

8.根据权利要求7所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：所述第四上台框升降轴承组合轴（12）后端设有第二上台框升降轴承组合轴（4），第一上台框升降轴承组合轴（1）、第二上台框升降轴承组合轴（4）、第三上台框升降轴承组合轴（7）、第四上台框升降轴承组合轴（12）上部与上台框工作组（5）固定。

9.根据权利要求8所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：所述第一下台框升降轴承组合轴（2）、第二下台框升降轴承组合轴（3）、第三下台框升降轴承组合轴（6）、第四下台框升降轴承组合轴（10）上部与下台框工作组（9）固定，从而控制上台框工作组（5）、下台框工作组（9）相对运动。

10.根据权利要求9所述的激光直写光刻机台框开合机构，其特征在于：第一台框升降限位导柱（13）、第二台框升降限位导柱（14）、第四台框升降限位导柱（21）、第三台框升降限位导柱（20）用于上台框工作组（5）、下台框工作组（9）的限位，使得上台框工作组（5）、下台框工作组（9）沿纵向位置滑动调节。

技术总结本发明涉及自动化控制设备技术领域，具体地涉及激光直写光刻机台框开合机构，包括上台框工作组和下台框工作组，上台框工作组、下台框工作组相对限位设置，且上台框工作组、下台框工作组上设有操控处理结构，通过操控处理结构能够控制上台框工作组、下台框工作组相对运行，从而进行上台框工作组、下台框工作组之间的开合控制,操控处理结构包括伺服电机，伺服电机上驱动连接有紧密丝杆，且紧密丝杆与导轨升降连接架螺纹连接，导轨升降连接架通过第一直线导轨、第二直线导轨进行限位，能够沿直线运动，导轨升降连接架一侧固定连接有升降梯形块，升降梯形块背离导轨升降连接架的一侧固定连接有升降V形块。通过结构的设置，方便进行开合调节目的。技术研发人员：刘保华受保护的技术使用者：苏州建高远微电子设备科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29