载荷传感器的制作方法

本发明涉及基于静电电容的变化来检测从外部赋予的载荷的载荷传感器。

背景技术：

1、以往，作为hmi(human machine interface，人机接口)，在键盘、游戏控制器等各种设备中使用了静电电容式的载荷传感器。例如，载荷传感器可以设为如下的结构，即，具备：第1电极，具备多个具有弹性的导电性的突起；第2电极，夹着突起而与第1电极对置；以及电介质，配置在第2电极的对置面。若向第1电极或第2电极赋予载荷，则突起与载荷相应地收缩。由此，电介质与突起之间的接触面积会变化，并且电介质与第1电极之间的距离减少。其结果，第1电极与第2电极之间的静电电容会变化。根据该静电电容的变化，能检测出载荷。

2、在以下的专利文献1中记载有这种载荷传感器。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2016-118545号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、在上述结构的载荷传感器中，突起由弹性模量低的材料构成。由此，突起与载荷相应地顺畅伸缩，能够实现良好的载荷的灵敏度特性。然而，另一方面，一般弹性模量低的材料的弹性模量的偏差大。因此，若由弹性模量低的材料构成突起，则在载荷传感器间，灵敏度特性会产生偏差。

3、鉴于这样的课题，本发明的目的在于，提供能够抑制载荷传感器间的灵敏度特性的偏差的载荷传感器。

4、用于解决课题的手段

5、本发明的主要的方式涉及的载荷传感器具备：第1电极，在同一面具有第1突起以及第2突起，所述第1突起具有弹性且为导电性，所述第2突起的弹性模量高于所述第1突起；第2电极，夹着所述第1突起以及所述第2突起而与第1电极对置；以及电介质，配置在所述第2电极的对置面。

6、根据本方式涉及的载荷传感器，主要由弹性模量高的第2突起承受载荷，因而载荷的灵敏度特性受第2突起的变形的支配。另一方面，第2突起的弹性模量高，不易产生按每种材料的弹性模量的偏差。由此，能够抑制载荷传感器间的灵敏度特性的偏差。

7、发明效果

8、如以上那样，根据本发明，能够提供能抑制载荷传感器间的灵敏度特性的偏差的载荷传感器。

9、本发明的效果和意义将通过以下所示的实施方式的说明而变得更加清楚。不过，以下所示的实施方式只是将本发明实施化时的一个例示，本发明不受以下的实施方式所记载的内容的任何限制。

技术特征：

1.一种载荷传感器，具备：

2.根据权利要求1所述的载荷传感器，其中，

3.根据权利要求2所述的载荷传感器，其中，

4.根据权利要求3所述的载荷传感器，其中，

5.根据权利要求3或4所述的载荷传感器，其中，

6.根据权利要求2所述的载荷传感器，其中，

7.根据权利要求1至6的任一项所述的载荷传感器，其中，

8.根据权利要求1至7的任一项所述的载荷传感器，其中，

9.根据权利要求8所述的载荷传感器，其中，

10.根据权利要求1至9的任一项所述的载荷传感器，其中，

11.根据权利要求10所述的载荷传感器，其中，

12.根据权利要求1至11的任一项所述的载荷传感器，其中，

13.根据权利要求1至12的任一项所述的载荷传感器，其中，

14.根据权利要求1至13的任一项所述的载荷传感器，其中，

15.根据权利要求14所述的载荷传感器，其中，

16.根据权利要求14或15所述的载荷传感器，其中，

技术总结载荷传感器(1)具备第1电极(20)、第2电极(40)和电介质(30)。第1电极(20)在同一面具有第1突起(21)以及第2突起(22)。第1突起(21)具有弹性以及导电性。第2突起(22)的弹性模量高于第1突起(21)。第2电极(40)夹着第1突起(21)以及第2突起(22)而与第1电极(20)对置。电介质(30)被配置在第2电极(40)的对置面。技术研发人员：增田忍,森浦祐太,浦上进,松本玄,滨野敬史,古屋博之受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社技术研发日：技术公布日：2024/11/4