控温装置的制作方法

本技术涉及刻蚀控温设备，特别涉及一种控温装置。

背景技术：

1、topcon电池，也即隧穿氧化层钝化接触电池(tunnel oxide passivatedcontact)，在制备topcon电池的过程中会涉及到对多晶硅层减薄的刻蚀工艺，药液温度的高低以及分布的均匀性对药液反应的速率和均匀性等有较大的影响，因此药液温度的稳定性和均匀性尤为重要。

2、但是，目前的相关技术对药液的加热过程中，无法较为稳定且精准地控制药液温度，致使topcon电池的多晶硅层减薄的刻蚀效果受到了影响，导致刻蚀生产质量不高。

技术实现思路

1、本实用新型主要提供一种控温装置，以解决现有相关技术中对药液进行加热时无法较为稳定且精准地控制药液温度而导致刻蚀生产质量不高的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提出一种控温装置，所述控温装置包括槽体、循环泵、加热组件以及控温组件；其中，

3、所述槽体设有第一槽和第二槽，所述第一槽和所述第二槽部分连通设置，所述第一槽和所述第二槽均用于容置药液；

4、所述循环泵和所述加热组件均设于所述第一槽内，所述循环泵用于将所述第一槽内的药液泵入所述第二槽内，所述加热组件用于加热药液，所述控温组件用于控制容置于所述第二槽内的药液的温度。

5、在本实用新型的一些实施例中，所述控温组件包括制冷器和输送管，所述输送管具有输出段、回流段以及冷却段，所述输出段与所述制冷器的输出口连通设置，所述回流段与所述制冷器的输入口连通设置；

6、所述冷却段设置于所述第二槽内，所述冷却段的一端与所述输出段连通设置，另一端与所述回流段连通设置。

7、在本实用新型的一些实施例中，所述冷却段排布于所述第二槽的槽底，所述冷却段还排布于所述第二槽的槽侧壁，并自所述第二槽的槽底至槽口的方向呈螺旋上升状设置；或，所述冷却段自所述第二槽的槽底至槽口的方向往复弯折设置，并排布于所述第二槽的每一槽侧壁上。

8、在本实用新型的一些实施例中，所述控温组件包括多个出液管、多个回液管以及热交换器；其中，

9、所述多个出液管的一端与所述第一槽连通设置，另一端与所述热交换器的进液口连通设置，所述多个回液管的一端与所述热交换器的出液口连通设置，另一端与所述循环泵连通设置。

10、在本实用新型的一些实施例中，所述槽体开设有多个出液孔，所述多个出液孔沿所述槽体的周向方向间隔分布，所述多个出液孔均邻近所述第一槽的槽底设置，所述多个出液管与所述多个出液孔一一对应连通。

11、在本实用新型的一些实施例中，所述控温组件还包括冷水器、所述冷水器与所述热交换器管路连通设置，所述冷水器用于与所述热交换器进行热交换。

12、在本实用新型的一些实施例中，所述控温装置还包括流量计，所述流量计与所述控温组件通信连接，所述流量计用于监测流入所述第二槽内的药液的流量，所述控温组件基于所述流量计所监测到的流量数据控制所述第二槽的药液的温度。

13、在本实用新型的一些实施例中，所述加热组件包括多个加热器，所述多个加热器中的一部分设置于所述第一槽的槽底，另一部分自所述第一槽的槽底向槽口的方向间隔分布。

14、在本实用新型的一些实施例中，所述第二槽的槽侧壁贯穿有泵入口和溢流口，所述泵入口邻近所述第二槽的槽底设置，所述泵入口与所述循环泵管路连通设置，所述溢流口邻近所述第二槽的槽口设置，其中，所述第二槽的最高水位高于所述第一槽的最高水位设置。

15、在本实用新型的一些实施例中，所述控温装置还包括温度传感器，所述温度传感器设于所述溢流口处并与所述控温组件通信连接，所述温度传感器用于检测溢向所述第一槽内的流体的温度，所述控温组件根据所述温度传感器控制所述第二槽的药液的温度。

16、本实用新型的有益效果是：区别于现有技术的情况，本实用新型公开控温装置通过在第一槽内加热药液，并将加热后药液泵入第二槽内，使得第二槽内的药液时刻保持着流动的状态，以确保第二槽内的药液温度的均匀性和稳定性，同时还通过控温组件实时控制第二槽内药液的温度，若第二槽内药液的温度升高，则控温组件控制第二槽内药液的温度下降至设定的温度，以实现稳定且精准地控制第二槽内药液的温度，以有效地减少温度波动对蚀刻过程的影响，提高刻蚀的速率以及刻蚀结果的一致性，从而提高刻蚀生产的质量。

技术特征：

1.一种控温装置，其特征在于，所述控温装置包括槽体、循环泵、加热组件以及控温组件；其中，

2.如权利要求1所述的控温装置，其特征在于，所述控温组件包括制冷器和输送管，所述输送管具有输出段、回流段以及冷却段，所述输出段与所述制冷器的输出口连通设置，所述回流段与所述制冷器的输入口连通设置；

3.如权利要求2所述的控温装置，其特征在于，所述冷却段排布于所述第二槽的槽底，所述冷却段还排布于所述第二槽的槽侧壁，并自所述第二槽的槽底至槽口的方向呈螺旋上升状设置；或，

4.如权利要求1所述的控温装置，其特征在于，所述控温组件包括多个出液管、多个回液管以及热交换器；其中，

5.如权利要求4所述的控温装置，其特征在于，所述槽体开设有多个出液孔，所述多个出液孔沿所述槽体的周向方向间隔分布，所述多个出液孔均邻近所述第一槽的槽底设置，所述多个出液管与所述多个出液孔一一对应连通。

6.如权利要求4所述的控温装置，其特征在于，所述控温组件还包括冷水器、所述冷水器与所述热交换器管路连通设置，所述冷水器用于与所述热交换器进行热交换。

7.如权利要求1所述的控温装置，其特征在于，所述控温装置还包括流量计，所述流量计与所述控温组件通信连接，所述流量计用于监测流入所述第二槽内的药液的流量，所述控温组件基于所述流量计所监测到的流量数据控制所述第二槽的药液的温度。

8.如权利要求1所述的控温装置，其特征在于，所述加热组件包括多个加热器，所述多个加热器中的一部分设置于所述第一槽的槽底，另一部分自所述第一槽的槽底向槽口的方向间隔分布。

9.如权利要求1所述的控温装置，其特征在于，所述第二槽的槽侧壁贯穿有泵入口和溢流口，所述泵入口邻近所述第二槽的槽底设置，所述泵入口与所述循环泵管路连通设置，所述溢流口邻近所述第二槽的槽口设置，其中，所述第二槽的最高水位高于所述第一槽的最高水位。

10.如权利要求9所述的控温装置，其特征在于，所述控温装置还包括温度传感器，所述温度传感器设于所述溢流口处并与所述控温组件通信连接，所述温度传感器用于检测溢向所述第一槽内的流体的温度，所述控温组件根据所述温度传感器控制所述第二槽的药液的温度。

技术总结本技术公开一种控温装置，所述控温装置包括槽体、循环泵、加热组件以及控温组件；其中，所述槽体设有第一槽和第二槽，所述第一槽和所述第二槽部分连通设置，所述第一槽和所述第二槽均用于容置药液；所述循环泵和所述加热组件均设于所述第一槽内，所述循环泵用于将所述第一槽内的药液泵入所述第二槽内，所述加热组件用于加热药液，所述控温组件用于控制容置于所述第二槽内的药液的温度。通过上述设置，有效地解决现有相关技术中对药液进行加热时无法较为稳定且精准地控制药液温度而导致刻蚀生产质量不高的问题。技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,裴冠森,周宇超受保护的技术使用者：江苏星能懋业光伏科技有限公司技术研发日：20240129技术公布日：2024/11/7