一种载物台和镀膜设备的制作方法

本申请涉及刀具制备，特别涉及一种载物台和镀膜设备。

背景技术：

1、为提高刀片的力学性能和使用寿命，刀片在生产过程中有一道镀膜工序，刀片批量装载于载物架，载物架装配至镀膜设备的载物台中，继而对刀片表面沉积涂层。刀片经镀膜后能够有效提高耐磨性能、抗氧化性能和抗金属疲劳性能及表面硬度、改善粗糙度等力学性能。

2、常规的镀膜设备还会设计弹性拨片，以弹性拨片拨动刀片所在的料杆，进而使刀片在载物架中回转方向，促进刀片表面涂层沉积的均匀度。但是由于镀膜腔室中的高温环境以及不同阶段腔室环境中的不同靶材溅射成分，载物架长期使用后，弹性拨片收腔室内环境影响，弹性拨片的结构和稳定性发生变化，影响弹性拨片的使用，进而影响刀片表面镀膜的均匀性。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题中的至少之一，本申请提供一种载物台和镀膜设备，所采用的技术方案如下。

2、本申请所提供的镀膜设备包括载物台，所述载物台的载物架位于所述镀膜设备的镀膜腔室中。

3、本申请所提供的载物台包括第二转盘和载物架，所述载物架设置于所述第二转盘上；所述载物架包括刀架组件、第一主轴、弹性拨片和第一止动结构，所述刀架组件包括第一转盘和料杆，所述料杆的下端设置于所述第一转盘；所述第一转盘固定设置于所述第一主轴，所述第一主轴可旋转地设置于所述第二转盘，且所述第一主轴能够以自身长度方向的中心轴线为旋转轴线进行旋转，以带动所述第一转盘旋转；所述第一主轴的外侧壁套设有环形结构，所述弹性拨片固定设置于所述环形结构，所述第一转盘布置有容置腔室，所述弹性拨片设置于所述容置腔室中；所述第一止动结构固定设置于所述环形结构，所述第二转盘对所述第一止动结构施加阻力以阻止所述环形结构转动，以使所述第一主轴带动所述第一转盘转动时所述第一主轴相对于所述环形结构转动，进而使得所述弹性拨片拨动所述料杆。

4、本申请的某些实施例中，所述载物台包括第二止动结构，所述第二止动结构设置为所述第二转盘的上侧表面的立柱，所述第一止动结构沿所述第一转盘的径向延伸并伸出至所述第一转盘之外，所述第二止动结构的侧壁抵接所述第一止动结构外侧壁，以使所述环形结构停止转动。

5、本申请的某些实施例中，所述第一主轴的外侧壁套设有滚动轴承，所述滚动轴承的内圈与所述第一主轴固定连接，所述滚动轴承的外圈与所述环形结构固定连接或者所述滚动轴承的外圈作为所述环形结构。

6、本申请的某些实施例中，所述容置腔室位于所述第一转盘的下侧表面。

7、本申请的某些实施例中，所述料杆的下端设置有拨齿座，所述拨齿座的外侧壁沿圆周间隔布置有多个齿形结构，所述第一主轴相对于所述环形结构旋转，以使所述弹性拨片拨动所述拨齿座，进而使得所述料杆在所述第一转盘上转动且所述料杆以自身长度方向的中心轴线为旋转轴线进行转动。

8、本申请的某些实施例中，所述容置腔室的侧壁设置有避让缺口，所述拨齿座至少部分地位于所述避让缺口，以使所述弹性拨片能够接触所述拨齿座的所述齿形结构。

9、本申请的某些实施例中，所述料杆设置为至少两个，所述弹性拨片设置为至少两个，各所述料杆在所述第一转盘上环绕所述第一转盘的中心轴线沿圆周间隔分布，各所述弹性拨片在所述环形结构上环绕所述第一主轴的中心轴线沿圆周间隔分布。

10、本申请的某些实施例中，所述第二转盘设置有至少两个第二主轴，各所述第二主轴环绕所述第二转盘的中心轴线沿圆周间隔分布，所述第一主轴套设于所述第二主轴的外侧壁或者所述第二主轴套设于所述第一主轴的外侧壁，所述第二主轴能够以自身长度方向的中心轴线为旋转轴线进行旋转，以带动所述第一主轴旋转。

11、本申请的某些实施例中，所述载物台包括太阳轮，所述太阳轮设置于所述第二转盘的下侧，所述第二主轴的下端设置有行星轮，所述太阳轮与所述行星轮啮合传动。

12、本申请的实施例至少具有以下有益效果：载物架中，弹性拨片布置在第一转盘的容置腔室中，容置腔室的侧壁能够减少镀膜腔室的环境对弹性拨片的影响，减少弹性拨片的结构和性能变化，以使弹性拨片能够很好地拨动料杆，确保刀片表面能够均匀镀膜。本申请可广泛应用于刀具制备技术领域。

技术特征：

1.一种载物台，其特征在于：包括第二转盘和载物架，所述载物架设置于所述第二转盘上；所述载物架包括

2.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述载物台包括第二止动结构，所述第二止动结构设置为所述第二转盘的上侧表面的立柱，所述第一止动结构沿所述第一转盘的径向延伸并伸出至所述第一转盘之外，所述第二止动结构的侧壁抵接所述第一止动结构外侧壁，以使所述环形结构停止转动。

3.根据权利要求1或2所述的载物台，其特征在于：所述第一主轴的外侧壁套设有滚动轴承，所述滚动轴承的内圈与所述第一主轴固定连接，所述滚动轴承的外圈与所述环形结构固定连接或者所述滚动轴承的外圈作为所述环形结构。

4.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述容置腔室位于所述第一转盘的下侧表面。

5.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述料杆的下端设置有拨齿座，所述拨齿座的外侧壁沿圆周间隔布置有多个齿形结构，所述第一主轴相对于所述环形结构旋转，以使所述弹性拨片拨动所述拨齿座，进而使得所述料杆在所述第一转盘上转动且所述料杆以自身长度方向的中心轴线为旋转轴线进行转动。

6.根据权利要求5所述的载物台，其特征在于：所述容置腔室的侧壁设置有避让缺口，所述拨齿座至少部分地位于所述避让缺口，以使所述弹性拨片能够接触所述拨齿座的所述齿形结构。

7.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述料杆设置为至少两个，所述弹性拨片设置为至少两个，各所述料杆在所述第一转盘上环绕所述第一转盘的中心轴线沿圆周间隔分布，各所述弹性拨片在所述环形结构上环绕所述第一主轴的中心轴线沿圆周间隔分布。

8.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：所述第二转盘设置有至少两个第二主轴，各所述第二主轴环绕所述第二转盘的中心轴线沿圆周间隔分布，所述第一主轴套设于所述第二主轴的外侧壁或者所述第二主轴套设于所述第一主轴的外侧壁，所述第二主轴能够以自身长度方向的中心轴线为旋转轴线进行旋转，以带动所述第一主轴旋转。

9.根据权利要求8所述的载物台，其特征在于：所述载物台包括太阳轮，所述太阳轮设置于所述第二转盘的下侧，所述第二主轴的下端设置有行星轮，所述太阳轮与所述行星轮啮合传动。

10.一种镀膜设备，其特征在于：包括如权利要求1至9任一项所述的载物台，所述载物架位于所述镀膜设备的镀膜腔室中。

技术总结本申请公开了一种载物台和镀膜设备，镀膜设备包括载物台，载物台包括第二转盘和载物架，载物架包括刀架组件、第一主轴、弹性拨片和第一止动结构，刀架组件包括第一转盘和料杆，料杆设置于第一转盘；第一转盘固定设置于第一主轴，第一主轴可旋转地设置于第二转盘，且第一主轴能够以自身长度方向的中心轴线为旋转轴线进行旋转，以带动第一转盘旋转；第一主轴的外侧壁套设有环形结构，弹性拨片固定设置于环形结构，第一转盘布置有容置腔室，弹性拨片设置于容置腔室中；第一止动结构固定设置于环形结构，第二转盘对第一止动结构施加阻力以阻止环形结构转动，以使第一主轴带动第一转盘转动时第一主轴相对于环形结构转动，进而使得弹性拨片拨动料杆。技术研发人员：梁浩,林海天,刘贵,李立升受保护的技术使用者：广东华升纳米科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/14