探针卡装置及其隧道式探针的制作方法

本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种探针卡装置及其隧道式探针。

背景技术：

1、现有探针卡所采用的弹簧探针(pogo pin)都是将弹簧密封于金属壳体之内，但现有弹簧探针的构造逐渐被视为无需进行改良，因而导致现有弹簧探针的发展停滞。于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

技术实现思路

1、本发明实施例的目的在于提供一种探针卡装置及其隧道式探针，能有效地改善现有弹簧探针所可能产生的缺陷。

2、本发明实施例公开一种探针卡装置，其包括：一第一导板单元与一第二导板单元，其沿一厚度方向对应于第一导板单元且彼此呈间隔地设置；多个导电探针，安装于第一导板单元与第二导板单元，并且每个导电探针包含：一传输段，其两端部分别位于第一导板单元与第二导板单元之内；一测试段，自传输段的其中一个端部延伸穿出第一导板单元；及一转接段，自传输段的其中另一个端部延伸穿出第二导板单元；以及多个隧道式探针，安装于第一导板单元，并且每个隧道式探针包含有：一管体，穿设且固定于第一导板单元；其中，管体形成有一活动通道及分别位于活动通道两端的一第一管口与一第二管口；一弹性件，安装于管体且位于活动通道之内；及一针体，可移动地贯穿活动通道，并且针体通过连接于弹性件而电性耦接于管体；其中，针体具有：一内置段，位于活动通道内且连接于弹性件；一外接段，相连于内置段的一端且位于第一管口的外侧；及一限位段，相连于内置段的另一端，限位段位于第二管口的外侧并抵顶于管体；其中，当每个隧道式探针的针体以外接段抵顶于一待测物时，针体朝向远离待测物的方向移动，以使外接段的局部通过第一管口缩入活动通道，而内置段的局部通过第二管口穿出活动通道，限位段离开管体，并且弹性件受到针体的压迫而形变蓄有一弹性力。

3、优选地，于每个隧道式探针之中，内置段贯穿弹性件，并且内置段的一端形成有一固持结构，弹性件夹持于固持结构与管体的内壁之间，以使限位段通过弹性件的预压力而保持抵顶于管体。

4、优选地，于每个隧道式探针之中，固持结构邻近于第一管口，并且外接段相连于固持结构。

5、优选地，于每个隧道式探针之中，管体形成有定义出第二管口的一内环形肋，并且内环形肋共平面于面向第二导板单元的第一导板单元的一内板面，而弹性件夹持于固持结构与内环形肋之间。

6、优选地，于每个隧道式探针之中，管体形成有位于第一管口外侧的至少一个外凸肋，并且至少一个外凸肋抵接于远离内板面的第一导板单元的一外板面。

7、优选地，于每个隧道式探针之中，限位段包含彼此分离的两个限位块，内置段包含有穿设于弹性件之内的两个支臂，并且两个支臂分别相连于两个限位块。

8、优选地，于每个隧道式探针之中，限位段同时抵顶于管体与第一导板单元，并且当针体以外接段抵顶于待测物时，限位段离开管体与第一导板单元。

9、优选地，第一导板单元包含有至少一条传输线路及连接于至少一条传输线路的至少一个电子组件，至少两个隧道式探针通过各自的管体抵接于至少一条传输线路而彼此电性耦接。

10、本发明实施例也公开一种探针卡装置的隧道式探针，其包括：一管体，形成有一活动通道及分别位于活动通道两端的一第一管口与一第二管口；一弹性件，安装于管体且位于活动通道之内；以及一针体，可移动地贯穿活动通道，并且针体通过连接于弹性件而电性耦接于管体；其中，针体具有：一内置段，位于活动通道内且连接于弹性件；一外接段，相连于内置段的一端且位于第一管口的外侧；及一限位段，相连于内置段的另一端，限位段位于第二管口的外侧并抵顶于管体；其中，当隧道式探针的针体以外接段抵顶于一待测物时，针体朝向远离待测物的方向移动，以使外接段的局部通过第一管口缩入活动通道，而内置段的局部通过第二管口穿出活动通道，限位段与管体分离，并且弹性件受到针体的压迫而形变蓄有一弹性力。

11、优选地，管体形成有位于第一管口外侧的至少一个外凸肋及定义出第二管口的一内环形肋；内置段贯穿弹性件，并且内置段的一端形成有一固持结构，弹性件夹持于固持结构与内环形肋之间，以使限位段通过弹性件的预压力而保持抵顶于管体。

12、综上所述，本发明实施例所公开的探针卡装置及其隧道式探针，通过各个组件之间的结构搭配(如：所述针体可移动地穿设于所述管体)，以使得所述弹性件与所述针体更利于安装至所述管体，进而降低所述隧道式探针的制造困难度与维修复杂度。进一步地说，所述隧道式探针的结构改良是基于所述探针卡装置的运作与架构而完成，因而无须受限于应用在其他领域的弹簧探针结构。

13、再者，本发明实施例所公开的探针卡装置，其通过所述隧道式探针的针长度远小于所述导电探针的长度，据以利于以所述隧道式探针传输不适合以所述导电探针传输的信号，例如：所述隧道式探针适于传输高频信号、高速信号、或回环信号。

14、为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

技术特征：

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：

2.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述隧道式探针之中，所述内置段贯穿所述弹性件，并且所述内置段的所述一端形成有一固持结构，所述弹性件夹持于所述固持结构与所述管体的内壁之间，以使所述限位段通过所述弹性件的预压力而保持抵顶于所述管体。

3.根据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述隧道式探针之中，所述固持结构邻近于所述第一管口，并且所述外接段相连于所述固持结构。

4.根据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述隧道式探针之中，所述管体形成有定义出所述第二管口的一内环形肋，并且所述内环形肋共平面于面向所述第二导板单元的所述第一导板单元的一内板面，而所述弹性件夹持于所述固持结构与所述内环形肋之间。

5.根据权利要求4所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述隧道式探针之中，所述管体形成有位于所述第一管口外侧的至少一个外凸肋，并且至少一个所述外凸肋抵接于远离所述内板面的所述第一导板单元的一外板面。

6.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述隧道式探针之中，所述限位段包含彼此分离的两个限位块，所述内置段包含有穿设于所述弹性件之内的两个支臂，并且两个所述支臂分别相连于两个所述限位块。

7.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述隧道式探针之中，所述限位段同时抵顶于所述管体与所述第一导板单元，并且当所述针体以所述外接段抵顶于所述待测物时，所述限位段离开所述管体与所述第一导板单元。

8.根据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述第一导板单元包含有至少一条传输线路及连接于至少一条所述传输线路的至少一个电子组件，至少两个所述隧道式探针通过各自的所述管体抵接于至少一条所述传输线路而彼此电性耦接。

9.一种探针卡装置的隧道式探针，其特征在于，所述探针卡装置的隧道式探针包括：

10.根据权利要求9所述的探针卡装置的隧道式探针，其特征在于，所述管体形成有位于所述第一管口外侧的至少一个外凸肋及定义出所述第二管口的一内环形肋；所述内置段贯穿所述弹性件，并且所述内置段的所述一端形成有一固持结构，所述弹性件夹持于所述固持结构与所述内环形肋之间，以使所述限位段通过所述弹性件的预压力而保持抵顶于所述管体。

技术总结本发明公开一种探针卡装置及其隧道式探针。所述隧道式探针包含一管体、一弹性件及一针体。所述弹性件安装于所述管体之内。所述针体可移动地贯穿所述管体、并通过连接于所述弹性件而电性耦接于所述管体。所述针体具有一内置段及相连于所述内置段相反两端的一外接段与一限位段。所述内置段位于所述管体内且连接于所述弹性件。所述外接段与所述限位段分别位于所述管体的相反两外侧。当所述隧道式探针以所述外接段抵顶于一待测物时，所述针体朝向远离所述待测物的方向移动，以使所述弹性件受到所述针体的压迫而形变蓄有一弹性力。据此，所述隧道式探针通过各个组件之间的结构搭配，以利于降低制造困难度与维修复杂度。技术研发人员：吕育儒,陈怡宪,郑孟杰,苏伟志受保护的技术使用者：台湾中华精测科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/14