一种单晶拉棒炉能耗监测装置的制作方法

本技术涉及一种监测装置，具体为单晶拉棒炉能耗监测装置，属于能耗监测。

背景技术：

1、单晶拉棒炉是单晶硅棒生产过程中使用的关键设备。单晶硅棒是通过直拉法从熔融的单质硅中提拉出来的棒状单晶硅材料，是现代太阳能光伏产业和电子信息产业的重要原材料。氩气在单晶硅生产中具有重要作用，氩气作为保护气体，包围在单晶硅和多晶硅的液面周围，防止它们被氧化，还可以减少热能的散失，从而起到节能的作用；氩气作为单晶拉棒炉生产过程中的关键原料之一，其用量直接关联到生产成本。

2、通过能耗监测装置对氩气消耗量进行实时监测，生产厂家可以准确掌握氩气的消耗情况，从而有效管理库存，避免过量采购或浪费，实现成本控制，但是氩气中往往会存在一些杂质气体，这些杂质气体导致氩气纯度不够，进而会造成炉内氧化严重，影响单晶硅的氧碳含量，而现有的氩气能耗监测装置，仅具备监测功能，无法同时实现对氩气的过滤提纯，功能较为单一。

技术实现思路

1、为了克服上述不足，本实用新型提供了一种单晶拉棒炉能耗监测装置，该装置合理的设计过滤组件，在不影响监测氩气消耗量的同时，还实现了对氩气的过滤净化，提高了氩气的纯度，进而丰富了整体功能，提高了单晶硅的生产质量。

2、具体的，一种单晶拉棒炉能耗监测装置，包括过滤组件，所述过滤组件包括过滤箱、进气管、盖板、安装座、四个滑槽、两个限位板、两个安装导轨、两个网笼、四个滑轨、均流板、限位座和插杆；

3、所述均流板固定连接于过滤箱的内侧壁，所述进气管固定连接于过滤箱的一侧并与过滤箱连通，两个所述安装导轨对称固定连接于过滤箱的内侧壁，四个所述滑轨对称固定连接于两个网笼的上表面，四个所述滑槽对称开设于安装座的前表面，所述安装座固定连接于盖板的下表面，两个所述限位板对称固定连接于盖板的下表面，两个所述限位座对称固定连接于过滤箱的前表面和后表面，所述插杆滑动连接于限位座的内部。

4、作为本技术方案的进一步优选的：所述限位板的内部开设有限位孔，所述插杆的外侧壁套接有拉簧。

5、作为本技术方案的进一步优选的：所述插杆的一端固定连接有拉环，所述拉簧的一端与限位座固定连接，所述拉簧的另一端与拉环固定连接。

6、作为本技术方案的进一步优选的：所述插杆远离拉环的一端滑动连接于限位孔的内侧壁，所述安装座的外侧壁滑动连接于过滤箱的内侧壁。

7、作为本技术方案的进一步优选的：所述盖板的下表面贴合于过滤箱的上表面，两个所述网笼滑动连接于两个安装导轨的内侧壁。

8、作为本技术方案的进一步优选的：所述滑轨的外侧壁滑动连接于滑槽的内侧壁，所述均流板的上表面贴合于盖板的下表面。

9、作为本技术方案的进一步优选的：所述过滤箱远离进气管的一侧安装有监测组件，所述监测组件包括输送管和流量计；

10、所述输送管的一端固定连接于过滤箱远离进气管的一侧并与过滤箱连通，所述流量计安装于输送管的外侧壁。

11、作为本技术方案的进一步优选的：所述输送管远离过滤箱的一端安装有单晶炉，所述输送管与单晶炉的氩气进口连通。

12、本实用新型的优点：本实用新型通过两个网笼装载分子筛和锆铝合金粉末，然后将网笼安装在过滤箱内，当单晶炉在工作时，通过布风板对氩气进行导流，然后通过分子筛和锆铝合金粉末去除氩气中的水分子和其他微量的杂质气体，进而可以进一步提高其纯度，提纯后的氩气流入单晶炉中，通过流量计可以对氩气的消耗量进行监测，以便掌握氩气的消耗情况，通过安装过滤组件，在不影响监测氩气消耗量的同时，还实现了对氩气的过滤净化，提高了氩气的纯度，进而丰富了整体功能，提高了单晶硅的生产质量。

技术特征：

1.一种单晶拉棒炉能耗监测装置，其特征在于，包括过滤组件，所述过滤组件包括过滤箱、进气管、盖板、安装座、四个滑槽、两个限位板、两个安装导轨、两个网笼、四个滑轨、均流板、限位座和插杆；

2.根据权利要求1所述的一种单晶拉棒炉能耗监测装置，其特征在于，所述限位板的内部开设有限位孔，所述插杆的外侧壁套接有拉簧。

3.根据权利要求2所述的一种单晶拉棒炉能耗监测装置，其特征在于，所述插杆的一端固定连接有拉环，所述拉簧的一端与限位座固定连接，所述拉簧的另一端与拉环固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种单晶拉棒炉能耗监测装置，其特征在于，所述插杆远离拉环的一端滑动连接于限位孔的内侧壁，所述安装座的外侧壁滑动连接于过滤箱的内侧壁。

5.根据权利要求4所述的一种单晶拉棒炉能耗监测装置，其特征在于，所述盖板的下表面贴合于过滤箱的上表面，两个所述网笼滑动连接于两个安装导轨的内侧壁。

6.根据权利要求5所述的一种单晶拉棒炉能耗监测装置，其特征在于，所述滑轨的外侧壁滑动连接于滑槽的内侧壁，所述均流板的上表面贴合于盖板的下表面。

7.根据权利要求5所述的一种单晶拉棒炉能耗监测装置，其特征在于，所述过滤箱远离进气管的一侧安装有监测组件，所述监测组件包括输送管和流量计；

8.根据权利要求7所述的一种单晶拉棒炉能耗监测装置，其特征在于，所述输送管远离过滤箱的一端安装有单晶炉，所述输送管与单晶炉的氩气进口连通。

技术总结本技术公开了一种单晶拉棒炉能耗监测装置，包括过滤组件，所述过滤组件包括过滤箱、进气管、盖板、安装座、四个滑槽、两个限位板、两个安装导轨、两个网笼、四个滑轨、均流板、限位座和插杆。本技术通过两个网笼装载分子筛和锆铝合金粉末，然后将网笼安装在过滤箱内，当单晶炉在工作时，通过布风板对氩气进行导流，然后通过分子筛和锆铝合金粉末，去除氩气中的水分子和其他微量的杂质气体，进而进一步提高其纯度，提纯后的氩气流入单晶炉中，通过安装过滤组件，在不影响监测氩气消耗量的同时，还实现了对氩气的过滤净化，提高了氩气的纯度，进而丰富了整体功能，提高了单晶硅的生产质量。技术研发人员：牟少俊,李扬,夏兵受保护的技术使用者：楷德电子工程设计有限公司技术研发日：20240422技术公布日：2024/12/12