硒化锌基底7-14μm增透膜膜系的制备方法与流程

本公开涉及红外材料领域，更具体地涉及一种硒化锌基底7-14μm增透膜膜系的制备方法。

背景技术：

1、在红外光学镀膜领域，硒化锌窗片有较宽的透射波段和不怕水的特点，硒化锌窗片广泛用于红外光谱仪、分光光度计及红外装置的分光棱镜、透射窗口和透镜。

2、红外性能的日益增长的要求在更宽的波段范围内保持高透过率。

技术实现思路

1、鉴于背景技术中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种硒化锌基底7-14μm增透膜膜系的制备方法，其在7-14μm波段的平均透过率为95％以上且在8-12μm波段的平均透过率为97.5％以上。

2、由此，一种硒化锌基底7-14μm增透膜膜系的制备方法包括步骤：s1，将作为镜片的硒化锌基底的陪镀片和产品的表面进行清洁处理，陪镀片的厚度为2.0±0.1mm；s2，将清洁处理好的镜片放入烤箱，烤箱的温度设定为120±10℃，进行烘烤2-2.5h；s3，将烘烤好的镜片放入工装夹具，放好镜片的工装夹具挂入真空镀膜机的腔体内，腔体的温度设定为120-130℃；s4，真空镀膜机启动抽真空，真空度达到1.5×10-3pa，打开真空镀膜机的辅助镀膜的离子源进行清洗，清洗时间为6min，离子源的阳极电压为220v、阳极电流为1.0-2.5a、发射极的电流为1.3-1.5a；s5，维持前述真空度，在镜片的第一面蒸镀第一ge膜层，第一ge膜层的沉积速率为0.4nm/s，控制第一ge膜层的膜厚为44nm±2nm，采用离子源辅助蒸镀；s6，在镀制的第一ge膜层上蒸镀第一znse膜层，第一znse膜层的沉积速率为0.8nm/s，控制第一znse膜层的膜厚为641.6nm±5nm，采用离子源辅助蒸镀；s7，在镀制的第一znse膜层上蒸镀第二ge膜层，第二ge膜层沉积的速率为0.4nm/s，控制第二ge膜层的膜厚为93.4nm±4nm，采用离子源辅助蒸镀；s8，在镀制的第二ge膜层上蒸镀第二znse膜层，第二znse膜层的沉积速率为0.8nm/s，控制第二znse膜层的膜厚为417.7nm±5nm，采用离子源辅助蒸镀；s9，在镀制的第二znse膜层上蒸镀第三ge膜层，第三ge膜层沉积的速率为0.4nm/s，控制第三ge膜层的膜厚为92.1nm±4nm，采用离子源辅助蒸镀；s10，在镀制的第三ge膜层上蒸镀第三znse膜层，第三znse膜层的沉积速率为0.8nm/s，控制第三znse的膜厚为1192.6nm±5nm，采用离子源辅助蒸镀；s11，在镀制的第三znse膜层上蒸镀ybf3膜层，ybf3膜层沉积的速率为0.6nm/s，控制ybf3膜层的膜厚为1140nm±5nm，采用离子源辅助蒸镀；s12，在镀制的ybf3膜层上蒸镀zns膜层，zns膜层的沉积速率为0.8nm/s，控制zns膜层的膜厚为145.6nm±5nm，采用离子源辅助蒸镀；s13，zns膜层镀制完成后，待腔体冷却至60℃以下将工装夹具连同陪镀片和产品取出；s14，重复步骤s1至步骤s13，在镜片的相反的第二面依次蒸镀第一ge膜层、第一znse膜层、第二ge膜层、第二znse膜层、第三ge膜层、第三znse膜层、ybf3膜层、zns膜层。

3、本公开的有益效果如下：在根据根公开的硒化锌基底7-14μm增透膜膜系的制备方法中，通过在作为镜片的硒化锌基底的陪镀片和产品的两面均镀制相同的由ge、znse、ybf3、zns四种膜料构成的不同厚度的八层膜层构成的增透膜膜系，如后述测试过程中通过陪镀片所验证地，在7-14μm波段的平均透过率为95％以上且在8-12μm波段的平均透过率为97.5％以上，即不仅保证了在8-12μm波段的极高的平均透过率而且在扩展的7-14μm波段依然具有极佳的平均透过率，由此满足在更宽的波段范围内的红外性能的要求。

技术特征：

1.一种硒化锌基底7-14μm增透膜膜系的制备方法，其特征在于，包括步骤：

2.根据权利要求1所述的硒化锌基底7-14μm增透膜膜系的制备方法，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的硒化锌基底7-14μm增透膜膜系的制备方法，其特征在于，

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技术总结一种硒化锌基底7‑14μm增透膜膜系的制备方法包括步骤：S1，将作为镜片的硒化锌基底的陪镀片和产品的表面进清洁；S2，将镜片放入烤箱；S3，将镜片放入工装夹具，工装夹具挂入腔体内；S4，抽真空，打开真空镀膜机的辅助镀膜的离子源进行清洗；S5，维持前述真空度，在镜片的第一面蒸镀第一Ge膜层，离子源辅助；S6，蒸镀第一ZnSe膜层，离子源辅助；S7，蒸镀第二Ge膜层，离子源辅助；S8，蒸镀第二ZnSe膜层，离子源辅助；S9，蒸镀第三Ge膜层，离子源辅助；S10，蒸镀第三ZnSe膜层，离子源辅助；S11，蒸镀YbF<subgt;3</subgt;膜层，离子源辅助；S12，蒸镀ZnS膜层，离子源辅助；S13，冷却将工装夹具连同陪镀片和产品取出；S14，重复步骤S1至步骤S13，在镜片的相反的第二面依次蒸镀。技术研发人员：梁献波,尹士平,刘克武受保护的技术使用者：安徽光智科技有限公司技术研发日：技术公布日：2025/1/6