石英炉管火焰抛光设备及抛光方法与流程

本发明涉及板材加工，具体涉及石英炉管火焰抛光设备及抛光方法。

背景技术：

1、由于石英炉管具备一系列优良的特性，因此被广泛地应用于现代化先进半导体工艺制程中，尤其是半导体硅片等多种场合，其中，用量较大的石英炉管是退火、氧化、扩散等高温工艺中所使用的石英炉管，在石英半导体行业中，对其抛光有着超高技术要求，需要火焰进行抛光来使外观达到晶透接近零瑕疵质量要求。

2、在公开号为cn117510056a的专利中公开了一种用于石英炉管火焰抛光设备，所述抛光设备包括定位治具和抛光机器人，定位治具包括：工作台；第一转轴，设置于工作台上并能够沿着轴线方向进行转动，第一转轴上设有第一滚轮，第一滚轮被配置于随着第一转轴进行转动；第二转轴，和第一转轴并排设置于工作台上并能够沿着轴线方向进行转动，第二转轴上设有第二滚轮，第二滚轮被配置于随着第二转轴进行转动；

3、上述相关技术存在以下缺陷：其在对滚轮与石英炉管的接触位置进行火焰抛光处理时，由于该接触位置温度的升高，导致接触位置容易出现变形，且该位置滚轮难以有效地驱动石英炉管转动，进而与其他位置产生差速，影响石英炉管火焰抛光后的质量。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供石英炉管火焰抛光设备及抛光方法，以解决现有技术中的上述不足之处。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：石英炉管火焰抛光设备，包括底座，还包括：

3、支撑机构，其设置在底座的内部，且设有多个，用于对石英炉管进行底部支撑和驱动石英炉管转动；

4、驱动机构，其与支撑机构连接，用于驱动支撑机构运行；

5、主动调节机构，其与支撑机构连接，用于驱动支撑机构升降；

6、抛光机构，其安装在底座上，用于沿石英炉管长度方向依次对其进行火焰抛光处理；

7、联动机构，其与抛光机构连接，用于依次驱动各主动调节机构运行。

8、进一步地，所述支撑机构包括设置在底座内部的支撑架和转动连接在支撑架内部的两个从动轴；

9、两个所述从动轴的外部均固定套接有滚轮。

10、进一步地，所述驱动机构包括转动连接在支撑架一侧外壁上的传动轴和转动连接在底座底部内壁上的驱动轴；

11、两个所述从动轴与传动轴之间均通过第一传动件传动连接；

12、所述驱动轴的外部滑动套接有滑套，所述滑套和传动轴的外部均固定套接有锥齿轮，两个所述锥齿轮之间相啮合；

13、所述滑套的外部转动套接有连接块，所述连接块还转动套接在传动轴的外部。

14、进一步地，所述底座的内部安装有第一电机，所述第一电机与其中一个驱动轴之间通过第二传动件传动连接；

15、相邻两个驱动轴之间通过第三传动件传动连接。

16、进一步地，所述主动调节机构包括转动连接在底座底部内壁上的两个联动轴和分别固接在支撑架两侧外壁上的两个联动块；

17、两个所述联动轴的外部均固定套接有往复螺杆，所述联动块螺接在往复螺杆的外部；

18、所述联动块还滑接在底座的内壁上；

19、两个所述联动轴之间通过第四传动件传动连接。

20、进一步地，所述抛光机构包括转动连接在底座内壁上的丝杆、螺接在丝杆外部的滑块和安装在滑块上的第一火焰组件与第二火焰组件；

21、所述底座一侧的外壁上安装有第二电机，所述第二电机的输出端与丝杆的一端固接；

22、所述丝杆的下方设有导杆，所述导杆固接在底座的内壁上，所述滑块还滑动套接在导杆的外部。

23、进一步地，所述第一火焰组件包括安装在滑块内部的第一火焰抛光枪和安装在第一火焰抛光枪一端的第一连接管；

24、所述第一火焰抛光枪沿底座宽度方向设置，用于对石英炉管的外壁进行火焰抛光。

25、进一步地，所述第二火焰组件包括固接在滑块一侧外壁上的滑架和安装在滑架内部的第二火焰抛光枪；

26、所述滑架滑接在底座的内部；

27、所述第二火焰抛光枪沿底座高度方向设置，用于对石英炉管的内壁进行火焰抛光；

28、所述第二火焰抛光枪的一端连接有第二连接管。

29、进一步地，所述联动机构包括固接在滑块底端的齿条和固定套接在主动调节机构中其中一个联动轴外部的齿轮；

30、所述齿条在移动时依次与各主动调节机构中的齿轮啮合。

31、进一步地，所述底座上还设有风冷机构，所述风冷机构包括安装在底座内部的风管和安装在风管外壁上的多个分流管；

32、所述支撑架为中空机构，多个所述分流管分别与多个支撑架的内部相连接；

33、所述支撑架的顶部开设有多个风孔。

34、石英炉管火焰抛光方法，其采用石英炉管火焰抛光设备，包括如下步骤：首先工作人员将石英炉管放置在各支撑机构中两个滚轮的顶部，通过控制第一电机驱动各支撑架上的滚轮同速转动，从而驱动石英炉管稳定转动，通过控制第二电机带动丝杆转动，驱动滑块分段移动，滑块移动时带动第一火焰抛光枪和第二火焰抛光枪分别对石英炉管的外壁和内壁进行抛光处理，其中，在滑块向左移动时，带动往复螺杆转动，带动联动块从往复螺杆的顶端下移至其底端，从而带动支撑架和滚轮同步向下移动，使滚轮与石英炉管脱离，从而带动第一火焰抛光枪和第二火焰抛光枪到达与滚轮接触的抛光位置前，就先驱动该位置的滚轮下降，与石英炉管脱离接触，滑块继续向左移动时，带动往复螺杆继续转动，带动联动块从往复螺杆的底端上移至其顶端，从而带动支撑架和滚轮上移复位，使该位置的支撑架和滚轮继续对石英炉管进行支撑和驱动，以此循环，自左向右根据第一火焰抛光枪和第二火焰抛光枪的将要抛光位置依次驱动各支撑机构中的滚轮下降，以实现不会导致滚轮与石英炉管接触位置因导温出现变形的效果，其中，在支撑架和滚轮上移复位的过程中，通过风管和分流管向支撑架内部输入冷风，并通过支撑架顶部的风孔排出，配合石英炉管的转动，实现对刚经过火焰抛光的区域进行冷却处理。

35、与现有技术相比，本发明提供的石英炉管火焰抛光设备及抛光方法，具备以下有益效果：通过在第一火焰抛光枪和第二火焰抛光枪到达与滚轮接触的抛光位置前，就先驱动该位置的滚轮下降，与石英炉管脱离接触，从而避免了在对与滚轮接触位置进行火焰抛光处理时容易因温度升高而导致石英炉管变形的问题，保证了石英炉管在火焰抛光后的质量。

技术特征：

1.石英炉管火焰抛光设备，包括底座（1），其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述支撑机构包括设置在底座（1）内部的支撑架（2）和转动连接在支撑架（2）内部的两个从动轴（3）；

3.根据权利要求2所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述驱动机构包括转动连接在支撑架（2）一侧外壁上的传动轴（5）和转动连接在底座（1）底部内壁上的驱动轴（6）；

4.根据权利要求3所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述底座（1）的内部安装有第一电机（11），所述第一电机（11）与其中一个驱动轴（6）之间通过第二传动件（12）传动连接；

5.根据权利要求4所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述主动调节机构包括转动连接在底座（1）底部内壁上的两个联动轴（14）和分别固接在支撑架（2）两侧外壁上的两个联动块（15）；

6.根据权利要求5所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述抛光机构包括转动连接在底座（1）内壁上的丝杆（18）、螺接在丝杆（18）外部的滑块（19）和安装在滑块（19）上的第一火焰组件与第二火焰组件；

7.根据权利要求6所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述第一火焰组件包括安装在滑块（19）内部的第一火焰抛光枪（22）和安装在第一火焰抛光枪（22）一端的第一连接管（23）；

8.根据权利要求7所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述第二火焰组件包括固接在滑块（19）一侧外壁上的滑架（24）和安装在滑架（24）内部的第二火焰抛光枪（25）；

9.根据权利要求8所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述联动机构包括固接在滑块（19）底端的齿条（27）和固定套接在主动调节机构中其中一个联动轴（14）外部的齿轮（28）；

10.根据权利要求9所述的石英炉管火焰抛光设备，其特征在于，所述底座（1）上还设有风冷机构，所述风冷机构包括安装在底座（1）内部的风管（29）和安装在风管（29）外壁上的多个分流管（30）；

技术总结本发明公开了石英炉管火焰抛光设备及抛光方法，涉及板材加工技术领域，包括底座，还包括：支撑机构，用于对石英炉管进行底部支撑和驱动石英炉管转动；驱动机构，用于驱动支撑机构运行；主动调节机构，用于驱动支撑机构升降；抛光机构，用于沿石英炉管长度方向依次对其进行火焰抛光处理；联动机构，用于依次驱动各主动调节机构运行；该石英炉管火焰抛光设备及抛光方法，通过在第一火焰抛光枪和第二火焰抛光枪到达与滚轮接触的抛光位置前，就先驱动该位置的滚轮下降，与石英炉管脱离接触，从而避免了在对与滚轮接触位置进行火焰抛光处理时容易因温度升高而导致石英炉管变形的问题，保证了石英炉管在火焰抛光后的质量。技术研发人员：耿世忠受保护的技术使用者：山东康鹏新材料科技有限公司技术研发日：技术公布日：2025/1/13