CVD - 技术新讯

一种具有隔热结构的CVD镀膜加热板的制作方法

本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板。背景技术：1、cvd镀膜是在真空条件下，材料在高温加热器的作用下发生化学反应并在基片表面上结合成膜，再经高温热处理后，在基片表面形......

2024-07-17 50

本实用涉及cvd炉领域，尤其涉及一种碳碳复合材料制备用cvd炉。背景技术：1、现有技术中的碳碳复合材料制备用cvd炉一般包括设置于炉体内的套筒、产品盘和石墨进气管；2、碳碳复合材料制备用cvd炉当对极......

2024-06-20 11

本发明涉及cvd单晶金刚石，以及cvd单晶金刚石的制造方法。背景技术：1、在20世纪80年代和90年代，世界各地的各个团队针对于单晶cvd金刚石材料的合成进行了许多研究。许多该工作公开了通过同质外延生......

2024-06-20 14

本发明涉及cvd单晶金刚石，以及cvd单晶金刚石的制造方法。背景技术：1、人们对化学气相沉积(cvd)合成金刚石的兴趣始于20世纪80年代，世界各地的各个团体的研究一直持续到今天。大多数已发表的关于单......

2024-06-20 82

本发明涉及含氟废物资源化回收，具体涉及一种cvd含氟粉回收处理方法。背景技术：1、化学气相沉积技术(chemicalvapordeposition，简称cvd)是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术......

2024-06-20 21