一种具有隔热结构的CVD镀膜加热板的制作方法

本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板。

背景技术：

1、cvd镀膜是在真空条件下，材料在高温加热器的作用下发生化学反应并在基片表面上结合成膜，再经高温热处理后，在基片表面形成附着力很强的膜层，真空镀膜中应用最广泛加热器的就是高温铝基板加热器。现有技术中，高温铝基板加热器由于功率不够高，导致在加热过程中由于温度补偿能力有限，在有限的时间里面温度补偿不足，并且加热过程中其边缘散热较快，容易形成低温区域，使得整个加热板的温度分布不均，加热板在运行过程中，热量还容易从后方散失，使得加热效率难以提升，影响镀膜的质量。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，以提升加热效率，提高加热均匀性。

2、本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，包括：

4、配接导热构件，该配接导热构件中具有装配空间，其与工件形状适配，可向工件导热；

5、中部加热构件，该中部加热构件安装于配接导热构件中，并位于配接导热构件中部，可对配接导热构件中部进行加热；

6、边部加热构件，该边部加热构件安装于配接导热构件中，并位于配接导热构件边部，可对配接导热构件边部进行加热；

7、过渡加热构件，该过渡加热构件安装于配接导热构件中，并位于配接导热构件中部与边部的过渡部位，可对配接导热构件中部与边部的过渡部位进行加热；

8、支承盖合构件，该支承盖合构件安装于配接导热构件上，对中部加热构件、边部加热构件及过渡加热构件进行盖合，并可通过连接件安装于机架上；

9、罩覆隔热构件，该罩覆隔热构件安装于支承盖合构件上，可对支承盖合构件进行罩覆并隔热。

10、具体地，配接导热构件包括：

11、导热座板，该导热座板内壁开设由定位嵌槽，定位嵌槽与中部加热构件、边部加热构件及过渡加热构件形状适配；

12、配接边条，该配接边条设有一对，各配接边条分别安装于导热座板外壁，其分列于导热座板两端，并相互平行，在配接边条之间形成导热空间，可对工件进行定位。

13、中部加热构件包括：

14、中部铝条，该中部铝条盘绕形成s形，并嵌设于定位嵌槽中，其位于导热座板中部，可对导热座板中部进行加热。

15、边部加热构件包括：

16、边部铝条，该边部铝条盘绕形成s形，并嵌设于定位嵌槽中，其位于导热座板边部，包绕于中部铝条外侧，可对导热座板边部进行加热。

17、过渡加热构件包括：

18、过渡铝条，该过渡铝条盘绕形成s形，并嵌设于定位嵌槽中，其位于导热座板中部与边部的过渡部位，在中部铝条与边部铝条之间布设，可对导热座板中部与边部的过渡部位进行加热。

19、支承盖合构件包括：

20、盖合背板，该盖合背板安装于导热座板内壁，并盖合于中部铝条、边部铝条及过渡铝条外侧；

21、支承端管，该支承端管安装于盖合背板外壁，并向盖合背板后方延伸，中部铝条、边部铝条及过渡铝条的导电线缆可从支承端管中引出，以与电源连通，支承端管末端可通过连接件安装于机架中。

22、遮罩隔热构件包括：

23、遮罩衬板，该遮罩衬板安装于盖合背板后方，其与盖合背板之间留有间隙，其内壁开设有反射镜面，可对盖合背板后方散失的热量进行反射；

24、隔热背板，该隔热背板安装于遮罩衬板后方，其与遮罩衬板之间留有间隙，可对遮罩衬板后方散失的热量进行隔离。

25、本实用新型的优点在于：

26、该加热板在导热座板中设置中部铝条、边部铝条及过渡铝条，分别对导热座板中部、边部以及导热座板中部与边部的过渡部位分别进行加热，配合对应的中部传感器、边部传感器及过渡传感器，可实时分区进行温度调控，使加热板温度分布均匀，还在盖合背板后方设置遮罩衬板及隔热背板，在遮罩衬板内壁开设反射镜面，对盖合背板后方散失的热量进行反射，采用隔热背板对遮罩衬板后方散失的热量进行隔离，并且在遮罩衬板与盖合背板之间以及隔热背板与遮罩衬板之间分别设置间隙，避免热量在导热座板中局部累积，在减少热量散失的同时，提高温度分布的均匀性，进而提升镀膜质量。

技术特征：

1.一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，其特征在于，配接导热构件包括：

3.根据权利要求2所述的一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，其特征在于，中部加热构件包括：

4.根据权利要求3所述的一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，其特征在于，边部加热构件包括：

5.根据权利要求4所述的一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，其特征在于，过渡加热构件包括：

6.根据权利要求5所述的一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，其特征在于，支承盖合构件包括：

7.根据权利要求6所述的一种具有隔热结构的cvd镀膜加热板，其特征在于，遮罩隔热构件包括：

技术总结本技术提出一种具有隔热结构的CVD镀膜加热板，其包括配接导热构件、中部加热构件、边部加热构件、过渡加热构件、支承盖合构件及罩覆隔热构件，该加热板在导热座板中设置中部铝条、边部铝条及过渡铝条，分别对导热座板中部、边部以及导热座板中部与边部的过渡部位分别进行加热，配合对应的中部传感器、边部传感器及过渡传感器，可实时分区进行温度调控，使加热板温度分布均匀，还在盖合背板后方设置遮罩衬板及隔热背板，对盖合背板后方散失的热量进行反射，对遮罩衬板后方散失的热量进行隔离，在减少热量散失的同时，避免热量在导热座板中局部累积，提高温度分布的均匀性，进而提升镀膜质量。技术研发人员：黄永杰受保护的技术使用者：上海宏端精密机械有限公司技术研发日：20231026技术公布日：2024/7/11