材料生长参数的调整方法及装置

本技术涉及材料制备，尤其涉及一种材料生长参数的调整方法及装置。

背景技术：

1、目前材料的生长过程是设定固定的生长参数，执行生长操作，进行异位表征，并基于异位表征结果对材料生长参数进行优化。该方法虽然一定程度上实现了生长参数的优化，但由于设备本身存在参数偏移以及人为判断误差，以及表征设备状态的影响，获得表征结果也会引入一定的判断误差，使得材料制备的良品率仍然有限。但从材料生长阶段回顾，这种传统的优化方法，只聚焦在了材料生长前后并未考虑正在进行生长的材料状态。

技术实现思路

1、本技术提出一种材料生长参数的调整方法及装置。具体方案如下：

2、本技术一方面实施例提供一种材料生长参数的调整方法，包括：

3、获取已制备材料的历史生长过程中生长参数对应的第一参数值、及所述已制备材料对应的表征结果；

4、将所述生长参数对应的第一参数值及所述表征结果，输入第一参数获取模型，以获取待制备材料生长时所述生长参数对应的初始参数值；

5、在所述待制备材料在所述初始参数值对应的生长环境中生长的过程中，实时获取所述生长参数对应的第二参数值及所述待制备材料对应的原位表征数据；

6、将所述第二参数值及所述原位表征数据中的至少一项，输入第二参数获取模型中，以获取所述生长参数的预测结果；

7、基于所述预测结果，对所述生长参数在目标时刻对应的参数值进行调整。

8、在一些实施例中，所述将所述第二参数值及原位表征数据中的至少一项，输入第二参数获取模型中，以获取所述生长参数对应的预测结果，包括：

9、在所述第二参数获取模型为预测模型的情况下，将所述第二参数值及所述原位表征数据，输入第二参数获取模型中，以获取所述生长参数在所述目标时刻对应的目标参数值，或者获取所述生长参数对应的调整方向及调整速度。

10、在一些实施例中，所述将所述第二参数值及所述原位表征数据中的至少一项，输入第二参数获取模型中，以获取所述生长参数对应的预测结果，包括：

11、在所述第二参数获取模型为判别模型的情况下，将所述原位表征数据，输入所述第二参数获取模型中，以获取所述生长参数对应的调整方向及调整速度。

12、在一些实施例中，所述基于所述预测结果，对所述生长参数在目标时刻对应的参数值进行调整，包括：

13、基于所述调整方向、所述调整速度及预设的参数调整值，确定所述生长参数在目标时刻对应的目标参数值；

14、将所述生长参数在目标时刻对应的参数值调整为所述目标参数值。

15、在一些实施例中，还包括：

16、将所述生长参数对应的第一参数值及所述表征结果，输入所述第一参数获取模型，以获取所述生长参数对应的初始参数值、及所述待制备材料对应的预测表征结果。

17、在一些实施例中，还包括：

18、将所述第二参数值及所述原位表征数据中的至少一项、及所述待制备材料对应的生长目标，输入所述第二参数获取模型中，以获取所述生长参数在目标时刻对应的预测结果、及所述待制备材料对应的预测质量数据。

19、在一些实施例中，所述将所述第二参数值及所述原位表征数据中的至少一项，输入第二参数获取模型中，以获取所述生长参数对应的预测结果，包括：

20、将当前时刻的第二参数值及前m个时刻的第二参数值进行拼接，以获取第一输入数据，其中，m为正整数；

21、将当前时刻的原位表征数据及前m个时刻的原位表征数据进行拼接，以获取第二输入数据；

22、将所述第一输入数据及所述第二数据数据中的至少一项，输入所述第二参数获取模型中，以获取所述生长参数对应的预测结果。

23、本技术另一方面实施例提供一种材料生长参数的调整装置，包括：

24、第一获取模块，用于获取已制备材料的历史生长过程中生长参数对应的第一参数值、及所述已制备材料对应的表征结果；

25、第二获取模块，用于将所述生长参数对应的第一参数值及所述表征结果，输入第一参数获取模型，以获取待制备材料生长时所述生长参数对应的初始参数值；

26、第三获取模块，用于在所述待制备材料在所述初始参数值对应的生长环境中生长的过程中，实时获取所述生长参数对应的第二参数值及所述待制备材料对应的原位表征数据；

27、第四获取模块，用于将所述第二参数值及所述原位表征数据中的至少一项，输入第二参数获取模型中，以获取所述生长参数对应的预测结果；

28、调整模块，用于基于所述预测结果，对所述生长参数在目标时刻对应的参数值进行调整。

29、在一些实施例中，所述第四获取模块，用于：

30、在所述第二参数获取模型为预测模型的情况下，将所述第二参数值及所述原位表征数据，输入第二参数获取模型中，以获取所述生长参数在所述目标时刻对应的目标参数值，或者获取所述生长参数对应的调整方向及调整速度。

31、在一些实施例中，所述第四获取模块，用于：

32、在所述第二参数获取模型为判别模型的情况下，将所述原位表征数据，输入所述第二参数获取模型中，以获取所述生长参数对应的调整方向及调整速度。

33、在一些实施例中，所述调整模块，用于：

34、基于所述调整方向、所述调整速度及预设的参数调整值，确定所述生长参数在目标时刻对应的目标参数值；

35、将所述生长参数在目标时刻对应的参数值调整为所述目标参数值。

36、在一些实施例中，所述第二获取模块，还用于：

37、将所述生长参数对应的第一参数值及所述表征结果，输入所述第一参数获取模型，以获取所述生长参数对应的初始参数值、及所述待制备材料对应的预测表征结果。

38、在一些实施例中，所述第四获取模块，还用于：

39、将所述第二参数值及所述原位表征数据中的至少一项、及所述待制备材料对应的生长目标，输入所述第二参数获取模型中，以获取所述生长参数在目标时刻对应的预测结果、及所述待制备材料对应的预测质量数据。

40、在一些实施例中，所述第四获取模块，用于：

41、将当前时刻的第二参数值及前m个时刻的第二参数值进行拼接，以获取第一输入数据，其中，m为正整数；

42、将当前时刻的原位表征数据及前m个时刻的原位表征数据进行拼接，以获取第二输入数据；

43、将所述第一输入数据及所述第二数据数据中的至少一项，输入所述第二参数获取模型中，以获取所述生长参数在目标时刻对应的预测结果。

44、本技术另一方面实施例提供一种计算机设备，包括处理器和存储器；

45、其中，处理器通过读取存储器中存储的可执行程序代码来运行与可执行程序代码对应的程序，以用于实现如上述实施例的方法。

46、本技术另一方面实施例提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如上述实施例的方法。

47、本技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。