切断装置和切断品的制造方法与流程

本发明涉及切断装置和切断品的制造方法。

背景技术：

1、日本特开2002-313753号公报(专利文献1)公开了切割装置。在该芯片切割装置中，通过加工部加工工件，在工件加工时向加工部供给切削水。供给至加工部的切削水的量由流量调节器调节。在该切割装置中，通过将检测切削水流量的流量传感器的检测信号作为反馈信号来控制流量调节器，能够抑制切削水的流量变动(参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献1：日本特开2002-313753号公报

4、在上述专利文献1所公开的切割装置中，向加工部供给的切削水(工艺水的一例)的流量受到干扰因素(例如向切割装置供给切削水的供水设备的水压变动)的影响。由于干扰因素，在切削水的流量控制中，响应性恶化，产生超调量。在上述专利文献1中，没有公开用于解决这种问题的手段。

技术实现思路

1、本发明是为了解决这种问题而完成的，其目的在于提供在工艺水的流量控制中能够抑制响应性恶化和超调量的产生的切断装置和切断品的制造方法。

2、根据本发明的某一方面的切断装置接受从切断装置外部的供水设备供给的工艺水。切断装置具备切断部、供给部、检测部、调节部和控制部。切断部对切断对象物进行切断。供给部向切断对象物和切断部中的至少一个直接或间接地供给从供水设备供给的工艺水。检测部检测由供给部供给的工艺水的流量。调节部调节由供给部供给的工艺水的流量。控制部进行在切断对象物的切断之前基于干扰因素控制调节部的前馈控制和基于检测部的检测结果控制调节部以使检测结果接近目标值的反馈控制这两者。

3、根据本发明的另一方面的切断品的制造方法是使用上述切断装置的切断品的制造方法，包括使用上述切断装置对切断对象物进行切断的步骤。

4、发明效果

5、根据本发明，能够提供在工艺水的流量控制中能够抑制响应性恶化和超调量的产生的切断装置和切断品的制造方法。

技术特征：

1.一种切断装置，接受从切断装置外部的供水设备供给的工艺水，具备：

2.根据权利要求1所述的切断装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的切断装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的切断装置，其中，

5.根据权利要求4所述的切断装置，其中，

6.根据权利要求4或5所述的切断装置，其中，

7.根据权利要求4至6中任一项所述的切断装置，其中，

8.根据权利要求7所述的切断装置，其中，

9.一种切断品的制造方法，该制造方法使用权利要求1至8中任一项所述的切断装置，包括：

技术总结切断装置接受从切断装置外部的供水设备供给的工艺水。切断装置具备切断部、供给部、检测部、调节部和控制部。切断部对切断对象物进行切断。供给部向切断对象物和切断部中的至少一个直接或间接地供给从供水设备供给的工艺水。检测部检测由供给部供给的工艺水的流量。调节部调节由供给部供给的工艺水的流量。控制部进行在切断对象物的切断之前基于干扰因素控制调节部的前馈控制和基于检测部的检测结果控制调节部以使检测结果接近目标值的反馈控制这两者。技术研发人员：堀本京太郎,北川雄大,吉冈翔受保护的技术使用者：东和株式会社技术研发日：技术公布日：2024/6/11