曝光机及太阳能电池加工设备的制作方法

本技术涉及太阳能电池制造，尤其涉及一种曝光机及太阳能电池加工设备。

背景技术：

1、在太阳能电池制造过程中，通常需要曝光机对硅片进行激光刻槽，以便于与后续的丝网印刷工艺相匹配。曝光机在使用过程中曝光机的光源会产生大量的能量，一部分能量通过掩膜板的镂空区域照射在硅片上，另一部分能量会被掩膜板的不透光区域以及曝光机内部的设备机架所吸收，并转换成热量存储在照射区域。在实际太阳能电池制造过程中，随着曝光机的运转，热量不断堆积，现有技术中的曝光机散热能力有限，导致掩膜板和曝光机内部的设备机架吸收大量的热量而发生形变，造成产品曝光不良，降低产品良率，增加成本。

2、因此，亟需设计一种曝光机及太阳能电池加工设备，来解决以上技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的第一目的在于提出一种曝光机，能够提高产品生产良率，节约成本。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、本实用新型提供一种曝光机，包括光源、制冷模块和掩膜板，其中，所述光源架设在所述掩膜板上方，所述制冷模块包括保温腔室，所述保温腔室设置在所述光源与所述掩膜板之间，所述光源用于发射激光，所述激光依次经过所述保温腔室和所述掩膜板后照射在硅片上。

4、作为一种曝光机的可选技术方案，所述保温腔室靠近所述掩膜板一侧设置有防尘褶套，所述防尘褶套包裹所述掩膜板的周侧。

5、作为一种曝光机的可选技术方案，所述制冷模块还包括保温管和制冷单元，所述保温管的一端与所述保温腔室连通，另一端与所述制冷单元连通。

6、作为一种曝光机的可选技术方案，所述保温腔室的外壁和所述保温管的外壁均包裹有保温层。

7、作为一种曝光机的可选技术方案，所述保温层包括保温棉。

8、作为一种曝光机的可选技术方案，所述保温管与所述保温腔室连通的一端设置有第一过滤网，所述保温管与所述制冷单元连通的一端设置有第二过滤网，所述第一过滤网和所述第二过滤网用于吸附空气中的水分和粉尘。

9、作为一种曝光机的可选技术方案，所述保温腔室内设置有温湿度传感器，所述温湿度传感器用于检测所述保温腔室内的温度和湿度。

10、作为一种曝光机的可选技术方案，所述曝光机还包括支架，所述掩膜板设置在所述支架上，所述支架位于所述保温腔室的下方。

11、作为一种曝光机的可选技术方案，所述曝光机还包括壳体和防静电离子风机，所述光源、所述制冷模块和所述掩膜板均设置在所述壳体内，所述防静电离子风机设置在所述壳体上，所述防静电离子风机用于去除所述壳体内的静电。

12、本实用新型的第二目的在于提出一种太阳能电池加工设备，该太阳能电池加工设备稳定性和可靠性高，能够提高产品的生产良率，节约成本。

13、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

14、本实用新型提供一种太阳能电池加工设备，包括传送带和以上所述的曝光机，所述传送带穿设于所述曝光机，所述传送带用于将硅片传输至曝光机内掩膜板下方。

15、本实用新型的有益效果至少包括：

16、本实用新型提供一种曝光机，该曝光机包括光源、制冷模块和掩膜板，其中，光源架设在掩膜板上方，制冷模块包括保温腔室，保温腔室设置在光源与掩膜板之间，光源用于发射激光，激光依次经过保温腔室和掩膜板后照射在硅片上。通过制冷模块的设置使得掩膜板的图形区域和非图形区域的温度明显降低，使得掩膜板的温度和曝光机内部设备机架的温度保持恒定，避免由于热量集中导致掩膜板发生形变、设备机架发生涨缩的问题，提高该曝光机的产品良率，达到节约成本的目的。

17、本实用新型还提供一种太阳能电池加工设备，该太阳能电池加工设备稳定性和可靠性高，能够提高产品的生产良率，节约成本。

技术特征：

1.曝光机，其特征在于，包括光源(100)、制冷模块(200)和掩膜板(300)，其中，所述光源(100)架设在所述掩膜板(300)上方，所述制冷模块(200)包括保温腔室(210)，所述保温腔室(210)设置在所述光源(100)与所述掩膜板(300)之间，所述光源(100)用于发射激光，所述激光依次经过所述保温腔室(210)和所述掩膜板(300)后照射在硅片(10)上。

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述保温腔室(210)靠近所述掩膜板(300)一侧设置有防尘褶套(220)，所述防尘褶套(220)包裹所述掩膜板(300)的周侧。

3.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述制冷模块(200)还包括保温管(230)和制冷单元(240)，所述保温管(230)的一端与所述保温腔室(210)连通，另一端与所述制冷单元(240)连通。

4.根据权利要求3所述的曝光机，其特征在于，所述保温腔室(210)的外壁和所述保温管(230)的外壁均包裹有保温层。

5.根据权利要求4所述的曝光机，其特征在于，所述保温层包括保温棉。

6.根据权利要求3所述的曝光机，其特征在于，所述保温管(230)与所述保温腔室(210)连通的一端设置有第一过滤网，所述保温管(230)与所述制冷单元(240)连通的一端设置有第二过滤网。

7.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述保温腔室(210)内设置有温湿度传感器，所述温湿度传感器用于检测所述保温腔室(210)内的温度和湿度。

8.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括支架(400)，所述掩膜板(300)设置在所述支架(400)上，所述支架(400)位于所述保温腔室(210)的下方。

9.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机还包括壳体(500)和防静电离子风机(600)，所述光源(100)、所述制冷模块(200)和所述掩膜板(300)均设置在所述壳体(500)内，所述防静电离子风机(600)设置在所述壳体(500)上，所述防静电离子风机(600)用于去除所述壳体(500)内的静电。

10.太阳能电池加工设备，其特征在于，包括传送带和权利要求1-9中任一项所述的曝光机，所述传送带穿设于所述曝光机，所述传送带用于将硅片(10)传输至所述曝光机内的掩膜板(300)下方。

技术总结本技术涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种曝光机及太阳能电池加工设备。该曝光机包括光源、制冷模块和掩膜板，其中，光源架设在掩膜板上方，制冷模块包括保温腔室，保温腔室设置在光源与掩膜板之间，光源用于发射激光，激光依次经过保温腔室和掩膜板后照射在硅片上。通过制冷模块的设置使得掩膜板的图形区域和非图形区域的温度明显降低，使得掩膜板的温度和曝光机内部设备机架的温度保持恒定，避免由于热量集中导致掩膜板发生形变、设备机架发生涨缩的问题，提高该曝光机的产品良率，达到节约成本的目的。技术研发人员：唐文胜,胡广豹,王胜,任雯晴,李剑,郁操,董刚强受保护的技术使用者：苏州迈为科技股份有限公司技术研发日：20231123技术公布日：2024/6/11