防护装置及包括该防护装置的倒角机的制作方法

本技术涉及加工设备，具体涉及一种防护装置及包括该防护装置的倒角机。

背景技术：

1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有的倒角机一般包括磨削装置、承载装置和防护装置，承载装置用于承载晶圆，磨削装置用于对晶圆进行倒角磨削，在对晶圆进行倒角磨削的过程中，承载装置能够带着晶圆高速旋转，防护装置用于在对晶圆进行倒角磨削的过程中进行防护。然而，现有的防护装置一般采用防护栏结构，防护效果不佳。

3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有的防护装置的防护效果不佳的技术问题。

2、在第一方面，本申请提供了一种防护装置，所述防护装置包括防护壳以及安装在所述防护壳上的第一防护门和驱动机构，

3、所述防护壳的里面具有能够容纳待磨削物料的第一区域以及能够容纳砂轮的第二区域，所述防护壳具有与所述第一区域连通的第一开口，所述驱动机构与所述第一防护门连接且能够驱动所述第一防护门相对于所述防护壳移动以便打开/封闭所述第一开口。

4、在上述防护装置的优选技术方案中，所述防护壳在与所述第一区域或所述第二区域对应的位置设有吸雾口以便于将所述防护壳内的水汽排出。

5、在上述防护装置的优选技术方案中，所述第一开口位于所述第一区域的正上方。

6、在上述防护装置的优选技术方案中，所述第一防护门包括水平设置的风琴罩和连接构件，

7、所述风琴罩的一端与所述防护壳固定连接，所述风琴罩的另一端与所述连接构件固定连接，所述连接构件与所述驱动机构连接，所述驱动机构能够驱动所述连接构件移动以使所述风琴罩折叠或展开。

8、在上述防护装置的优选技术方案中，所述防护装置还包括设于所述防护壳上的第一导向构件以及设于所述连接构件上的第二导向构件，所述第一导向构件和所述第二导向构件相配合在所述连接构件移动时对所述连接构件进行导向。

9、在上述防护装置的优选技术方案中，所述第一导向构件包括两个相对设置的导向槽，所述第二导向构件包括两个导向轮，两个导向轮分别可转动地设于所述连接构件的两端，两个所述导向轮分别位于对应的所述导向槽内且能够沿着所述导向槽滚动。

10、在上述防护装置的优选技术方案中，所述防护装置还包括第二防护门，所述防护壳还具有所述第二区域连通的第二开口，所述第二防护门与所述防护壳枢转连接以便打开/封闭所述第二开口。

11、在上述防护装置的优选技术方案中，所述第二防护门上设有门把手；和/或，所述防护装置还包括安装在所述防护壳上的电磁锁，所述电磁锁用于将所述第二防护门锁定至所述防护壳。

12、在上述防护装置的优选技术方案中，所述驱动机构为气缸驱动机构。

13、在第二方面，本申请还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的防护装置。

14、在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的防护装置采用防护壳进行防护，防护壳为封闭结构，防护效果更好，并且，在与第一区域对应的位置设有第一开口以及用于打开/封闭第一开口的第一防护门，在对晶圆进行磨削的过程中，通过第一防护门将第一开口封闭，当需要取放晶圆时，再通过第一防护门将第一开口打开，此外，还设有用于驱动第一防护门移动的驱动机构，能够实现第一防护门的自动控制。

15、进一步地，本实用新型的防护装置通过在防护壳上设置吸雾口，便于将防护壳内的水汽排出。

16、又进一步地，本实用新型的防护装置通过将第一开口设于第一区域的正上方，便于取放晶圆，有利于提高工作效率。

17、又进一步地，本实用新型的防护装置通过将第一防护门设置为风琴罩和连接构件的结构形式，占用空间小，便于布置。

18、又进一步地，本实用新型的防护装置通过设置相配合的第一导向构件和第二导向构件对连接构件进行导向，能够避免连接构件在移动的过程中发生偏移，从而提高了防护装置的可靠性。

19、又进一步地，本实用新型的防护装置通过在防护壳与第二区域对应的位置设置第二开口，便于对防护壳内的砂轮进行检修和更换，在对晶圆进行倒角磨削的过程中，通过第二防护门将第二开口封闭，倒角机工作一段时间之后，打开第二防护门，工作人员可以通过第二开口对防护壳内的砂轮进行检修或更换，非常方便。

技术特征：

1.一种防护装置，其特征在于，所述防护装置包括防护壳以及安装在所述防护壳上的第一防护门和驱动机构，

2.根据权利要求1所述的防护装置，其特征在于，所述防护壳在与所述第一区域或所述第二区域对应的位置设有吸雾口以便于将所述防护壳内的水汽排出。

3.根据权利要求1所述的防护装置，其特征在于，所述第一开口位于所述第一区域的正上方。

4.根据权利要求3所述的防护装置，其特征在于，所述第一防护门包括水平设置的风琴罩和连接构件，

5.根据权利要求4所述的防护装置，其特征在于，所述防护装置还包括设于所述防护壳上的第一导向构件以及设于所述连接构件上的第二导向构件，所述第一导向构件和所述第二导向构件相配合在所述连接构件移动时对所述连接构件进行导向。

6.根据权利要求5所述的防护装置，其特征在于，所述第一导向构件包括两个相对设置的导向槽，所述第二导向构件包括两个导向轮，两个导向轮分别可转动地设于所述连接构件的两端，两个所述导向轮分别位于对应的所述导向槽内且能够沿着所述导向槽滚动。

7.根据权利要求1所述的防护装置，其特征在于，所述防护装置还包括第二防护门，所述防护壳还具有所述第二区域连通的第二开口，所述第二防护门与所述防护壳枢转连接以便打开/封闭所述第二开口。

8.根据权利要求7所述的防护装置，其特征在于，所述第二防护门上设有门把手；和/或，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的防护装置，其特征在于，所述驱动机构为气缸驱动机构。

10.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至9中任一项所述的防护装置。

技术总结本技术涉及加工设备技术领域，具体涉及一种防护装置及包括该防护装置的倒角机。本申请旨在解决现有的防护装置的防护效果不佳的技术问题。为此，本申请的防护装置包括防护壳、第一防护门和驱动机构，防护壳的里面具有第一区域和第二区域，防护壳具有与第一区域连通的第一开口，驱动机构与第一防护门连接且能够驱动第一防护门相对于防护壳移动以便打开/封闭第一开口。防护壳为封闭结构，防护效果更好，在与第一区域对应的位置设有第一开口和第一防护门，在对晶圆进行磨削的过程中，通过第一防护门将第一开口封闭，当需要取放晶圆时，通过第一防护门将第一开口打开，还设有用于驱动第一防护门移动的驱动机构，能够实现第一防护门的自动控制。技术研发人员：牛银星,卢凯文,王子跃受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/5