一种镀膜载板及镀膜设备的制作方法

本申请属于太阳能电池，涉及镀膜处理，具体涉及一种镀膜载板及镀膜设备。

背景技术：

1、电容耦合等离子体增强化学气相沉积(pecvd)真空镀膜线采用载板动态传动，静态镀膜方式。镀膜生产线一般由装载腔、预热腔、工艺腔和卸载腔组成。载板通过滚轮传动，经过装载腔、预热腔后停留到工艺腔，电源馈入产生等离子体放电进行镀膜。pecvd工艺腔中设有上电极，以及由可升降的加热铝板与镀膜载板构成电容耦合放电结构的下电极。

2、载板由框架和托盘组成，碳纤维框架和托盘通过螺丝以及角码锁固定在一起。硅片置于载板上，由载板通过滚轮传送经过加热腔，对载板和硅片加热，到一定的温度后，进入工艺腔。载板传送到工艺腔后，可升降的加热铝板将载板顶起使载板脱离传送滚轮，载板框架的底部与可升降的加热铝板接触并一起作为下电极，与上电极组成一个回路，射频电源馈入后，上下电极之间会产生等离子体辉光放电，腔内的工艺气体被解离后沉积到硅片实现镀膜。

3、但是在加热和镀膜的过程中，载板的碳纤维框架底部与顶升的加热铝板表面之间无法做到充分的接触，会产生缝隙，导致两者之间的导电性受到严重影响；且在大功率射频电源馈入时，缝隙的存在很容易造成载板框架和加热铝板之间放电，电弧瞬间产生大量的热量会对碳纤维载板以及加热铝板造成损伤，影响载板和加热铝板的寿命，同时对镀膜产品的品质造成影响。所以增加载板和加热铝板的导电性就成了亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本申请旨在至少在一定程度上解决上述相关技术中的技术问题之一。

2、为此，本申请的目的在于提供一种镀膜载板及镀膜设备，通过设置导电带实现载板与顶升热板的良好接触，提高两者之间的导电性，能够承受大功率射频电流，延长设备使用寿命、提高镀膜产品的品质。

3、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

4、本申请实施例提供了一种镀膜载板，用于镀膜设备，包括载板和顶升热板，所述载板包括框架和托盘，所述托盘固设在所述框架上，所述框架包括若干纵横交错设置的筋条以及导电带，任意两根所述筋条之间设有至少一个所述导电带；

5、所述导电带的两端与对应的所述筋条固接；所述导电带的中间段下垂，且在所述顶升热板上升至预定位置后，与所述顶升热板的上表面接触连接。

6、另外，根据本申请的镀膜载板，还可以具有如下附加的技术特征：

7、在其中的一些实施方式中，所述导电带的中间段自然下垂具体为：所述导电带的最低点与所述筋条下表面之间的距离为0.5-5mm。

8、在其中的一些实施方式中，所述导电带为长条形柔性带状结构。

9、在其中的一些实施方式中，所述导电带包括两端的固定区和中间的下垂区，所述下垂区部分或全部位于筋条之下。

10、在其中的一些实施方式中，所述导电带包括不锈钢内带和设于所述不锈钢内带表面的导电镀层。

11、在其中的一些实施方式中，所述导电带的材质为导电性金属。

12、在其中的一些实施方式中，所述导电带的厚度为0.1-1mm。

13、在其中的一些实施方式中，所述导电带的两端通过锁固角码或螺栓与对应的所述筋条固接。

14、在其中的一些实施方式中，相邻两根筋条间设置所述导电带的数量为1-20根。

15、本申请实施例还提供了一种镀膜设备，其包括如前所述的镀膜载板。

16、与现有技术相比，本实用新型的至少具有以下有益效果：

17、本申请实施例中，所提供的镀膜载板，通过设置导电带实现载板与顶升热板的良好接触，提高两者之间的导电性，能够承受大功率射频电源馈入，不容易产生载板框架和热板之间的放电现象，从而避免放电电弧瞬间产生的大量热对碳纤维载板以及顶升热板的损伤，延长载板和顶升热板的使用寿命，同时提高镀膜产品的品质；

18、本申请实施例中，所提供的镀膜载板，导电带为下垂型，从而保证载板顶升后，导电带能够接触到顶升热板，且随着顶升热板的升高接触面积越来越大，导电性也越来越好。

19、本申请的镀膜设备包括所述的镀膜载板，因而至少具有所述的镀膜载板的所有特征及优势，在此不再赘述。本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种镀膜载板，用于镀膜设备，所述镀膜设备还包括顶升热板，所述镀膜载板包括框架和托盘，所述托盘固设在所述框架上，其特征在于，所述框架包括若干纵横交错设置的筋条以及导电带，任意两根所述筋条之间设有至少一个所述导电带；

2.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述导电带的中间段下垂具体为：所述导电带的最低点与所述筋条下表面之间的距离为0.5-5mm。

3.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述导电带为长条形柔性带状结构。

4.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述导电带包括两端的固定区和中间的下垂区，所述下垂区部分或全部位于筋条之下。

5.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述导电带包括不锈钢内带和设于所述不锈钢内带表面的导电层。

6.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述导电带的材质为金属。

7.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述导电带的厚度为0.1-1mm。

8.根据权利要求1所述的镀膜载板，其特征在于，所述导电带的两端通过锁固角码或螺栓与对应的所述筋条固接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的镀膜载板，其特征在于，相邻两根筋条间设置所述导电带的数量为1-20根。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任意一项所述的镀膜载板。

技术总结本申请公开了一种镀膜载板及镀膜设备，属于太阳能电池领域。一种镀膜载板，用于镀膜设备，所述镀膜设备还包括顶升热板，所述镀膜载板包括框架和托盘，所述托盘固设在所述框架上，所述框架包括若干纵横交错设置的筋条以及导电带，任意两根所述筋条之间设有至少一个所述导电带；所述导电带的两端与对应的所述筋条固接；所述导电带的中间段自然下垂，所述导电带的最低点与筋条下表面距离为0.5‑5mm；所述顶升热板上升预定高度后，所述导电带与所述顶升热板电性接触。本申请通过设置导电带实现载板与顶升热板的良好接触，提高两者之间的导电性，能够承受大功率射频电流，延长设备使用寿命、提高镀膜产品的品质。技术研发人员：刘亚南,孙健,陈晨,周剑,王登志受保护的技术使用者：苏州迈为科技股份有限公司技术研发日：20231116技术公布日：2024/6/11