一种新型单节靶材绑定设备的制作方法

本技术涉及靶材组件制造，特别涉及一种新型单节靶材绑定设备。

背景技术：

1、靶材传统绑定工艺是先通过靶材超铟、钛管超铟，然后靶材与钛管组装好后，间隙内包裹有胶片，同时胶片的底部有弹簧状的折叠，当进行铟的灌注时，将该胶片缓缓抽出，带出氧化物和气泡，同时绑定时需要两次升降温，对靶材进行单独超铟经过测定绑定率在97％左右，经过脱绑分析，间隙内残留空气、氧化物，空隙、不导电，不导热，使用时影响传导，影响靶材的使用时的功率，局部放电过大，容易开裂，且对解绑靶材内应力测试，靶材内部残余应力过高，靶材内部有微裂纹，在电镜下表现明显，容易造成靶材在使用时开裂，因此，我们公开了一种新型单节靶材绑定设备来解决问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种新型单节靶材绑定设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型单节靶材绑定设备，包括固定支架，固定支架上设有加热炉、震动件，加热炉上设有铝管，铝管内设有三段靶材加热区域，每个区域都均匀分布有三根加热棒，确保加热均匀，铝管外侧套设有背管，背管外侧套设有靶筒。

3、优选地，固定支架包括底座，底座上固定安装有六个支撑柱，支撑柱顶端连接有圆环。

4、优选地，震动件和加热炉之间套设有圆盘。

5、优选地，靶筒采用圆柱状，其内径与背管外径相配。

6、优选地，单节靶筒长度200-1500mm范围，靶材总长大于等于4m。

7、优选地，背管是钛或不锈钢。

8、优选地，靶筒是ito、azo、izo、igzo、mo、monb、si任何之一。

9、本实用新型的技术效果和优点：

10、(1)本实用新型结构合理，在实际使用过程中，将要绑定的背管固定到固定支架上，确保背管垂直，将单节靶筒固定到背管上，确保靶筒与背管之间各处间隙均匀，将第一节靶材加热区域的加热棒打开，加热炉加热到175-185℃，将熔化的铟灌入靶筒与背管的间隙内，震动件震动，同时补充液态铟，直至间隙内充满液态铟，降温，待铟凝固后，将第二节靶筒固定到背管上，确保与第一节靶筒之间的间隔0.35-0.4mm，重复上诉操作两次，将三段靶筒和背管整节绑定完成，通过将单节靶筒和背管固定好后直接灌入液体铟进行绑定，第一节绑定好后，对第二节进行绑定，依次类推，不需用到胶片带出氧化物和气泡，且该工艺靶材只需要升降温一次，能大大改善靶材传统工艺靶材超铟和绑定两次升降温对靶材带来较大的内应力，较少靶材在客户端开裂和炸靶问题，提高了绑定效果，同时因不需要对靶材进行单独超铟，提高了工作效率；绑定过程中不需要使用胶带，减少绑定成本，提高经济效应；

11、(2)本实用新型中，通过设置单节靶筒长度200-1500mm范围，靶材总长大于等于4m，通过设定单节靶筒的长度范围和靶材总长大于等于4m，提高绑定率为99％以上，靶材在使用时没有开裂、炸靶、局部过热的不良现象，提高了靶材的使用效果。

技术特征：

1.一种新型单节靶材绑定设备，包括固定支架，其特征在于，所述固定支架上设有加热炉(5)、震动件(6)，加热炉(5)上设有铝管(10)，铝管(10)内设有三段靶材加热区域，每个区域都均匀分布有三根加热棒(9)，确保加热均匀，铝管(10)外侧套设有背管(7)，背管(7)外侧套设有靶筒(8)。

2.根据权利要求1所述的一种新型单节靶材绑定设备，其特征在于，所述固定支架包括底座(1)，底座(1)上固定安装有六个支撑柱(2)，支撑柱(2)顶端连接有圆环(3)。

3.根据权利要求1所述的一种新型单节靶材绑定设备，其特征在于，所述震动件(6)和加热炉(5)之间套设有圆盘(4)。

4.根据权利要求1所述的一种新型单节靶材绑定设备，其特征在于，所述靶筒(8)采用圆柱状，其内径与背管(7)外径相配。

5.根据权利要求1所述的一种新型单节靶材绑定设备，其特征在于，单节所述靶筒(8)长度200mm-1500mm范围，靶材总长大于等于4m。

6.根据权利要求4所述的一种新型单节靶材绑定设备，其特征在于，所述背管(7)是钛或不锈钢。

7.根据权利要求1所述的一种新型单节靶材绑定设备，其特征在于，单节所述靶筒(8)长度200mm-1500mm范围，靶材总长大于等于4m。

8.根据权利要求4所述的一种新型单节靶材绑定设备，其特征在于，所述靶筒是ito、azo、izo、igzo、mo、monb、si任何之一。

技术总结本技术公开了一种新型单节靶材绑定设备，涉及到靶材组件制造技术领域，包括固定支架，固定支架上设有加热炉、震动件，加热炉上设有铝管，铝管内设有三段靶材加热区域，每个区域都均匀分布有三根加热棒，确保加热均匀，铝管外侧套设有背管，背管外侧套设有靶筒。相较于现有技术，本技术通过背管分段加热和依次对靶材进行单节绑定，并且无需二次加热，解决了传统工艺靶材超铟和绑定2次升降温对靶材带来较大的内应力，较少靶材在客户端开裂和炸靶问题。同时因不需要对靶材进行单独超铟，提高了绑定效率；绑定过程中不需要使用胶带，减少绑定成本，提高了经济效应。技术研发人员：陈光园,曾探,曾墩风,王志强受保护的技术使用者：芜湖映日科技股份有限公司技术研发日：20231023技术公布日：2024/6/13