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一种碳化硅长晶炉提升结构的制作方法

  • 国知局
  • 2024-06-20 12:32:14

本技术涉及长晶炉,具体为一种碳化硅长晶炉提升结构。

背景技术:

1、长晶炉是用于生产碳化硅单晶的一种设备,将高纯度的碳化硅微粉和籽晶分别置于长晶炉内的坩埚中,通过控制坩埚内的温度,以生产出碳化硅晶体。

2、目前长晶炉一般通过吊装的方式向上提升炉盖,提升过程中吊带容易脱落或偏移,使得吊装过程中发生重心偏移,吊装不稳定,使用不方便。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种碳化硅长晶炉提升结构,解决了现有吊装提升不稳定的问题。

2、为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种碳化硅长晶炉提升结构,包括基座,所述基座上方设有炉体,所述炉体顶部设有炉盖,所述基座上位于炉体一侧处固定设有立柱,所述立柱内设有空腔,所述空腔内滑动安装有滑柱,所述滑柱顶部安装有连接架,所述连接架内转动安装有一对短轴,一对所述短轴之间固定安装有翻转架,所述连接架外壁设有第一电机,所述第一电机驱动端与一侧所述短轴固定连接,所述翻转架一端安装有夹持组件,所述立柱上设有与所述滑柱连接的驱动组件。

3、优选的,所述驱动组件包括转动设于所述空腔底部的螺杆,所述滑柱通过螺孔与所述螺杆旋接,所述立柱外壁设有第二电机,所述第二电机驱动端伸入空腔内且固定安装有主齿轮,所述螺杆上套装有与所述主齿轮啮合的副齿轮。

4、优选的,所述夹持组件包括固定设于所述翻转架一端的安装架,所述安装架上壁设有壳体,所述壳体顶部设有电动缸,所述电动缸伸缩端伸入壳体内且固定安装有连接块,所述安装架上壁设有两对滑槽,两对所述滑槽内设有两对滑块,所述连接块与所述滑块之间通过两对连杆铰接,所述滑块下壁设有用于夹持炉盖的夹板。

5、优选的,两对所述滑槽呈环形阵列状布设于安装架上。

6、优选的,所述空腔内壁设有导向槽,所述滑柱侧壁设有与所述导向槽匹配的导向块。

7、优选的,所述安装架为圆盘形结构。

8、有益效果

9、本实用新型公开了一种碳化硅长晶炉提升结构,具备以下有益效果:本装置结构紧凑,通过电动缸带动连接块运动,使两对连杆带动两对夹板将炉盖四周紧密夹紧,配合驱动组件可实现炉盖的提升,相较于传统吊装的方式,大大提高了稳定性,同时,第一电机可带动翻转架进行翻转,使炉盖由水平翻转至竖直状态,使炉体完全露出,从而方便后续工作人员进行操作,给人们的使用带来了方便。

技术特征:

1.一种碳化硅长晶炉提升结构,包括基座(1),所述基座(1)上方设有炉体(2),所述炉体(2)顶部设有炉盖(3),其特征在于,所述基座(1)上位于炉体(2)一侧处固定设有立柱(4),所述立柱(4)内设有空腔,所述空腔内滑动安装有滑柱(5),所述滑柱(5)顶部安装有连接架(6),所述连接架(6)内转动安装有一对短轴(7),一对所述短轴(7)之间固定安装有翻转架(8),所述连接架(6)外壁设有第一电机(9),所述第一电机(9)驱动端与一侧所述短轴(7)固定连接,所述翻转架(8)一端安装有夹持组件,所述立柱(4)上设有与所述滑柱(5)连接的驱动组件。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅长晶炉提升结构,其特征在于,所述驱动组件包括转动设于所述空腔底部的螺杆(10),所述滑柱(5)通过螺孔与所述螺杆(10)旋接,所述立柱(4)外壁设有第二电机(11),所述第二电机(11)驱动端伸入空腔内且固定安装有主齿轮(12),所述螺杆(10)上套装有与所述主齿轮(12)啮合的副齿轮(13)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅长晶炉提升结构,其特征在于,所述夹持组件包括固定设于所述翻转架(8)一端的安装架(14),所述安装架(14)上壁设有壳体(15),所述壳体(15)顶部设有电动缸(16),所述电动缸(16)伸缩端伸入壳体(15)内且固定安装有连接块(17),所述安装架(14)上壁设有两对滑槽(18),两对所述滑槽(18)内设有两对滑块(19),所述连接块(17)与所述滑块(19)之间通过两对连杆(20)铰接,所述滑块(19)下壁设有用于夹持炉盖(3)的夹板(21)。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅长晶炉提升结构,其特征在于,两对所述滑槽(18)呈环形阵列状布设于安装架(14)上。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅长晶炉提升结构,其特征在于,所述空腔内壁设有导向槽(22),所述滑柱(5)侧壁设有与所述导向槽(22)匹配的导向块(23)。

6.根据权利要求3所述的一种碳化硅长晶炉提升结构,其特征在于,所述安装架(14)为圆盘形结构。

技术总结本技术公开了一种碳化硅长晶炉提升结构,包括基座,所述基座上方设有炉体,所述炉体顶部设有炉盖,所述基座上位于炉体一侧处固定设有立柱,所述立柱内设有空腔,所述空腔内滑动安装有滑柱,所述滑柱顶部安装有连接架,本技术涉及长晶炉技术领域,本装置结构紧凑,通过电动缸带动连接块运动,使两对连杆带动两对夹板将炉盖四周紧密夹紧,配合驱动组件可实现炉盖的提升,相较于传统吊装的方式,大大提高了稳定性,同时,第一电机可带动翻转架进行翻转,使炉盖由水平翻转至竖直状态,使炉体完全露出,从而方便后续工作人员进行操作,给人们的使用带来了方便。技术研发人员:许俊,尹宝堂,张德远,冯慧,王宇飞受保护的技术使用者:常州能量方舟新材料有限公司技术研发日:20230908技术公布日:2024/5/19

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