单晶炉炉盖保护装置的制作方法

本申请涉及单晶炉领域，具体而言，涉及一种单晶炉炉盖保护装置。

背景技术：

1、在单晶硅棒的生产过程中，通常需要充入氩气等惰性气体进行保护，惰性气体化学性质稳定，即使是在高温环境中，压强变化幅度也不大。但是由于单晶炉的老化，人为操作不当等原因，经常会在充入惰性气体的时候混杂其他气体或者将其他气体误当做惰性气体充入单晶炉内。然而单晶炉内本身压力就不低，受热膨胀后的更是会有发生爆炸的危险。

2、装置的结构可参照中国专利文献：cn209702911u中所公开的一种能自动泄压的单晶炉炉盖。

3、在单晶炉炉盖中，压力传感器收集炉内压力信号，当炉内压力信号超过警戒阈值时，与压力传感器连接的电控柜就控制泄气阀门打开，从而散出单晶炉内的气压。同时，防火闸板关闭，防止继续加热产生危险。该装置的泄压功能需要长时间的供电稳定。

4、本方案需要设计一种单晶炉炉盖保护装置，能够自动泄压同时保护炉盖和炉子的连接稳定性。

技术实现思路

1、本申请的内容部分用于以简要的形式介绍构思，这些构思将在后面的具体实施方式部分被详细描述。本申请的内容部分并不旨在标识要求保护的技术方案的关键特征或必要特征，也不旨在用于限制所要求的保护的技术方案的范围。

2、为了解决以上背景技术部分提到的技术问题，本申请的一些实施例提供了一种单晶炉炉盖保护装置，

3、包括：

4、炉体，呈筒状；

5、炉盖，用于封盖炉体上端；

6、炉盖上端沿着圆周方向等距分布有泄压管，泄压管连通炉体，泄压管上设有泄压组件，炉盖上侧设有联动板，联动板固定在泄压组件外壁靠近底部，炉体外壁沿着圆周方向等距设有夹紧组件，夹紧组件上部与联动板固定连接；

7、夹紧组件内包括：支撑筒和连接杆，支撑筒固定在炉体上，连接杆插入支撑筒，支撑筒内固定有连接弹簧，连接弹簧与连接杆固定连接。

8、进一步地，泄压组件内包括：泄压罩和调节杆，泄压罩套在泄压管上，调节杆插入泄压罩与泄压罩螺纹连接。

9、进一步地，调节杆插入泄压管，调节杆底部生成有泄压通道，泄压罩内靠近底部设有复位弹簧，复位弹簧上部抵接泄压管。

10、进一步地，调节杆上端生成有转盘。

11、进一步地，泄压罩上部沿着圆周方向等距贯通有连通窗。

12、进一步地，联动板位于连通窗下侧。

13、进一步地，泄压通道位于调节杆底部且在调节杆侧壁上设有连通的气孔。

14、进一步地，转盘上设有多个防滑凹槽。

15、进一步地，联动板上沿着其圆周方向均匀布设有定位环，定位环固定连接泄压罩。

16、进一步地，定位环上沿着靠近联动板轴线的方向向远离联动板轴线的方向延伸形成转接板，转接板固定连接连接杆。

17、本申请的有益效果在于：提供了一种具有自动泄压同时维持装置稳定性的单晶炉炉盖保护装置。

技术特征：

1.一种单晶炉炉盖保护装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述泄压组件内包括：泄压罩和调节杆，所述泄压罩套在所述泄压管上，所述调节杆插入所述泄压罩与所述泄压罩螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述调节杆插入所述泄压管，所述调节杆底部生成有泄压通道，所述泄压罩内靠近底部设有复位弹簧，所述复位弹簧上部抵接所述泄压管。

4.根据权利要求2所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述调节杆上端生成有转盘。

5.根据权利要求2所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述泄压罩上部沿着圆周方向等距贯通有连通窗。

6.根据权利要求5所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述联动板位于所述连通窗下侧。

7.根据权利要求3所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述泄压通道位于所述调节杆底部且在所述调节杆侧壁上设有连通的气孔。

8.根据权利要求4所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述转盘上设有多个防滑凹槽。

9.根据权利要求5所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述联动板上沿着其圆周方向均匀布设有定位环，所述定位环固定连接所述泄压罩。

10.根据权利要求9所述的单晶炉炉盖保护装置，其特征在于：所述定位环上沿着靠近所述联动板轴线的方向向远离所述联动板轴线的方向延伸形成转接板，所述转接板固定连接所述连接杆。

技术总结本申请公开了一种单晶炉炉盖保护装置，其属于单晶炉领域。包括：炉体呈筒状；炉盖用于封盖炉体上端；炉盖上端沿着圆周方向等距分布有泄压管，泄压管连通炉体，泄压管上设有泄压组件，炉盖上侧设有联动板，联动板固定在泄压组件外壁靠近底部，炉体外壁沿着圆周方向等距设有夹紧组件，夹紧组件上部与联动板固定连接；夹紧组件内包括：支撑筒和连接杆，支撑筒固定在炉体上，连接杆插入支撑筒，支撑筒内固定有连接弹簧，连接弹簧与连接杆固定连接。本申请的有益效果在于提供了一种自动泄压同时维持装置稳定性的单晶炉炉盖保护装置。技术研发人员：王耀辉,毛宋艳,刘浩杰,陈瑜,徐银军,阮华良受保护的技术使用者：绍兴市佳达机械制造有限公司技术研发日：20230907技术公布日：2024/5/29