一种半导体硅片抛光机的制作方法

本发明属于半导体硅片抛光机，具体为一种半导体硅片抛光机。

背景技术：

1、半导体(semiconductor)，指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。

2、目前，人们经常会采用半导体材料进行制造硅片，而半导体硅片在生产制造时，需要对其表面进行抛光加工，现有技术中，在使用抛光机对半导体硅片进行抛光时，需要依次对半导体硅片的正反两面依次进行抛光加工，而这样操作，需要在对半导体硅片的其中一面抛光完毕后，进行翻转，然后再次对另一面进行抛光加工，就需要对半导体硅片进行拆卸和重新装夹，需要花费更多的时间，影响加工效率，且在重新装夹时，容易导致装夹发生倾斜，从而导致半导体硅片的正反两面在抛光后发生倾斜，影响加工质量，因此提出一种半导体硅片抛光机。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供一种半导体硅片抛光机，有效的解决了目前在使用抛光机对半导体硅片进行抛光时，需要依次对半导体硅片的正反两面依次进行抛光加工，而这样操作，需要在对半导体硅片的其中一面抛光完毕后，进行翻转，然后再次对另一面进行抛光加工，就需要对半导体硅片进行拆卸和重新装夹，需要花费更多的时间，影响加工效率，且在重新装夹时，容易导致装夹发生倾斜，从而导致半导体硅片的正反两面在抛光后发生倾斜，影响加工质量的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体硅片抛光机，包括工作台，所述工作台的上端固定设置有u形架，所述u形架的内部设置有横板，所述横板的左右两端均通过导向机构分别与u形架的左右两个内侧壁竖直滑动连接，所述u形架的上内侧壁固定设置有两个竖直设置的电动推杆，两个电动推杆左右对称分布，且两个电动推杆的下端均与横板的上侧固定连接，所述横板的上侧中部开设有放置口，所述放置口中设置有夹持机构；

3、所述u形架的内部设置有竖直设置的u形板，所述u形板滑动套设在横板上，所述u形架的上内侧壁设置有横向移动机构并通过横向移动机构与u形板的上侧连接，所述u形板的上下两个内侧壁均固定设置有伺服电机，两个所述伺服电机的输出轴对称分布，且两个输出轴的相对两端均固定设置有抛光轮，所述u形板上还设置有抛光液喷洒机构。

4、优选的，所述导向机构包括两组导向滑块，两组所述导向滑块分别固定固定设置在横板的左右两端，所述u形架的左右两个内侧壁均开设有一组竖直设置的导向滑槽，两组所述导向滑块分别滑动设置在两组导向滑槽中。

5、优选的，每组所述导向滑块设置为两个，每组所述导向滑槽设置为两个，每组两个导向滑槽前后对称分布。

6、优选的，所述夹持机构包括两个弧形夹持板、两个双向螺纹杆、两个蜗轮和蜗杆，两个所述弧形夹持板均纵向设置在放置口中并左右对称分布，两个所述双向螺纹杆均横向设置在放置口中并前后对称分布，每个所述双向螺纹杆的杆壁两端分别与两个弧形夹持板的侧壁螺纹插接，每个所述双向螺纹杆的两端均通过第一轴承分别与放置口的左右两侧转动连接，所述横板的内部还开设有空腔，所述空腔位于放置口的右方，两个所述双向螺纹杆的右端均延伸至空腔中并分别与两个蜗轮固定连接，所述蜗杆纵向设置空腔中并同时与两个蜗轮啮合连接，所述蜗杆的前后两端均通过第二轴承分别与空腔的前后两侧转动连接，且蜗杆的前端延伸至横板的前侧并固定连接有旋钮。

7、优选的，所述放置口的前后两侧均开设有限位滑槽，两个所述限位滑槽中均滑动设置有一组限位滑块，每组两个所述限位滑块分别与两个弧形夹持板的端部固定连接。

8、优选的，所述横板的下方设置有水平设置的圆板，所述圆板的上表面靠近边沿位置通过转轴与横板的下侧转动连接，所述圆板通过转轴可转动至放置口的下方位置，所述转轴的轴壁固定套接有阻尼套，所述阻尼套的上下两端分别与横板及圆板紧密相抵。

9、优选的，所述横向移动机构包括电动滑轨和电动滑块，所述电动滑轨横向固定设置在u形架的上内侧壁上，所述电动滑块滑动安装在电动滑轨的下侧，所述电动滑块的下端与u形板的上端固定连接，所述工作台的上端固定设置有横向设置的导向滑轨，所述导向滑轨上滑动安装有导向块，所述导向块的上端与u形板的下端固定连接。

10、优选的，所述抛光液喷洒机构包括储液箱、软管、两个进液管和两个喷液管，所述储液箱固定设置在u形架的上方，两个所述喷液管均横向固定设置在u形板的后侧并分别与两个抛光轮水平对齐，所述u形板的后侧壁开设有两组分别与两个喷液管连同的喷液孔，两个所述喷液管的杆壁后侧分别与两个进液管固定连接，所述储液箱的后侧通过软管与两个进液管连同，两个所述进液管上均设置有电磁阀。

11、优选的，所述u形板的前侧固定设置有竖直设置的透明挡板，所述透明挡板滑动设置在横板的前侧。

12、本发明的技术效果和优点：

13、1、在使用时，首先转动圆板至放置口的下方，然后将待抛光的半导体硅片放置到放置口中并置于圆板上，再通过转动旋钮带动蜗杆转动，蜗杆同时带动两个蜗轮转动，两个蜗轮分别带动两个双向螺纹杆转动，两个双向螺纹杆转动带动两个弧形夹持相对移动，从而完成对半导体硅片的夹持固定，再将圆板转动至放置口的右侧，然后启动上侧的伺服电机带动上侧的抛光轮转动，先通过两个电动推杆带动横板向上移动，横板通过两个弧形夹持板带动半导体硅片向上移动，直至半导体硅片的上表面与上侧的抛光轮接触，通过电动滑轨驱动电动滑块横向移动，电动滑块带动u形板横向移动，从而带动上侧的伺服电机和抛光轮横向移动，完成对半导体硅片上表面抛光，然后启动下侧的伺服电机带动下侧的抛光轮转动，再通过两个电动推杆带动横板向下移动，横板带动半导体硅片向下移动，直至半导体硅片的下表面与下侧的抛光轮转动，再次通过电动滑轨驱动电动滑块横向移动，从而完成对半导体硅片下表面的抛光加工，抛光加工完毕后，将半导体硅片取出，通过上述装置，能够依次对半导体硅片的上下两个表面进行抛光加工，不需要对半导体硅片进行重复装夹，提高加工效率，且一次装夹完成两面抛光，能够使半导体硅片的上下表面保持平行，提高加工质量，便于人们使用。

技术特征：

1.一种半导体硅片抛光机，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的上端固定设置有u形架(2)，所述u形架(2)的内部设置有横板(3)，所述横板(3)的左右两端均通过导向机构分别与u形架(2)的左右两个内侧壁竖直滑动连接，所述u形架(2)的上内侧壁固定设置有两个竖直设置的电动推杆(26)，两个电动推杆(26)左右对称分布，且两个电动推杆(26)的下端均与横板(3)的上侧固定连接，所述横板(3)的上侧中部开设有放置口，所述放置口中设置有夹持机构；

2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述导向机构包括两组导向滑块(7)，两组所述导向滑块(7)分别固定固定设置在横板(3)的左右两端，所述u形架(2)的左右两个内侧壁均开设有一组竖直设置的导向滑槽，两组所述导向滑块(7)分别滑动设置在两组导向滑槽中。

3.根据权利要求2所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：每组所述导向滑块(7)设置为两个，每组所述导向滑槽设置为两个，每组两个导向滑槽前后对称分布。

4.根据权利要求3所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述夹持机构包括两个弧形夹持板(8)、两个双向螺纹杆(9)、两个蜗轮(10)和蜗杆(11)，两个所述弧形夹持板(8)均纵向设置在放置口中并左右对称分布，两个所述双向螺纹杆(9)均横向设置在放置口中并前后对称分布，每个所述双向螺纹杆(9)的杆壁两端分别与两个弧形夹持板(8)的侧壁螺纹插接，每个所述双向螺纹杆(9)的两端均通过第一轴承分别与放置口的左右两侧转动连接，所述横板(3)的内部还开设有空腔，所述空腔位于放置口的右方，两个所述双向螺纹杆(9)的右端均延伸至空腔中并分别与两个蜗轮(10)固定连接，所述蜗杆(11)纵向设置空腔中并同时与两个蜗轮(10)啮合连接，所述蜗杆(11)的前后两端均通过第二轴承分别与空腔的前后两侧转动连接，且蜗杆(11)的前端延伸至横板(3)的前侧并固定连接有旋钮(12)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述放置口的前后两侧均开设有限位滑槽，两个所述限位滑槽中均滑动设置有一组限位滑块(13)，每组两个所述限位滑块(13)分别与两个弧形夹持板(8)的端部固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述横板(3)的下方设置有水平设置的圆板(14)，所述圆板(14)的上表面靠近边沿位置通过转轴与横板(3)的下侧转动连接，所述圆板(14)通过转轴可转动至放置口的下方位置，所述转轴的轴壁固定套接有阻尼套(15)，所述阻尼套(15)的上下两端分别与横板(3)及圆板(14)紧密相抵。

7.根据权利要求6所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述横向移动机构包括电动滑轨(16)和电动滑块(17)，所述电动滑轨(16)横向固定设置在u形架(2)的上内侧壁上，所述电动滑块(17)滑动安装在电动滑轨(16)的下侧，所述电动滑块(17)的下端与u形板(4)的上端固定连接，所述工作台(1)的上端固定设置有横向设置的导向滑轨(18)，所述导向滑轨(18)上滑动安装有导向块(19)，所述导向块(19)的上端与u形板(4)的下端固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述抛光液喷洒机构包括储液箱(20)、软管(21)、两个进液管(22)和两个喷液管(23)，所述储液箱(20)固定设置在u形架(2)的上方，两个所述喷液管(23)均横向固定设置在u形板(4)的后侧并分别与两个抛光轮(6)水平对齐，所述u形板(4)的后侧壁开设有两组分别与两个喷液管(23)连同的喷液孔，两个所述喷液管(23)的杆壁后侧分别与两个进液管(22)固定连接，所述储液箱(20)的后侧通过软管(21)与两个进液管(22)连同，两个所述进液管(22)上均设置有电磁阀(24)。

9.根据权利要求8所述的一种半导体硅片抛光机，其特征在于：所述u形板(4)的前侧固定设置有竖直设置的透明挡板(25)，所述透明挡板(25)滑动设置在横板(3)的前侧。

技术总结本发明公开了一种半导体硅片抛光机，涉及到半导体硅片抛光机领域，包括工作台，所述工作台的上端固定设置有U形架，所述U形架的内部设置有横板，所述横板的左右两端均通过导向机构分别与U形架的左右两个内侧壁竖直滑动连接，所述U形架的上内侧壁固定设置有两个竖直设置的电动推杆，两个电动推杆左右对称分布，且两个电动推杆的下端均与横板的上侧固定连接，所述横板的上侧中部开设有放置口，所述放置口中设置有夹持机构。本发明能够依次对半导体硅片的上下两个表面进行抛光加工，不需要对半导体硅片进行重复装夹，提高加工效率，且一次装夹完成两面抛光，能够使半导体硅片的上下表面保持平行，提高加工质量，便于人们使。技术研发人员：陈娇凤,陈有鸿受保护的技术使用者：宿州聚磊光电有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/2