料仓装置及包括该料仓装置的倒角机的制作方法

本技术涉及加工设备，具体涉及一种料仓装置及包括该料仓装置的倒角机。

背景技术：

1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。

2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有倒角机一般通过料仓装置来存储晶圆，然而，现有的料仓装置仅能够存储一种尺寸的晶圆，严重影响用户的使用体验。

3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有的料仓装置仅能够存储一种尺寸的晶圆，严重影响用户的使用体验的技术问题。

2、在第一方面，本申请提供了一种料仓装置，包括固定构件以及安装在所述固定构件上的料盒，所述料仓装置还包括设于所述固定构件上的定位构件，所述定位构件上设有与所述料盒相匹配的定位结构，所述定位结构的数量为多个以便能够对多个不同尺寸的料盒进行定位。

3、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述定位结构包括沿第一水平方向间隔分布的第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与所述料盒前端开口处的第一端面和第二端面配合且所述第一定位槽与所述第二定位槽之间的距离沿远离所述料盒的方向逐级变大，所述第一水平方向与所述料盒的前端面平行。

4、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述定位构件包括第一定位板和第二定位板，所述第一定位板和所述第二定位板沿第二水平方向分别朝向远离彼此的方向倾斜延伸，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述第一定位槽设于所述第一定位板且多个所述第一定位槽沿所述第一定位板的长度方向分布，所述第二定位槽设于所述第二定位板且多个所述第二定位槽沿所述第二定位板的长度方向分布。

5、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述第一定位槽包括沿所述第一水平方向延伸的第一竖向定位面及与所述第一竖向定位面垂直的第二竖向定位面，所述第一端面包括沿所述第一水平方向延伸的第一前端面以及与所述第一前端面垂直的第一内端面，所述第一竖向定位面和所述第二竖向定位面分别与所述第一前端面和所述第一内端面贴合；所述第二定位槽包括沿所述第一水平方向延伸的第三竖向定位面及与所述第三竖向定位面垂直的第四竖向定位面，所述第二端面包括沿所述第一水平方向延伸的第二前端面以及与所述第二前端面垂直的第二内端面，所述第三竖向定位面和所述第四竖向定位面分别与所述第二前端面和所述第二内端面贴合。

6、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述定位构件在所述第一竖向定位面与所述第二竖向定位面相连的位置以及所述第三竖向定位面与所述第四竖向定位面相连的位置分别设置第一容纳槽和第二容纳槽，所述第一前端面与所述第一内端面的连接处以及所述第二前端面与所述第二内端面的连接处分别位于所述第一容纳槽和所述第二容纳槽内。

7、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述料仓装置还包括设于所述固定构件上的第一夹紧构件和第二夹紧构件，所述第一夹紧构件和所述第二夹紧构件分别位于所述料盒的两侧且将所述料盒夹紧。

8、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述第一夹紧构件包括第一夹紧板和第一锁紧螺钉，所述第一夹紧板上设有第一条形孔，所述第一锁紧螺钉穿过所述第一条形孔且与所述固定构件固定连接以将所述第一夹紧板固定至所述固定构件，所述第二夹紧构件包括第二夹紧板和第二锁紧螺钉，所述第二夹紧板上设有第二条形孔，所述第二锁紧螺钉穿过所述第二条形孔且与所述固定构件固定连接以将所述第二夹紧板固定至所述固定构件，所述第一夹紧板的一端和所述第二夹紧板的一端分别与所述料盒的两侧抵靠。

9、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述第一条形孔包括第一直线孔和第一弧形孔，所述第一直线孔和所述第一弧形孔内均设有所述第一锁紧螺钉；所述第二条形孔包括第二直线孔和第二弧形孔，所述第二直线孔和所述第二弧形孔内均设有所述第二锁紧螺钉。

10、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述料仓装置还包括设置于所述固定构件上的支撑板，所述支撑板水平设置且支撑于所述料盒的底端。

11、在上述料仓装置的优选技术方案中，所述固定构件包括固定架、设于所述固定架顶端的平台以及设于所述固定架底端的调平螺栓，所述料盒和所述定位构件均设于所述平台，所述调平螺栓竖直设置且用于将所述平台调平。

12、在第二方面，本申请还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的料仓装置。

13、在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的料仓装置通过在固定构件上增设定位构件，定位构件上设有与料盒相匹配的定位结构，且定位结构的数量为多个，使得本实用新型的定位构件能够对多个不同尺寸的料盒进行定位，这样一来，使得本实用新型的固定构件上能够安装多种不同尺寸的料盒，从而存储多个不同尺寸的晶圆，提升了用户的使用体验。

14、进一步地，本实用新型的料仓装置通过采用四个竖向定位面分别与料盒前端开口处的两个端面配合对料盒进行定位，定位准确性更高。

15、又进一步地，本实用新型的料仓装置通过在第一定位板和第二定位板上分别设置第一容纳槽和第二容纳槽来分别容纳料盒的第一端面和第二端面的第一连接处和第二连接处，便于使料盒的第一端面和第二端面更好地与第一定位槽和第二定位槽贴合，能够进一步提高定位的准确性。

16、又进一步地，本实用新型的料仓装置通过在第一夹紧板和第二夹紧板上分别设置第一条形孔和第二条形孔，从而能够调整第一夹紧板与第二夹紧板之间的距离，以适应不同尺寸的料盒。

17、又进一步地，本实用新型的料仓装置通过在第一夹紧板和第二夹紧板上分别设置第一弧形孔和第二弧形孔，除了能够调整第一夹紧板与第二夹紧板之间的距离，还能够调整第一夹紧板与第二夹紧板的角度，从而能够更可靠地将料盒夹紧。

18、又进一步地，本实用新型的料仓装置通过在固定架的底端设置调平螺栓来调整平台的水平度，能够使存储在料盒中的晶圆也是水平的，便于对晶圆进行提取。

技术特征：

1.一种料仓装置，包括固定构件以及安装在所述固定构件上的料盒，其特征在于，所述料仓装置还包括设于所述固定构件上的定位构件，所述定位构件上设有与所述料盒相匹配的定位结构，所述定位结构的数量为多个以便能够对多个不同尺寸的料盒进行定位。

2.根据权利要求1所述的料仓装置，其特征在于，所述定位结构包括沿第一水平方向间隔分布的第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与所述料盒前端开口处的第一端面和第二端面配合，且所述第一定位槽与所述第二定位槽之间的距离沿远离所述料盒的方向逐级变大，所述第一水平方向与所述料盒的前端面平行。

3.根据权利要求2所述的料仓装置，其特征在于，所述定位构件包括第一定位板和第二定位板，所述第一定位板和所述第二定位板沿第二水平方向分别朝向远离彼此的方向倾斜延伸，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述第一定位槽设于所述第一定位板且多个所述第一定位槽沿所述第一定位板的长度方向分布，所述第二定位槽设于所述第二定位板且多个所述第二定位槽沿所述第二定位板的长度方向分布。

4.根据权利要求2所述的料仓装置，其特征在于，所述第一定位槽包括沿所述第一水平方向延伸的第一竖向定位面及与所述第一竖向定位面垂直的第二竖向定位面，所述第一端面包括沿所述第一水平方向延伸的第一前端面以及与所述第一前端面垂直的第一内端面，所述第一竖向定位面和所述第二竖向定位面分别与所述第一前端面和所述第一内端面贴合；所述第二定位槽包括沿所述第一水平方向延伸的第三竖向定位面及与所述第三竖向定位面垂直的第四竖向定位面，所述第二端面包括沿所述第一水平方向延伸的第二前端面以及与所述第二前端面垂直的第二内端面，所述第三竖向定位面和所述第四竖向定位面分别与所述第二前端面和所述第二内端面贴合。

5.根据权利要求4所述的料仓装置，其特征在于，所述定位构件在所述第一竖向定位面与所述第二竖向定位面相连的位置以及所述第三竖向定位面与所述第四竖向定位面相连的位置分别设置第一容纳槽和第二容纳槽，所述第一前端面与所述第一内端面的连接处以及所述第二前端面与所述第二内端面的连接处分别位于所述第一容纳槽和所述第二容纳槽内。

6.根据权利要求1所述的料仓装置，其特征在于，所述料仓装置还包括设于所述固定构件上的第一夹紧构件和第二夹紧构件，所述第一夹紧构件和所述第二夹紧构件分别位于所述料盒的两侧且将所述料盒夹紧。

7.根据权利要求6所述的料仓装置，其特征在于，所述第一夹紧构件包括第一夹紧板和第一锁紧螺钉，所述第一夹紧板上设有第一条形孔，所述第一锁紧螺钉穿过所述第一条形孔且与所述固定构件固定连接以将所述第一夹紧板固定至所述固定构件，所述第二夹紧构件包括第二夹紧板和第二锁紧螺钉，所述第二夹紧板上设有第二条形孔，所述第二锁紧螺钉穿过所述第二条形孔且与所述固定构件固定连接以将所述第二夹紧板固定至所述固定构件，所述第一夹紧板的一端和所述第二夹紧板的一端分别与所述料盒的两侧抵靠。

8.根据权利要求7所述的料仓装置，其特征在于，所述第一条形孔包括第一直线孔和第一弧形孔，所述第一直线孔和所述第一弧形孔内均设有所述第一锁紧螺钉；所述第二条形孔包括第二直线孔和第二弧形孔，所述第二直线孔和所述第二弧形孔内均设有所述第二锁紧螺钉。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的料仓装置，其特征在于，所述固定构件包括固定架、设于所述固定架顶端的平台以及设于所述固定架底端的调平螺栓，所述料盒和所述定位构件均设于所述平台，所述调平螺栓竖直设置且用于将所述平台调平；和/或

10.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至9中任一项所述的料仓装置。

技术总结本技术涉及加工设备技术领域，具体涉及一种料仓装置及包括该料仓装置的倒角机。本申请旨在解决现有的料仓装置仅能够存储一种尺寸的晶圆，严重影响用户使用体验的问题。为此目的，本申请的料仓装置包括设于固定构件上的定位构件，所述定位构件上设有与料盒相匹配的定位结构，所述定位结构的数量为多个以便能够对多个不同尺寸的料盒进行定位。通过在固定构件上增设定位构件，定位构件上设有与料盒相匹配的定位结构，且定位结构的数量为多个，使得本技术的定位构件能够对多个不同尺寸的料盒进行定位，这样一来，使得本技术的固定构件上能够安装多种不同尺寸的料盒，从而存储多个不同尺寸的晶圆，提升了用户的使用体验。技术研发人员：尹德臻,牛银星,卢凯文受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/5