一种半导体LED晶片新型立式自动分选系统的制作方法

本技术涉及高精密机电设备领域，具体涉及一种半导体led晶片新型立式自动分选系统。

背景技术：

1、半导体led晶片自动分选机是半导体led晶片和半导体芯片生产线上的主要生产设备之一。半导体led晶片分选机是根据分选机载入的晶圆片文档，对晶圆片进行预扫描，识别晶片的好坏并精确计算晶片地址，然后，生成新的晶圆片数据库文件，再将晶圆片上的晶片(wafer)，按用户要求进行等级分类(型号)，并将不同等级型号(性能)的晶片，分选到料片蓝膜上的生产设备。

2、直到目前，世界上只有少数国家掌握此项技术并生产led晶片分选机，国内已有不少企业正在研制晶片分选机，一些高精度的分选机已经被国内企业生产使用，例如我国的台湾省生产的分选机，还有部分企业直接进口国外地区，例如荷兰的分选机，但是不管是国内还是国外生产的分选机，其整体的成本都还是较高，整体的分选方式比较单一，分选机内的配套的电气系统安装更复杂，其加工装配效率较低，并且现有的分选方式，整体分选效率不高，有待提高。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，该分选系统工作稳定，系统组装高效，移动维护方便。

2、本实用新型为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：

3、一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，包括分选机械设备、运动控制系统、真空气压转换机构、软件控制系统和移动底座装置；

4、分选机械设备包括晶圆片工作台、料片工作台、摆臂工作台、晶圆片装卸载装置、料片装卸载装置；

5、摆臂工作台通过第一装配锁件连接在晶圆片工作台和料片工作台之间，摆臂工作台上设有综合支撑台，综合支撑台的侧端部上连接有用于固定真空气压转换机构的真空气压支撑架；

6、所述晶圆片装卸载装置包括晶圆片承载台和设置在晶圆片承载台上的晶圆片安放柱台、晶圆片旋转支撑组件，晶圆片承载台下端依次连接有第一横向调节机构和第一纵向调节机构；

7、第一纵向调节机构包括第一纵向左轨道、第一纵向中线性模组、第一纵向右轨道，第一纵向中线性模组上连接有第一纵向移动座；

8、第一横向调节机构包括第一横向支撑顶座、连接在第一横向支撑顶座上端的第一横向前轨道、第一横向后轨道、第一横向中线性模组；第一横向支撑顶座的下端通过第一横向下伸板与第一纵向移动座连接，第一横向支撑顶座的下端通过第一纵向滑块与第一纵向左轨道、第一纵向右轨道连接；第一横向中线性模组通过第一横向移动座与晶圆片承载台连接，晶圆片承载台的下端通过第一横向滑块与第一横向前轨道、第一横向后轨道连接；

9、所述晶圆片承载台包括晶圆片承载底座和晶圆片承载顶板架，晶圆片承载底座和晶圆片承载顶板架之间设置有晶圆片升降电机、晶圆片升降导向轴杆和晶圆片升降缓冲轴杆；

10、晶圆片旋转支撑组件包括晶圆片旋转托板，晶圆片旋转托板通过晶圆片旋转支座设置在晶圆片安放柱台的前端；

11、所述料片装卸载装置包括料片承载架、料片抓取机构、料片转动机构、第二横向移动机构和第二纵向移动机构，料片承载架的下端通过第二气动支撑机构连接在第二横向移动机构上；料片抓取机构包括装配式抓取支座、连接在装配式抓取支座上的抓取直线模组和连接在抓取直线模组上的抓取臂，抓取臂上连接有气动夹取组件；

12、所述料片转动机构包括料片转动底板和料片转托板，料片转动底板上端通过料片转动升降气缸组件连接有料片转动顶板，料片转托板的前端通过托板转动组件连接在料片转动顶板的上端；

13、所述运动控制系统括工业控制计算机、12台交流伺服电机和多个数字编码反馈器。

14、优选的，所述真空气压转换机构包括真空气压转换泵和气压控制阀组件；

15、所述真空气压支撑架包括转换支撑平板，转换支撑平板下端通过第一平板定位螺栓连接有两组转换支撑竖板，转换支撑竖板呈c字形，转换支撑竖板的下端通过第二平板定位螺栓与综合支撑台的上端连接；

16、所述综合支撑台包括前综合支座、后综合支座和上综合支座，上综合支座通过第一支座连接螺杆连接在前综合支座、后综合支座的上端，第一支座连接螺杆的下端部穿过综合支撑台后与摆臂工作台连接。

17、优选的，所述移动底座装置包括控制箱体机构和升降底座机构；

18、升降底座机构包括升降支撑座、连接在升降支撑座上端的升降缓冲板、连接在升降支撑座下端的升降液压缸组件和支撑滚轮组件，升降缓冲板为橡胶板；

19、所述控制箱体机构包括箱壳，箱壳下端连接有箱底座，箱底座的下端面设置有多个底座安装凹槽，升降支撑座上设置有支座嵌入块，支座嵌入块穿过升降缓冲板后插入到底座安装槽内，然后支座嵌入块通过嵌入块锁紧螺栓与升降支撑座固连。

20、优选的，所述箱壳的左侧内壁上和右侧内壁上均设置有滑轨组件，滑轨组件上连接有移动支撑网箱，移动支撑网箱的前端连接有箱网盖；

21、所述移动支撑网箱内设置有工业控制计算机支撑架，移动支撑网箱的箱壁上设置有降温风扇组件。

22、优选的，所述晶圆片工作台、料片工作台、摆臂工作台均呈长方形块状，圆片工作台、料片工作台内均设置有一组锁件定位孔，摆臂工作台内设置有两组锁件定位孔；

23、锁件定位孔内设置有用于连接第一装配锁件的锁件定位筒，锁件定位筒内壁上设置有螺纹。

24、优选的，所述第一装配锁件包括锁紧支座和两件装配钢杆，两件装配钢杆分别螺旋连接在相邻的两个锁件定位筒内，锁紧支座呈长方形块状，锁紧支座的两端部上开设有用于装配钢杆穿过的锁紧支孔，装配钢杆穿过锁紧支孔后通过锁紧螺母固定。

25、优选的，所述工业控制计算机为四核cpu的工控机，工业控制计算机上具有ethercat网口、usb3.0接口，工业控制计算机的主板上插接有16轴运动控制单元，16轴运动控制单元中的12轴用于控制12台交流伺服电机，其余4轴为备用的运动控制单元。

26、本实用新型的有益效果是：

27、上述分选系统，通过在分选机械设备，实现晶圆片装卸载装置、料片装卸载装置更稳定高效的传动配合，通过设置移动底座机构，增加了移动的方便性，通过设计装配式的晶圆片工作台、料片工作台、摆臂工作台，避免了整块大理石安装时的安装风险，提高了安装便利性，同时通过装配式的移动支撑网箱结构，提高了后期维护时电子件及系统的方便性，并且可分部集成化组装，提高了整体的组装效率。

技术特征：

1.一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，包括分选机械设备、运动控制系统、真空气压转换机构、软件控制系统和移动底座装置；

2.根据权利要求1所述的一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，所述真空气压转换机构包括真空气压转换泵和气压控制阀组件；

3.根据权利要求1所述的一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，所述移动底座装置包括控制箱体机构和升降底座机构；

4.根据权利要求3所述的一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，所述箱壳的左侧内壁上和右侧内壁上均设置有滑轨组件，滑轨组件上连接有移动支撑网箱，移动支撑网箱的前端连接有箱网盖；

5.根据权利要求1所述的一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，所述晶圆片工作台、料片工作台、摆臂工作台均呈长方形块状，圆片工作台、料片工作台内均设置有一组锁件定位孔，摆臂工作台内设置有两组锁件定位孔；

6.根据权利要求5所述的一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，所述第一装配锁件包括锁紧支座和两件装配钢杆，两件装配钢杆分别螺旋连接在相邻的两个锁件定位筒内，锁紧支座呈长方形块状，锁紧支座的两端部上开设有用于装配钢杆穿过的锁紧支孔，装配钢杆穿过锁紧支孔后通过锁紧螺母固定。

7.根据权利要求1所述的一种半导体led晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，所述工业控制计算机为四核cpu的工控机，工业控制计算机上具有ethercat网口、usb3.0接口，工业控制计算机的主板上插接有16轴运动控制单元，16轴运动控制单元中的12轴用于控制12台交流伺服电机，其余4轴为备用的运动控制单元。

技术总结本技术公开一种半导体LED晶片新型立式自动分选系统，其特征在于，包括分选机械设备、运动控制系统、真空气压转换机构、软件控制系统和移动底座装置；分选机械设备包括晶圆片工作台、料片工作台、摆臂吸嘴机构、晶圆片装卸载装置、料片装卸载装置；摆臂吸嘴机构包括摆臂工作台，摆臂工作台通过第一装配锁件连接在晶圆片工作台和料片工作台之间，摆臂工作台上设有综合支撑台，综合支撑台的侧端部上连接有用于固定真空气压转换机构的真空气压支撑架，综合支撑台的中部上设置有摆臂驱动电机组件，摆臂吸嘴机构连接在摆臂驱动电机组件的下端。该分选系统工作稳定，系统组装高效，移动维护方便，实用性高。技术研发人员：王耀荣,王振海,盛沙,肖永强受保护的技术使用者：青岛中科墨云智能有限公司技术研发日：20230922技术公布日：2024/7/9