砷化镓晶圆用取放装置的制作方法

本技术涉及砷化镓晶圆加工，特别涉及砷化镓晶圆用取放装置。

背景技术：

1、砷化镓是一种重要的半导体材料，砷化镓可以制成电阻率比硅、锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在加工的过程中需要对晶圆进行打磨抛光加工，需要对等待加工的晶圆的取放。

2、但是现有的取放装置大多通过真空管与吸取嘴进行对晶圆的取放，在取放的过程中容易出现掉落的情况，从而导致晶圆的损坏，影响晶圆的质量，因此需要提供砷化镓晶圆用取放装置来解决问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供砷化镓晶圆用取放装置，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、砷化镓晶圆用取放装置，包括支撑板，所述支撑板的顶部设置有打磨机构，且支撑板的两侧对称设置有传输机构，所述传输机构的外部设置有支撑架，所述支撑架靠近支撑板的一侧设置有取放组件，所述取放组件的一端设置有辅助组件；

4、取放组件包括圆形支撑板，所述圆形支撑板的侧面设置有连接耳板，所述圆形支撑板的顶部设置有旋转座，所述旋转座的顶端设置有液压缸，所述液压缸的顶端设置有支撑横板，所述支撑横板的顶部设置有连接管，所述连接管的一端设置有真空气泵，且连接管的另一端设置有转接管，且转接管的底部设置有橡胶吸取盘；

5、辅助组件包括第一连接框，所述第一连接框的内部设置有双向驱动电机，所述双向驱动电机的侧面设置有丝杠，所述丝杠的外壁上设置有移动块，所述移动块的底部设置有伸缩气缸，所述伸缩气缸的底端设置有弧形夹持板。

6、优选的，所述圆形支撑板的侧面外壁与连接耳板固定连接，且连接耳板有两个，分别对称分布在圆形支撑板的两侧，所述连接耳板远离圆形支撑板的一侧通过螺栓与支撑架的侧面连接，所述圆形支撑板的底部中间通过螺栓连接有驱动电机，且驱动电机的输出端与旋转座传动连接，所述旋转座位于圆形支撑板的顶部中间，且旋转座的底部通过轴承贯穿在圆形支撑板的中间。

7、优选的，所述旋转座的顶部通过螺栓与液压缸连接，且液压缸位于圆形支撑板的顶部中间位置，所述液压缸的顶端通过螺栓与支撑横板连接，且支撑横板远离液压缸的一端位于打磨机构与传输机构的中间与上方，所述支撑横板的底部中间通过螺栓连接有伸缩支撑杆，且伸缩支撑杆的底端连接在圆形支撑板的顶部，所述圆形支撑板的顶部开设有环形滑槽，且伸缩支撑杆的底端滑动连接在环形滑槽的内部，所述环形滑槽位于旋转座的外部。

8、优选的，所述支撑横板靠近液压缸的一端顶部的通过螺栓与真空气泵连接，所述真空气泵的侧面连接有连接管，且连接管位于支撑横板的顶部中间，所述连接管远离真空气泵的一端连接有转接管，且转接管位于支撑横板远离真空气泵的一端中间，所述转接管的底部贯穿在支撑横板的底部，所述转接管的底部连接有橡胶吸取盘，且橡胶吸取盘、转接管与连接管相互连通。

9、优选的，所述第一连接框固定连接在支撑横板远离真空气泵的一端，所述第一连接框的侧面设置有第二连接框，且第二连接框与第一连接框在转接管的两侧对称设置，所述第一连接框的底部开设有通槽，且通过的中间通过螺栓与双向驱动电机连接，所述双向驱动电机位于第一连接框内部的中间位置，所述双向驱动电机的两侧通过螺栓连接有隔板，且隔板的外壁通过螺栓连接在第一连接框中间的通槽内壁上。

10、优选的，所述双向驱动电机的两侧输出端与丝杠传动连接，且丝杠有两个，分别对称分布在双向驱动电机的两侧，所述丝杠靠近双向驱动电机的一端通过轴承与隔板连接，且丝杠远离双向驱动电机的一端通过轴承连接在第一连接框的内壁上，所述丝杠的外壁上套设有移动块，所述移动块有四个，分别对称分布在第一连接框与第二连接框的内部，且其中连个移动块与两个丝杠对应设置，所述移动块的底部通过螺栓连接有伸缩气缸，且伸缩气缸的底部通过螺栓与弧形夹持板连接。

11、优选的，所述伸缩气缸有四组，分别对称分布在第一连接框与第二连接框的底部两侧，所述弧形夹持板有两个，分别对称分布在第一连接框与第二连接框的下方，所述第二连接框的内部安装有滑杆，且滑杆的外壁上套设有移动块，所述移动块与伸缩气缸对应设置，所述弧形夹持板与橡胶吸取盘对应设置。

12、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

13、1、通过设置的取放组件实现对晶圆的取放，通过设置的真空气泵运转，使连接管、转接管与橡胶吸取盘实现对晶圆的吸取，通过设置的驱动电机带动旋转座旋转，从而方便对吸取后的晶圆不同位置的放置，提高装置的使用便捷度；

14、2、通过设置的支撑横板提高取放组件对晶圆取放的稳定性，通过设置的丝杠带动移动块移动，使伸缩气缸带动弧形夹持板进行对晶圆的定位夹持，从而防止在吸取移动的过程中晶圆掉落，造成晶圆的损坏，同时防止在打磨完成后，晶圆表面存在灰尘吸取效果不理想，从而影响吸取的工作进程。

技术特征：

1.砷化镓晶圆用取放装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的顶部设置有打磨机构(2)，且支撑板(1)的两侧对称设置有传输机构(3)，所述传输机构(3)的外部设置有支撑架(4)，所述支撑架(4)靠近支撑板(1)的一侧设置有取放组件(5)，所述取放组件(5)的一端设置有辅助组件(18)；

2.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用取放装置，其特征在于：所述圆形支撑板(6)的侧面外壁与连接耳板(7)固定连接，且连接耳板(7)有两个，分别对称分布在圆形支撑板(6)的两侧，所述连接耳板(7)远离圆形支撑板(6)的一侧通过螺栓与支撑架(4)的侧面连接，所述圆形支撑板(6)的底部中间通过螺栓连接有驱动电机(8)，且驱动电机(8)的输出端与旋转座(9)传动连接，所述旋转座(9)位于圆形支撑板(6)的顶部中间，且旋转座(9)的底部通过轴承贯穿在圆形支撑板(6)的中间。

3.根据权利要求2所述的砷化镓晶圆用取放装置，其特征在于：所述旋转座(9)的顶部通过螺栓与液压缸(10)连接，且液压缸(10)位于圆形支撑板(6)的顶部中间位置，所述液压缸(10)的顶端通过螺栓与支撑横板(15)连接，且支撑横板(15)远离液压缸(10)的一端位于打磨机构(2)与传输机构(3)的中间与上方，所述支撑横板(15)的底部中间通过螺栓连接有伸缩支撑杆(16)，且伸缩支撑杆(16)的底端连接在圆形支撑板(6)的顶部，所述圆形支撑板(6)的顶部开设有环形滑槽(17)，且伸缩支撑杆(16)的底端滑动连接在环形滑槽(17)的内部，所述环形滑槽(17)位于旋转座(9)的外部。

4.根据权利要求3所述的砷化镓晶圆用取放装置，其特征在于：所述支撑横板(15)靠近液压缸(10)的一端顶部的通过螺栓与真空气泵(11)连接，所述真空气泵(11)的侧面连接有连接管(12)，且连接管(12)位于支撑横板(15)的顶部中间，所述连接管(12)远离真空气泵(11)的一端连接有转接管(13)，且转接管(13)位于支撑横板(15)远离真空气泵(11)的一端中间，所述转接管(13)的底部贯穿在支撑横板(15)的底部，所述转接管(13)的底部连接有橡胶吸取盘(14)，且橡胶吸取盘(14)、转接管(13)与连接管(12)相互连通。

5.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用取放装置，其特征在于：所述第一连接框(19)固定连接在支撑横板(15)远离真空气泵(11)的一端，所述第一连接框(19)的侧面设置有第二连接框(26)，且第二连接框(26)与第一连接框(19)在转接管(13)的两侧对称设置，所述第一连接框(19)的底部开设有通槽，且通过的中间通过螺栓与双向驱动电机(20)连接，所述双向驱动电机(20)位于第一连接框(19)内部的中间位置，所述双向驱动电机(20)的两侧通过螺栓连接有隔板(22)，且隔板(22)的外壁通过螺栓连接在第一连接框(19)中间的通槽内壁上。

6.根据权利要求5所述的砷化镓晶圆用取放装置，其特征在于：所述双向驱动电机(20)的两侧输出端与丝杠(21)传动连接，且丝杠(21)有两个，分别对称分布在双向驱动电机(20)的两侧，所述丝杠(21)靠近双向驱动电机(20)的一端通过轴承与隔板(22)连接，且丝杠(21)远离双向驱动电机(20)的一端通过轴承连接在第一连接框(19)的内壁上，所述丝杠(21)的外壁上套设有移动块(23)，所述移动块(23)有四个，分别对称分布在第一连接框(19)与第二连接框(26)的内部，且其中两个移动块(23)与两个丝杠(21)对应设置，所述移动块(23)的底部通过螺栓连接有伸缩气缸(24)，且伸缩气缸(24)的底部通过螺栓与弧形夹持板(25)连接。

7.根据权利要求6所述的砷化镓晶圆用取放装置，其特征在于：所述伸缩气缸(24)有四组，分别对称分布在第一连接框(19)与第二连接框(26)的底部两侧，所述弧形夹持板(25)有两个，分别对称分布在第一连接框(19)与第二连接框(26)的下方，所述第二连接框(26)的内部安装有滑杆(27)，且滑杆(27)的外壁上套设有移动块(23)，所述移动块(23)与伸缩气缸(24)对应设置，所述弧形夹持板(25)与橡胶吸取盘(14)对应设置。

技术总结本技术公开了砷化镓晶圆用取放装置，涉及砷化镓晶圆加工技术领域，包括支撑板，所述支撑板的顶部设置有打磨机构，且支撑板的两侧对称设置有传输机构，所述传输机构的外部设置有支撑架，所述支撑架靠近支撑板的一侧设置有取放组件，所述取放组件的一端设置有辅助组件，取放组件包括圆形支撑板，所述圆形支撑板的顶部设置有旋转座，所述旋转座的顶端设置有液压缸与支撑横板，所述支撑横板的顶部设置有连接管。本技术通过设置的取放组件实现对晶圆的取放，通过设置的真空气泵运转，使连接管、转接管与橡胶吸取盘实现对晶圆的吸取，通过设置的驱动电机带动旋转座旋转，从而方便对吸取后的晶圆不同位置的放置，提高装置的使用便捷度。技术研发人员：兰少东,袁许飞,李琪荣,许子俊受保护的技术使用者：江苏中科晶元信息材料有限公司技术研发日：20231203技术公布日：2024/7/11