一种样品台冷却装置的制作方法

本技术涉及样品台冷却，具体为一种样品台冷却装置。

背景技术：

1、mpcvd设备在运行时，炉腔内生成高温微波等离子体，等离子体会笼罩在样品台上方进行生产，过程中会产生大量热量，需要将多余热量给散去，而炉腔内又为真空密封环境，所以需要从样品台下方通冷却液进行冷却。

2、目前所使用的冷却通过冷却液进入样品台的底部进行散热，散热较为局限，只能对样品台的某一处进行散热，效果不佳，为此我们提出一种样品台冷却装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种样品台冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种样品台冷却装置，包括样品台，所述样品台的底部焊接有外壁，所述外壁的底部焊接有连接管，所述连接管和外壁的内部设置有冷却机构，样品台为无氧铜制，外壁为不锈钢制，可以提高样品台的散热效果，所述冷却机构包括：

3、进水管，所述进水管贯穿连接管的底部且与连接管固定，所述进水管的顶部固定有水道封板；

4、螺旋水道，所述水道封板的顶部固定并连通有螺旋水道，所述外壁和连接管的内部开设有出水道，所述螺旋水道与出水道连通，所述进水管的表面固定有封头，通过设置的螺旋水道，使得冷却液可以均匀的通过，对样品台各个部件进行均匀散热。

5、优选的，所述进水管和螺旋水道的内部设置有辅助组件，所述辅助组件包括支架，所述支架固定在进水管的内壁上，所述支架的顶部转动安装有叶轮，所述叶轮的顶部开设有凹槽，所述凹槽的里侧转动安装有圆盘，所述圆盘的顶部固定有绳子一和绳子二。

6、优选的，所述绳子一和绳子二远离圆盘的一端穿过螺旋水道与横杆固定，所述横杆固定在螺旋水道的内壁上，所述绳子一靠近绳子二的一侧固定有扰流板，当圆盘转动时，可以带动扰流板转动，将处于螺旋水道内的冷却液进行搅动，进一步提高对样品台的冷却效果。

7、优选的，所述凹槽、圆盘、绳子一和绳子二上设置有联动组件，所述联动组件包括固定片，所述凹槽的里侧固定有固定片，所述圆盘的表面铰接有从动块，所述圆盘的表面固定有扭簧，所述扭簧远离圆盘的一端与从动块固定。

8、优选的，所述圆盘的表面固定有涡卷弹簧，所述涡卷弹簧远离圆盘的一端固定在凹槽的里侧，所述绳子一和绳子二的表面转动安装有圆环，所述圆环的表面铰接有支杆，所述支杆远离圆环的一端铰接在连杆，所述连杆贯穿圆盘的顶部且与圆盘滑动连接，所述圆盘的内壁上固定有复位弹簧，所述复位弹簧远离圆盘的一端固定在连杆的表面。

9、优选的，所述圆盘的内壁上转动安装有转盘，所述转盘的中心开设有通孔，所述转盘中心通孔的里侧开设有螺旋状滑槽，所述连杆远离支杆的一端滑动安装在螺旋状滑槽内，所述转盘的底部固定有推杆，所述推杆贯穿圆盘的底部，当绳子一和绳子二相互绞在一起后不能继续绞制后，绳子一和绳子二处于圆盘顶部的位置略微相互靠近，可以推动连杆向下移动，当叶轮转动时，由于扭簧可以对从动块提供一定的支撑，叶轮带动固定片转动，固定片抵触在从动块上带动圆盘一起转动，当圆盘不能继续转动时，固定片抵触在从动块，使得从动块以和圆盘铰接的位置发生转动，不会影响叶轮的正常旋转。

10、与现有技术相比，本实用新型提供了一种样品台冷却装置，具备以下有益效果：

11、1、该样品台冷却装置，通过设置的冷却机构，当冷却液通过进水管进入螺旋水道后，冷却液在螺旋水道内进行移动，使得冷却液可以均匀的通过，对样品台各个部件进行均匀散热。

12、2、该样品台冷却装置，通过设置的辅助组件，当冷却液进入进水管后，叶轮开始转动，叶轮带动圆盘一起转动，当圆盘转动时，圆盘带动绳子一和绳子二转动，使得绳子一和绳子二相互绞在一起，处于绳子一和绳子二之间的扰流板转动，将处于螺旋水道内的冷却液进行搅动，进一步提高对样品台的冷却效果。

技术特征：

1.一种样品台冷却装置，包括样品台(1)，其特征在于：所述样品台(1)的底部焊接有外壁(5)，所述外壁(5)的底部焊接有连接管(6)，所述连接管(6)和外壁(5)的内部设置有冷却机构(2)，所述冷却机构(2)包括：

2.根据权利要求1所述的一种样品台冷却装置，其特征在于：所述进水管(21)和螺旋水道(23)的内部设置有辅助组件(3)，所述辅助组件(3)包括支架(31)，所述支架(31)固定在进水管(21)的内壁上，所述支架(31)的顶部转动安装有叶轮(32)，所述叶轮(32)的顶部开设有凹槽(33)，所述凹槽(33)的里侧转动安装有圆盘(34)。

3.根据权利要求2所述的一种样品台冷却装置，其特征在于：所述圆盘(34)的顶部固定有绳子一(35)和绳子二(36)，所述绳子一(35)和绳子二(36)远离圆盘(34)的一端穿过螺旋水道(23)与横杆(37)固定，所述横杆(37)固定在螺旋水道(23)的内壁上，所述绳子一(35)靠近绳子二(36)的一侧固定有扰流板(38)。

4.根据权利要求3所述的一种样品台冷却装置，其特征在于：所述凹槽(33)、圆盘(34)、绳子一(35)和绳子二(36)上设置有联动组件(4)，所述联动组件(4)包括固定片(41)，所述凹槽(33)的里侧固定有固定片(41)，所述圆盘(34)的表面铰接有从动块(42)，所述圆盘(34)的表面固定有扭簧(43)，所述扭簧(43)远离圆盘(34)的一端与从动块(42)固定，所述圆盘(34)的表面固定有涡卷弹簧(44)，所述涡卷弹簧(44)远离圆盘(34)的一端固定在凹槽(33)的里侧。

5.根据权利要求3所述的一种样品台冷却装置，其特征在于：所述绳子一(35)和绳子二(36)的表面转动安装有圆环(45)，所述圆环(45)的表面铰接有支杆(46)，所述支杆(46)远离圆环(45)的一端铰接在连杆(47)，所述连杆(47)贯穿圆盘(34)的顶部且与圆盘(34)滑动连接，所述圆盘(34)的内壁上固定有复位弹簧(48)，所述复位弹簧(48)远离圆盘(34)的一端固定在连杆(47)的表面。

6.根据权利要求5所述的一种样品台冷却装置，其特征在于：所述圆盘(34)的内壁上转动安装有转盘(49)，所述转盘(49)的中心开设有通孔，所述转盘(49)中心通孔的里侧开设有螺旋状滑槽(410)，所述连杆(47)远离支杆(46)的一端滑动安装在螺旋状滑槽(410)内，所述转盘(49)的底部固定有推杆(411)，所述推杆(411)贯穿圆盘(34)的底部。

技术总结本技术涉及样品台冷却技术领域，且公开了一种样品台冷却装置，所述样品台的底部焊接有外壁，所述外壁的底部焊接有连接管，所述连接管和外壁的内部设置有冷却机构，样品台为无氧铜制，外壁为不锈钢制，可以提高样品台的散热效果，所述冷却机构包括进水管、水道封板、螺旋水道、出水道、封头，所述进水管和螺旋水道的内部设置有辅助组件，所述辅助组件包括支架，所述支架固定在进水管的内壁上，所述支架的顶部转动安装有叶轮，所述叶轮的顶部开设有凹槽，该样品台冷却装置，通过设置的冷却机构，当冷却液通过进水管进入螺旋水道后，冷却液在螺旋水道内进行移动，使得冷却液可以均匀的通过，对样品台各个部件进行均匀散热。技术研发人员：黄卫兵,张庆伟,焦点受保护的技术使用者：郑州天宏自动化技术有限公司技术研发日：20231129技术公布日：2024/7/9