多晶硅破碎除尘装置的制作方法

本技术涉及除尘，尤其是涉及一种多晶硅破碎除尘装置。

背景技术：

1、电子级多晶硅是制造半导体硅片最基础和最重要的原材料之一，被称为电子信息产业的“粮食”，其纯度需达到11n，如此高的纯度对制备技术、检测技术和质量管理都提出了极高的要求。为提高电子级多晶硅料收率和质量，需要采用人工破碎提高收率，控制质量。

2、现有的万级洁净室内人工破碎过程中会产生大量的硅粉尘，人体吸入粉尘后所产生的损伤是不可逆的，且含尘气体内的粉尘含量过高可能会导致粉尘爆炸。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种多晶硅破碎除尘装置，所述多晶硅破碎除尘装置可以祛除生产过程中产生的粉尘，降低粉尘爆炸风险，同时避免人体吸入过多粉尘，保证人员身体健康，实现有效除尘、安全生产、降低成本的目的。

2、根据本实用新型的多晶硅破碎除尘装置，包括：工作间，所述工作间具有用于破碎多晶硅的操作空间；除尘组件，所述除尘组件包括除尘管和除尘器，所述除尘管的入口端与所述操作空间连通，所述除尘器串接在所述除尘管上，且被配置为可分离出所述除尘管中的气流中的粉尘。

3、在一些实施例中，所述工作间包括隔间主体和开关门，所述隔间主体上设有通过口，所述开关门设于所述通过口位置用于打开和关闭所述通过口。

4、在一些实施例中，所述隔间主体设有通风窗口；所述操作空间内设有用于破碎多晶硅的破碎区，所述隔间主体上设有百叶窗，所述百叶窗设于所述隔间主体的远离所述破碎区的侧壁上。

5、在一些实施例中，所述隔间主体包括：框架、透明板和墙板，所述透明板和所述墙板均设于所述框架上，所述框架、所述透明板和所述墙板配合围合出所述操作空间。

6、在一些实施例中，所述除尘组件还包括：三通阀，所述三通阀具有第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口与所述除尘管的出口端相连，所述第二接口适于连通所述洁净室的除尘系统，所述第一接口可切换地与所述第二接口和所述第三接口连通；回气管，所述回气管的一端与所述第三接口相连，所述回气管的另一端连通所述操作空间。

7、在一些实施例中，所述除尘组件还包括：粉尘浓度检测器，所述粉尘浓度检测器设于所述回气管，用于检测所述回气管内的粉尘浓度。

8、在一些实施例中，所述粉尘浓度检测器与所述三通阀电连接。

9、在一些实施例中，所述除尘组件还包括：控制阀，所述控制阀设于所述除尘管上且位于所述除尘器在气流流向方向上的上游。

10、在一些实施例中，所述除尘组件还包括：风速传感器，所述风速传感器设于所述除尘管上且位于所述控制阀与所述工作间之间。

11、在一些实施例中，所述多晶硅破碎除尘装置还包括接地结构，所述接地结构的一端与所述除尘管相连且位于所述除尘器在气流方向上的下游，所述接地结构的另一端接地。

12、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种多晶硅破碎除尘装置，设于洁净室内，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，所述工作间包括隔间主体和开关门，所述隔间主体上设有通过口，所述开关门设于所述通过口位置用于打开和关闭所述通过口。

3.根据权利要求2所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，所述隔间主体设有通风窗口；

4.根据权利要求2所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，所述隔间主体包括：框架、透明板和墙板，所述透明板和所述墙板均设于所述框架上，所述框架、所述透明板和所述墙板配合围合出所述操作空间。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，所述除尘组件还包括：

6.根据权利要求5所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，所述除尘组件还包括：粉尘浓度检测器，所述粉尘浓度检测器设于所述回气管，用于检测所述回气管内的粉尘浓度。

7.根据权利要求6所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，所述粉尘浓度检测器与所述三通阀电连接。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，所述除尘组件还包括：控制阀，所述控制阀设于所述除尘管上且位于所述除尘器在气流流向方向上的上游。

9.根据权利要求8所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，所述除尘组件还包括：风速传感器，所述风速传感器设于所述除尘管上且位于所述控制阀与所述工作间之间。

10.根据权利要求1所述的多晶硅破碎除尘装置，其特征在于，还包括接地结构，所述接地结构的一端与所述除尘管相连且位于所述除尘器在气流方向上的下游，所述接地结构的另一端接地。

技术总结本技术公开了一种多晶硅破碎除尘装置，所述多晶硅破碎除尘装置包括：工作间，所述工作间具有用于破碎多晶硅的操作空间；除尘组件，所述除尘组件包括除尘管和除尘器，所述除尘管的入口端与所述操作空间连通，所述除尘器串接在所述除尘管上，且被配置为可分离出所述除尘管中的气流中的粉尘。根据本技术的多晶硅破碎除尘装置，可以有效地祛除多晶硅破碎过程中产生的含尘气体中的粉尘并防止粉尘扩散，避免人体吸入过多粉尘，以保证人员的身体健康，同时降低粉尘爆炸的风险，实现有效除尘、安全生产、降低成本的目的。技术研发人员：高国翔,吴鹏,赵春梅,朱红雷,王硕,赫凤玲受保护的技术使用者：内蒙古鑫华半导体科技有限公司技术研发日：20240603技术公布日：2024/7/11