一种多晶硅气相色谱仪用气体取样过滤装置的制作方法

本技术涉及多晶硅生产，更具体地说涉及一种多晶硅气相色谱仪用气体取样过滤装置。

背景技术：

1、随着多晶硅在现代科技、国防、工业等领域的广泛应用，多晶硅的生产也得到了快速发展，提高产品质量、降低生产成本、扩大生产能力成为各个生产厂家竞相追逐的目标。目前多晶硅生产工艺中，主要是采用改良西门子法，以金属工业硅粉为主要原料，通过冷氢化工艺生产出三氯氢硅，再通过提纯还原技术产出高纯多晶硅产品。

2、在整个生产过程中，会产生大量的过程物料，针对产生液体氯硅烷过程样品及整个系统的气体样品，均需要通过气相色谱仪器进行检测。目前在氯硅烷生产过程质量控制中，以氯碱工序、冷氢化工序和还原工序为典型的检测项目，介质多以二氯氢硅、三氯氢硅、四氯氢硅、氯化氢、氢气、氮气以及一些酸性气体为主，含有大量的有毒有害成分。

3、气相色谱仪在石油、化工、生物化学、医药卫生、食品工业、环保等方面应用广泛，能够对气体进行定性和定量分析。在气相色谱分析中，进样是定量分析误差的主要来源之一。进样方式和进样系统的原理、结构、使用材料、进样温度、进样量、进样速度、进样用工具等都会对气相色谱分析的定量定性的重复性和准确性产生直接影响。

4、在多晶硅行业中，现有的气相色谱仪用的进样装置在气相色谱仪上位置固定的效果较差，从而难以保证进样时的稳定性。而且气相色谱仪在对气体进行检测时，由于各种气体样品的来源不一，有些气体样品中含有杂质，杂质会堵塞进样管路，造成进样失败，而且严重的时候会污染色谱柱，造成其分离精度下降，严重影响其使用寿命。

技术实现思路

1、为了克服上述现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的是提供一种多晶硅气相色谱仪用气体取样过滤装置，以解决现有技术中存在的位置固定效果较差、杂质堵塞进样管路等缺陷。

2、为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案：

3、一种多晶硅气相色谱仪用气体取样过滤装置，包括吸盘固定座、下部筒体和上部筒体；

4、所述下部筒体安装在所述吸盘固定座上，所述上部筒体可拆卸安装在所述下部筒体上，下部筒体和上部筒体内部的腔体连通且均设置有过滤膜，下部筒体内部填充有活性炭层，侧壁设置有气体进样管，上部筒体内部填充有变色硅胶层，侧壁设置有连接至气相色谱仪进样口的气体取样管。

5、优选的，所述气体进样管和气体取样管上均设置有单向阀。

6、优选的，所述活性炭层填充在下部筒体下部，下部筒体上部预留有第一腔体，所述第一腔体和活性炭层之间设置有第一过滤膜。

7、优选的，所述变色硅胶层填充在上部筒体下部，上部筒体上部预留有第二腔体，所述第二腔体和变色硅胶层之间设置有第二过滤膜。

8、优选的，所述上部筒体顶端设置有旋钮排气阀，所述旋钮排气阀连通至所述第二腔体内。

9、优选的，所述第一过滤膜和第二过滤膜均为0.2μm过滤膜。

10、优选的，所述下部筒体材质为聚氨软泡沫。

11、优选的，所述上部筒体材质为透明塑料。

12、优选的，所述下部筒体和上部筒体通过螺纹可拆卸连接。

13、本实用新型的有益效果：

14、本实用新型提供的多晶硅气相色谱仪用气体取样过滤装置，利用吸盘固定座固定下部筒体和上部筒体，从而保证了进样时气体取样过滤装置的稳定性；下部筒体和上部筒体内部的腔体连通且均设置有过滤膜，在下部筒体内部填充有活性炭层，上部筒体内部填充有变色硅胶层，以对进样气体中的颗粒物杂质进行过滤、对水分进行吸附，过滤掉进样气体中的杂质，防止杂质堵塞进样管路，造成进样失败，也防止了杂质污染色谱柱，造成其分离精度下降，影响其使用寿命。

技术特征：

1.一种多晶硅气相色谱仪用气体取样过滤装置，其特征在于，包括吸盘固定座（1）、下部筒体（2）和上部筒体（3）；

2.如权利要求1所述的气体取样过滤装置，其特征在于，所述气体进样管和气体取样管上均设置有单向阀（6）。

3.如权利要求1所述的气体取样过滤装置，其特征在于，所述活性炭层（4）填充在下部筒体（2）下部，下部筒体（2）上部预留有第一腔体（7），所述第一腔体（7）和活性炭层（4）之间设置有第一过滤膜（8）。

4.如权利要求3所述的气体取样过滤装置，其特征在于，所述变色硅胶层（5）填充在上部筒体（3）下部，上部筒体（3）上部预留有第二腔体（9），所述第二腔体（9）和变色硅胶层（5）之间设置有第二过滤膜（10）。

5.如权利要求4所述的气体取样过滤装置，其特征在于，所述上部筒体（3）顶端设置有旋钮排气阀（11），所述旋钮排气阀（11）连通至所述第二腔体（9）内。

6.如权利要求4所述的气体取样过滤装置，其特征在于，所述第一过滤膜（8）和第二过滤膜（10）均为0.2μm过滤膜。

7.如权利要求1所述的气体取样过滤装置，其特征在于，所述下部筒体（2）材质为聚氨软泡沫。

8.如权利要求1所述的气体取样过滤装置，其特征在于，所述上部筒体（3）材质为透明塑料。

9.如权利要求1所述的气体取样过滤装置，其特征在于，所述下部筒体（2）和上部筒体（3）通过螺纹可拆卸连接。

技术总结本技术公开了一种多晶硅气相色谱仪用气体取样过滤装置，涉及多晶硅生产技术领域，包括吸盘固定座、下部筒体和上部筒体；下部筒体安装在吸盘固定座上，上部筒体可拆卸安装在下部筒体上，下部筒体和上部筒体内部的腔体连通且均设置有过滤膜，下部筒体内部填充有活性炭层，侧壁设置有气体进样管，上部筒体内部填充有变色硅胶层，侧壁设置有连接至气相色谱仪进样口的气体取样管。利用吸盘固定座固定下部筒体和上部筒体，从而保证了进样时气体取样过滤装置的稳定性；下部筒体和上部筒体内部的腔体连通且均设置有过滤膜，在下部筒体内部填充有活性炭层，上部筒体内部填充有变色硅胶层，以对进样气体中的颗粒物杂质进行过滤、对水分进行吸附。技术研发人员：何孟,吴岷贤,刘奇,刘涛,吴加勇,王丽君,陈雪刚受保护的技术使用者：四川永祥新能源有限公司技术研发日：20231127技术公布日：2024/7/11