弧形阳极篮及电镀装置的制作方法

本技术属于电镀设备，特别涉及一种弧形阳极篮及电镀装置。

背景技术：

1、晶体振荡器（例如温度补偿晶体振荡器tcxo）、晶体谐振器（例如音叉晶体谐振器、热敏晶体谐振器tsx）以及半导体器件等小型元器件被广泛应用于各种各样的电子设备中，这些元器件的组成主要包括：发挥核心功能的电子元件，诸如石英晶体、ic芯片、电阻电容等电子元件；封装基座，可以将电子元件进行密封，避免周围环境对电子元件正常运作的影响。

2、目前，封装基座的制备流程主要包括：制备陶瓷生坯→对陶瓷生坯进行加工，包括通孔结构加工和导电层的形成等→将多片加工后的陶瓷生坯进行叠层，得到包含有复数个封装基座的陶瓷板半成品→将陶瓷板半成品进行烧结，然后进行电镀处理，得到陶瓷板成品→对陶瓷板成品进行分片，得到单颗封装基座。

3、在电镀工序中，需要将阳极金属（如镍、铜等）放置于阳极篮中，然后将阳极篮悬挂在电镀槽的阳极杆上，可视作阴极的陶瓷板置于电镀槽的另一侧，在通电后，阳极金属会析出阳离子，阳离子移动至阴极并在陶瓷板上析出，实现电镀。然而，通过传统的电镀方式获得的产品中，在陶瓷板不同区域的镀层厚度差异大，特别是陶瓷板两侧区域的镀层厚，中间区域的镀层薄，整体均匀性差，严重影响封装基座的性能稳定性，尤其是限制了封装基座的进一步小型化发展。

技术实现思路

1、为解决上述提及的技术问题，本实用新型目的在于提供一种弧形阳极篮及电镀装置，能够解决现有电镀技术中阴极上不同区域的镀层的厚度均匀性差的问题，并且最大限度减少阴极上不同区域的镀层厚度差异。

2、为解决上述技术问题所采用的技术方案：

3、第一方面，本实用新型提供一种弧形阳极篮，其包括：

4、阳极篮主体，其具有互为垂直的第一方向、第二方向和上下方向，所述阳极篮主体具有开口朝上的容纳腔，所述阳极篮主体的长度方向沿第二方向延伸，所述阳极篮主体在第一方向上的其中一侧壁为第一弧形壁，沿上下方向看，所述第一弧形壁朝远离所述容纳腔的方向凸起，所述第一弧形壁设有多个连通于所述容纳腔的网孔，所述第一弧形壁的曲率半径r满足关系：250mm≤r≤550mm。

5、本实用新型提供的弧形阳极篮至少具有如下的有益效果：由于在电镀液中阳极与阴极之间的距离越小，则电阻越小，相应区域的电流密度越高，因此，将阳极篮主体在第一方向上的一侧壁加工成第一弧形壁，使其成为弧形结构，而且，从俯视角度看，第一弧形壁是朝远离容纳腔的方向凸起，第一弧形壁设置多个网孔，使得在电镀时阳极篮主体的第一弧形壁与阴极的中间区域之间的垂直距离小于阳极篮主体的第一弧形壁与阴极的两侧区域之间的垂直距离，从而提高阴极的中间区域的电流密度，使得阴极的中间区域的镀层厚度增大，进而令阴极的中间区域和两侧区域的镀层厚度更为均匀；而且，通过限定第一弧形壁的曲率半径r在规定的范围内（250mm≤r≤550mm），可以使得阴极的两侧区域和中间区域的镀层的厚度差异更小，如果第一弧形壁的曲率半径设计得过大或过小，都会导致阴极的两侧区域和中间区域的镀层的厚度差异增大，从而造成阴极上不同区域的镀层的厚度均匀性变差。

6、作为上述技术方案的进一步改进，所述阳极篮主体在第二方向上的长度尺寸设为l，l满足关系：1.1≤r/l≤1.5。

7、作为上述技术方案的进一步改进，所述阳极篮主体在第一方向上的另一侧壁为第二弧形壁，沿上下方向看，所述第二弧形壁朝靠近所述容纳腔的方向凸起，所述第二弧形壁的曲率半径与所述第一弧形壁的曲率半径相同。

8、作为上述技术方案的进一步改进，所述第二弧形壁设有多个连通于所述容纳腔的所述网孔。

9、作为上述技术方案的进一步改进，所述网孔为菱形孔，所述菱形孔的内锐角θ满足关系：20°≤θ≤50°。

10、作为上述技术方案的进一步改进，所述阳极篮主体包括底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板，所述第一侧板和所述第二侧板沿第一方向间隔设置，所述第三侧板设有两块，两所述第三侧板分别位于所述第一侧板在第二方向上的相对两侧，所述底板、所述第一侧板、所述第二侧板和两所述第三侧板相连接，并共同围成所述容纳腔，所述第一侧板为所述第一弧形壁。

11、作为上述技术方案的进一步改进，所述第一侧板包括加强筋和网片，所述加强筋沿第二方向相对的两端分别与两所述第三侧板连接，所述网片设有所述网孔，所述网片设有至少两块，任意相邻的两所述网片之间设有所述加强筋，且所述网片与所述加强筋连接，所述网片沿第二方向相对的两端分别与两所述第三侧板连接。

12、作为上述技术方案的进一步改进，所述阳极篮主体在第二方向上的两侧面分别设有挂钩；和/或，所述阳极篮主体为纯钛制件。

13、第二方面，本实用新型提供一种电镀装置，其包括：

14、电镀槽，其具有开口朝上的容腔；

15、阴极挂具，其设于所述容腔内；

16、上述任一技术方案的弧形阳极篮，其设于所述容腔内，并与所述阴极挂具沿着第一方向间隔设置，且所述第一弧形壁与所述阴极挂具相对设置。

17、本实用新型提供的弧形阳极篮至少具有如下的有益效果：由于在电镀液中阳极与阴极之间的距离变小，则电阻变小，相应区域的电流密度变高，因此，采用上述结构的弧形阳极篮配合阴极挂具进行电镀工作，可以使得在电镀时弧形阳极篮与阴极挂具的中间区域之间的垂直距离比弧形阳极篮与阴极的两侧区域之间的垂直距离小，从而提高阴极挂具的中间区域的电流密度，使得阴极挂具上的电镀工件的中间区域的镀层厚度会增大，进而令电镀工件的中间区域和两侧区域的镀层厚度更为均匀；而且，通过限定弧形阳极篮的第一弧形壁的曲率半径r在规定的范围内（250mm≤r≤550mm），可以使得电镀工件的两侧区域和中间区域的镀层的厚度差异更小，如果第一弧形壁的曲率半径过大或过小，都会导致电镀工件的两侧区域和中间区域的镀层的厚度差异增大，从而造成电镀工件上不同区域的镀层的厚度均匀性变差。

18、作为上述技术方案的进一步改进，所述阳极篮主体在第二方向上的侧面与所述阴极挂具之间的垂直距离设为s，s满足关系：1.5≤r/s≤2.5。

19、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种弧形阳极篮，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的弧形阳极篮，其特征在于，所述阳极篮主体在第二方向上的长度尺寸设为l，l满足关系：1.1≤r/l≤1.5。

3.根据权利要求1所述的弧形阳极篮，其特征在于，所述阳极篮主体在第一方向上的另一侧壁为第二弧形壁，沿上下方向看，所述第二弧形壁朝靠近所述容纳腔的方向凸起，所述第二弧形壁的曲率半径与所述第一弧形壁的曲率半径相同。

4.根据权利要求3所述的弧形阳极篮，其特征在于，所述第二弧形壁设有多个连通于所述容纳腔的所述网孔。

5.根据权利要求1所述的弧形阳极篮，其特征在于，所述网孔为菱形孔，所述菱形孔的内锐角θ满足关系：20°≤θ≤50°。

6.根据权利要求1所述的弧形阳极篮，其特征在于，所述阳极篮主体包括底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板，所述第一侧板和所述第二侧板沿第一方向间隔设置，所述第三侧板设有两块，两所述第三侧板分别位于所述第一侧板在第二方向上的相对两侧，所述底板、所述第一侧板、所述第二侧板和两所述第三侧板相连接，并共同围成所述容纳腔，所述第一侧板为所述第一弧形壁。

7.根据权利要求6所述的弧形阳极篮，其特征在于，所述第一侧板包括加强筋和网片，所述加强筋沿第二方向相对的两端分别与两所述第三侧板连接，所述网片设有所述网孔，所述网片设有至少两块，任意相邻的两所述网片之间设有所述加强筋，且所述网片与所述加强筋连接，所述网片沿第二方向相对的两端分别与两所述第三侧板连接。

8.根据权利要求1所述的弧形阳极篮，其特征在于，所述阳极篮主体在第二方向上的两侧面分别设有挂钩；和/或，所述阳极篮主体为纯钛制件。

9.一种电镀装置，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的电镀装置，其特征在于，所述阳极篮主体在第二方向上的侧面与所述阴极挂具之间的垂直距离设为s，s满足关系：1.5≤r/s≤2.5。

技术总结本技术公开弧形阳极篮及电镀装置，属于电镀设备技术领域；在弧形阳极篮中，阳极篮主体具有互为垂直的第一方向、第二方向和上下方向，阳极篮主体具有开口朝上的容纳腔，阳极篮主体的长度方向沿第二方向延伸，阳极篮主体在第一方向上的其中一侧壁为第一弧形壁，沿上下方向看，第一弧形壁朝远离容纳腔的方向凸起，第一弧形壁设有多个连通于容纳腔的网孔，第一弧形壁的曲率半径R满足关系：250mm≤R≤550mm。在电镀装置中，电镀槽具有开口朝上的容腔，弧形阳极篮与阴极挂具沿着第一方向间隔设于容腔内，且第一弧形壁与阴极挂具相对设置。本技术能解决阴极上不同区域的镀层的厚度均匀性差问题，并最大限度减少阴极上不同区域的镀层厚度差异。技术研发人员：李钢受保护的技术使用者：德阳三环科技有限公司技术研发日：20231109技术公布日：2024/6/13