探针调节组件及探针台的制作方法

本技术设计晶圆检测的，尤其设计一种探针调节组件及探针台。

背景技术：

1、探针台是对半导体器件进行电性能测试的重要设备，探针台由精密的机械结构、高性能的探针针头和电性能测试仪器组成。探针台在工作过程中，通常利用探针对晶圆上的芯片进行测试，其中半自动探针台可以通过手动探针座调节探针的位置。

2、然而，传动的手动探针座在外力触碰下会存在不稳定的情况，导致探针测试误判断或损坏测试中芯片的风险。

技术实现思路

1、鉴于此，本技术提供一种探针调节组件，以使得探针的位置更加精准，保障探针台测试的精准度。

2、第一方面，本技术提供一种探针调节组件，所述探针调节组件应用于探针台中，所述探针台包括相连的探针臂及探针，所述探针调节组件通过探针臂连接于探针，所述探针调节组件包括：

3、基座；

4、移动组件，所述移动组件承载于所述基座，所述移动组件能够相对所述基座沿第一方向移动，且所述移动组件用于连接所述探针台的探针臂；

5、第一导轨组件，所述第一导轨组件包括滑动连接的第一导轨及第二导轨，所述第一导轨固定于所述基座，所述第二导轨固定于所述移动组件，且所述第二导轨能够相对所述第一导轨沿所述第一方向滑动；及

6、第一弹性组件，所述第一弹性组件的数量至少为两个，所述第一弹性组件包括依次相连的第一固定柱、第一弹性件及第二固定柱，所述第一固定柱连接于所述基座，所述第二固定柱连接于所述移动组件，所述第一弹性件沿所述第一方向进行延伸。

7、其中，所述移动组件包括：

8、第一移动座，所述第一移动座承载于所述基座，所述第一移动座能够相对所述基座沿第一方向移动；

9、第二移动座，所述第二移动座承载于所述第一移动座背离所述基座的一侧，所述第二移动座能够相对所述第一移动座沿第二方向移动，所述第二方向垂直于所述第一方向；及

10、第三移动座，所述第三移动座连接于所述第二移动座，所述第三移动座能够相对所述第二移动座沿第三方向移动，所述第三方向分别垂直于所述第一方向及所述第二方向，且所述第三移动座用于连接所述探针臂。

11、其中，所述探针调节组件还包括：

12、第二导轨组件，所述第二导轨组件包括滑动连接的第三导轨及第四导轨，所述第三导轨固定于所述第一移动座，所述第四导轨固定于所述第二移动座，且所述第四导轨能够相对所述第三导轨沿所述第二方向进行滑动；及

13、第二弹性组件，所述第二弹性组件的数量至少为两个，所述第二弹性组件包括依次相连的第三固定柱、第二弹性件及第四固定柱，所述第三固定柱连接于所述第一移动座，所述第四固定柱连接于所述第二移动座，所述第二弹性件沿所述第二方向进行延伸。

14、其中，所述第三移动座包括底座及转接板，所述底座固定连接于所述第二移动座，所述转接板滑动连接于所述底座，且所述转接板背离所述底座的一侧用于连接所述探针臂，所述探针调节组件还包括：

15、第三导轨组件，所述第三导轨组件包括滑动连接的第五导轨及第六导轨，所述第五导轨固定于所述底座，所述第六导轨固定于所述转接板，且所述第六导轨能够相对所述第五导轨沿所述第三方向滑动；及

16、第三弹性组件，所述第三弹性组件的数量至少为两个，所述第三弹性组件包括依次相连的第五固定柱、第三弹性件及第六固定柱，所述第五固定柱连接于所述底座，所述第六固定柱连接于所述转接板，所述第三弹性件沿所述第三方向延伸。

17、其中，所述探针调节组件还包括：

18、第一调节件，所述第一调节件包括第一固定座及第一微分头，所述第一固定座固定于所述基座，所述第一微分头抵接于所述第一移动座，所述第一微分头还活动连接于所述第一固定座，并能够相对所述第一固定座沿所述第一方向移动；

19、第二调节件，所述第二调节件包括第二固定座及第二微分头，所述第二固定座固定于所述第一移动座，所述第二微分头抵接于所述第二移动座，所述第二微分头还活动连接于所述第二固定座，并能够相对所述第二固定座沿所述第二方向移动；及

20、第三调节件，所述第三调节件包括第三固定座及第三微分头，所述第三固定座固定于所述底座，所述第三微分头抵接于所述转接板，所述第三微分头还活动连接于所述第三固定座，并能够相对所述第三固定座沿所述第三方向移动。

21、其中，所述探针调节组件还包括：

22、第一锁定件，所述第一锁定件包括第一固定片及第一紧固件，所述第一固定片的一端固定于所述基座，所述第一紧固件连接于所述第一固定片，且所述第一紧固件可拆卸连接于所述第一移动座；

23、第二锁定件，所述第二锁定件包括第二固定片及第二紧固件，所述第二固定片的一端固定于所述第一移动座，所述第二紧固件连接于所述第二固定片，且所述第二紧固件可拆卸连接于所述第二移动座；及

24、第三锁定件，所述第三锁定件包括第三固定片及第三紧固件，所述第三固定片的一端固定于所述底座，所述第三紧固件连接于所述第三固定片，且所述第三紧固件可拆卸连接于所述转接板。

25、其中，所述第一移动座在邻近所述基座的一侧具有第一凸出部，所述第一凸出部抵接于所述第二导轨；所述第二移动座在邻近所述第一移动座的一侧具有第二凸出部，所述第二凸出部抵接于所述第四导轨；所述转接板在邻近所述底座的一侧具有第三凸出部，所述第三凸出部抵接于所述第六导轨。

26、其中，所述第一凸出部包括相连的第一部及第二部，所述第一部抵接于所述第二导轨邻近所述第一移动座的一侧，所述第二部抵接于所述第二导轨的周侧面；所述第二凸出部包括相连的第三部及第四部，所述第三部抵接于所述第四导轨邻近所述第二移动座的一侧，所述第四部抵接于所述第四导轨的周侧面；所述第三凸出部包括相连的第五部及第六部，所述第五部抵接于所述第六导轨邻近所述转接板的一侧，所述第六部抵接于所述第六导轨的周侧面。

27、其中，所述第一移动座在邻近所述第一调节件的一侧具有第一避让槽，所述第一避让槽至少部分收容所述第一固定座及所述第一微分头；所述第二移动座在邻近所述第二调节件的一侧具有第二避让槽，所述第二避让槽至少部分收容所述第二固定座及所述第二微分头；所述转接板在邻近所述第三调节件的一侧具有第三避让槽，所述第三避让槽至少部分收容所述第三固定座及所述第三微分头。

28、第二方面，本技术提供一种探针台，所述探针台包括探针、探针臂及所述探针调节组件，所述探针连接于所述探针臂的一端，所述探针调节组件连接于所述探针臂的另一端，所述探针调节组件用于调节所述探针臂及所述探针的位置。所述探针调节组件包括基座、移动组件、第一导轨组件及第一弹性组件。所述移动组件能够相对所述基座沿第一方向移动，且所述移动组件用于连接所述探针台的探针臂。所述第一导轨组件包括滑动连接的第一导轨及第二导轨，所述第一导轨固定于所述基座，所述第二导轨固定于所述移动组件，且所述第二导轨能够相对所述第一导轨沿所述第一方向滑动，使得所述移动组件与所述基座之间具有较小的摩擦力和阻力，从而使得所述移动组件可以实现快速地移动，提升所述探针调节组件的工作效率。所述第一弹性组件的数量至少为两个，所述第一弹性组件包括依次相连的第一固定柱、第一弹性件及第二固定柱，所述第一固定柱连接于所述基座，所述第二固定柱连接于所述移动组件，所述第一弹性件沿所述第一方向进行延伸，至少两个所述第一弹性组件同时在所述移动组件的移动过程中对所述移动组件产生拉力，从而进一步避免所述移动组件在移动过程中因惯性而产生移动距离与预设距离产生偏差的情形，且使得所述探针臂及所述移动组件在外力触碰时不会产生位置的变化，从而使得所述探针的位置更加精准，进而保障所述探针台测试的精准度。