检测设备的制作方法

本发明涉及检测装置设备，尤其是涉及一种检测设备。

背景技术：

1、相关技术中，芯片制造完成之后，需要对其进行检测，从而判断芯片的表面是否存在缺陷，确保芯片的良率较高。其中，现有的检测设备对芯片检测时，会对芯片的背面和正面进行检测，从而确保芯片的正面和背面的良率较高。但是，由于检测设备只能够检测到芯片的正面和背面，因此，当芯片的侧面存在缺陷时，检测设备无法检测到芯片的缺陷情况，这会导致芯片的良率过低。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种检测设备，能够对芯片的侧面进行检测。

2、根据本发明的实施例的检测设备，用于检测芯片，所述芯片的侧面包括第一面、第二面、第三面和第四面，所述第一面与所述第三面相对设置，所述第二面与所述第四面相对设置，所述检测设备包括：

3、转移组件；

4、第一放置工位，用于放置所述芯片；

5、第二放置工位，用于放置所述芯片；

6、第三放置工位，用于放置所述芯片；

7、第四放置工位，用于放置所述芯片；

8、第一检测组件，用于检测放置于所述第一放置工位上的所述芯片的所述第一面；

9、第二检测组件，用于检测放置于所述第二放置工位上的所述芯片的所述第二面；

10、第三检测组件，用于检测放置于所述第三放置工位上的所述芯片的所述第三面；

11、第四检测组件，用于检测放置于所述第四放置工位上的所述芯片的所述第四面；

12、第一旋转组件，用于旋转所述芯片；

13、第二旋转组件，用于旋转所述芯片；

14、第三旋转组件，用于旋转所述芯片；

15、其中，所述第一旋转组件位于所述第一放置工位和所述第二放置工位之间，所述第二旋转组件位于所述第二放置工位和所述第三放置工位之间，所述第三旋转组件位于所述第三放置工位和所述第四放置工位之间；

16、所述转移组件用于将所述第一放置工位上的所述芯片转移至所述第一旋转组件上，所述转移组件还用于将所述第一旋转组件上的所述芯片转移至所述第二放置工位；

17、所述转移组件还用于将所述第二放置工位上的所述芯片转移至所述第二旋转组件上，所述转移组件还用于将所述第二旋转组件上的所述芯片转移至所述第三放置工位；

18、所述转移组件还用于将所述第三放置工位上的所述芯片转移至所述第三旋转组件上，所述转移组件还用于将所述第三旋转组件上的所述芯片转移至所述第四放置工位。

19、根据本发明实施例的检测设备，至少具有如下有益效果：第一放置工位放置芯片之后，第一检测组件可以对第一放置工位上的芯片的第一面进行检测，之后转移组件将芯片转移到第一旋转组件上，第一旋转组件对芯片进行旋转，接着转移组件将芯片放置在第二放置工位上，第二检测组件可以对第二放置工位上的芯片的第二面进行检测，之后转移组件将芯片转移到第二旋转组件上，第二旋转组件对芯片进行旋转，接着转移组件将芯片放置在第三放置工位上，第三检测组件可以对第三放置工位上的芯片的第三面进行检测，之后转移组件将芯片转移到第三旋转组件上，第三旋转组件对芯片进行旋转，接着转移组件将芯片放置在第四放置工位上，第四检测组件可以对第四放置工位上的芯片的第四面进行检测。如此，通过转移组件、第一检测组件、第二检测组件、第三检测组件、第四检测组件、第一旋转组件、第二旋转组件和第三旋转组件的配合，可以实现检测设备对芯片的各个侧面的检测。具体而言，检测设备，能够对芯片的侧面进行检测。

20、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述检测设备还包括翻转组件，所述翻转组件用于翻转所述芯片。

21、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述翻转组件包括第一驱动件、翻转件、第一保护件、第二保护件、转动件和固定件，所述第一驱动件连接于所述翻转件和所述转动件，所述翻转件设置有放置通孔，所述第一保护件和所述第二保护件均滑动连接于所述固定件，且所述第一保护件和所述第二保护件均连接于所述转动件，其中，所述第一驱动件能够驱动所述翻转件转动，所述第一驱动件能够同时驱动所述转动件转动，所述转动件转动并带动所述第一保护件和所述第二保护件均相对于所述固定件运动，以使所述第一保护件和所述第二保护件在第一状态、第二状态和第三状态之间切换；当所述第一保护件和所述第二保护件处于所述第一状态，所述第一保护件遮盖于所述放置通孔的一端以形成放置槽，所述放置槽用于放置所述芯片，所述第二保护件漏出所述放置通孔的另一端；当所述第一保护件和所述第二保护件处于所述第二状态，所述第二保护件遮盖于所述放置通孔的一端以形成所述放置槽，所述第一保护件漏出所述放置通孔的另一端；当所述第一保护件和所述第二保护件处于所述第三状态，所述第一保护件和所述第二保护件分别遮盖于所述放置通孔的两端。

22、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述转动件设置有运动槽，所述第一保护件具有第一运动部，所述第二保护件具有第二运动部，所述第一运动部和所述第二运动部均滑动设置于所述运动槽中，所述运动槽的槽壁包括第一直线部、两个第二直线部和两个曲线部，所述第一直线部的两端分别连接于两个所述曲线部，两个所述第二直线部分别与两个所述曲线部连接，所述第一直线部和所述第二直线部均沿所述转动件的周向延伸，沿所述转动件的轴向，所述第一直线部和所述第二直线部间隔设置，当所述转动件转动，所述第一运动部和所述第二运动部均能够在所述第一直线部至所述第二直线部之间滑动。

23、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述第一旋转组件包括定位件和第二驱动件，所述定位件设置有定位槽，所述定位槽用于放置所述芯片，所述第二驱动件连接于所述定位件，所述第二驱动件用于驱动所述定位件转动。

24、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述第一旋转组件还包括抵持件和第三驱动件，所述抵持件设置于所述定位槽中，所述第三驱动件连接于所述抵持件，所述第三驱动件用于驱动所述抵持件相对于所述定位件升降。

25、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述转移组件包括转塔、吸取件和第四驱动件，所述吸取件连接于所述转塔，所述吸取件用于吸取所述芯片，所述转塔连接于所述第四驱动件，所述第四驱动件用于驱动所述转塔转动，以使所述转塔带动所述吸取件转动。

26、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述吸取件设置有多个，多个所述吸取件围绕所述转塔的中心周向设置。

27、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述第一检测组件包括相机和支架，所述相机连接于所述支架。

28、根据本发明的一些实施例的检测设备，所述相机滑动连接于所述支架。

29、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.检测设备，用于检测芯片，所述芯片的侧面包括第一面、第二面、第三面和第四面，所述第一面与所述第三面相对设置，所述第二面与所述第四面相对设置，其特征在于，所述检测设备包括：

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括翻转组件，所述翻转组件用于翻转所述芯片。

3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述翻转组件包括第一驱动件、翻转件、第一保护件、第二保护件、转动件和固定件，所述第一驱动件连接于所述翻转件和所述转动件，所述翻转件设置有放置通孔，所述第一保护件和所述第二保护件均滑动连接于所述固定件，且所述第一保护件和所述第二保护件均连接于所述转动件，其中，所述第一驱动件能够驱动所述翻转件转动，所述第一驱动件能够同时驱动所述转动件转动，所述转动件转动并带动所述第一保护件和所述第二保护件均相对于所述固定件运动，以使所述第一保护件和所述第二保护件在第一状态、第二状态和第三状态之间切换；当所述第一保护件和所述第二保护件处于所述第一状态，所述第一保护件遮盖于所述放置通孔的一端以形成放置槽，所述放置槽用于放置所述芯片，所述第二保护件漏出所述放置通孔的另一端；当所述第一保护件和所述第二保护件处于所述第二状态，所述第二保护件遮盖于所述放置通孔的一端以形成所述放置槽，所述第一保护件漏出所述放置通孔的另一端；当所述第一保护件和所述第二保护件处于所述第三状态，所述第一保护件和所述第二保护件分别遮盖于所述放置通孔的两端。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述转动件设置有运动槽，所述第一保护件具有第一运动部，所述第二保护件具有第二运动部，所述第一运动部和所述第二运动部均滑动设置于所述运动槽中，所述运动槽的槽壁包括第一直线部、两个第二直线部和两个曲线部，所述第一直线部的两端分别连接于两个所述曲线部，两个所述第二直线部分别与两个所述曲线部连接，所述第一直线部和所述第二直线部均沿所述转动件的周向延伸，沿所述转动件的轴向，所述第一直线部和所述第二直线部间隔设置，当所述转动件转动，所述第一运动部和所述第二运动部均能够在所述第一直线部至所述第二直线部之间滑动。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一旋转组件包括定位件和第二驱动件，所述定位件设置有定位槽，所述定位槽用于放置所述芯片，所述第二驱动件连接于所述定位件，所述第二驱动件用于驱动所述定位件转动。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第一旋转组件还包括抵持件和第三驱动件，所述抵持件设置于所述定位槽中，所述第三驱动件连接于所述抵持件，所述第三驱动件用于驱动所述抵持件相对于所述定位件升降。

7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述转移组件包括转塔、吸取件和第四驱动件，所述吸取件连接于所述转塔，所述吸取件用于吸取所述芯片，所述转塔连接于所述第四驱动件，所述第四驱动件用于驱动所述转塔转动，以使所述转塔带动所述吸取件转动。

8.根据权利要求7所述的检测设备，其特征在于，所述吸取件设置有多个，多个所述吸取件围绕所述转塔的中心周向设置。

9.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一检测组件包括相机和支架，所述相机连接于所述支架。

10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述相机滑动连接于所述支架。

技术总结本发明公开了一种检测设备，检测设备包括：转移组件、第一放置工位、第二放置工位、第三放置工位、第四放置工位、第一检测组件、第二检测组件、第三检测组件、第四检测组件、第一旋转组件、第二旋转组件和第三旋转组件。转移组件用于将芯片在各个组件之间转移，第一检测组件用于检测芯片的第一面，第二检测组件用于检测芯片的第二面，第三检测组件用于检测芯片的第三面，第四检测组件用于检测芯片的第四面，第一旋转组件、第二旋转组件和第三旋转组件用于旋转所述芯片。本发明的检测设备，能够对芯片的侧面进行检测。技术研发人员：陈恕华,高峰受保护的技术使用者：东鼎半导体技术（深圳）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25