一种用于半导体设备的热交换温控系统的制作方法

本发明涉及半导体热交换，更具体地说，它涉及一种用于半导体设备的热交换温控系统。

背景技术：

1、用于半导体设备的热交换温控系统是一种利用溶液的吸收和再生的过程来传递和转换热量的系统。它通常由吸收器、冷凝器、蒸发器和热源组成。

2、在吸收器中，溶液从热源吸收热量，使溶液中的溶质从液态变为气态，同时释放出热量。然后，这些带有热量的气体进入冷凝器，将热量释放给冷流体。接着，冷凝后的液体回到蒸发器，再次吸收热量，完成循环。

3、相关技术中，热交换系统与溶液温度有着紧密的联系，当水中的溶液温度量低于阈值时，系统会将加热器开启，持续向溶液中加热，当溶液温度量达到标准时，系统会将加热器关闭，进而加热器停止供氧。这样频繁的启闭加热器，不仅容易造成加热器的故障，而且还降低了热交换的效率。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种用于半导体设备的热交换温控系统。

2、为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

3、一种用于半导体设备的热交换温控系统，包括溶液采集模块、增温调整模块、间隔调整模块；

4、溶液采集模块连接增温调整模块，且溶液采集模块连接间隔调整模块，间隔调整模块连接增温调整模块，且增温调整模块连接手动调节模块，手动调节模块连接加压模块，加压模块连接出水模块，出水模块连接目标装置，通过循环液对目标装置实现换热，目标装置的输出端连接高温进水模块，高温进水模块连接换热模块，换热模块连接增温调整模块，实现冷却液的循环；

5、换热模块连接厂务冷却水，且厂务冷却水连接控制模块连接，控制模块连接换热模块，通过水冷却实现换热模块的换热；

6、所述溶液采集模块用于将系统中热交换溶液中采集到的数据标记为目标溶液，在相同时间间隔的基础上，连续检测目标溶液的溶液量温度；

7、所述增温调整模块用于调整目标溶液中加热器的增温功率，具体为：

8、获取得到目标溶液在系统当前时间温度量与之前检测的n个温度量，将n个温度量按照检测时间先后顺序进行排序，将排序后相邻的前一个温度量标记为定点温度量，将排序后相邻的后一个温度量标记为变点温度量，将定点温度量与变点温度量进行差值计算，获取得到温度降值，设置每个温度降值均对应一个目标降值，将每个溶液降值与目标降值进行对比；当温度降值＜目标降值时，将该温度降值标记为理想降值，获取得到理想值wz；当温度降值≥目标降值时，将该温度降值标记为失落降值，获取得到失落值ed，获取得到增温调整值tw，设置增温调整高值为ek，设置增温调整低值为kc；当增温调整值tw≥增温调整高值ek时，将该目标溶液中加热器的增温功率向上调整，并将当前标记时间标记为特标时刻；当增温调整低值kc≤增温调整值tw＜增温调整高值ek时，不对该目标溶液中加热器的增温功率进行调整；当增温调整值tw＜清洗控制低值bn时，将该目标溶液中加热器的增温功率向下调整；

9、所述间隔调整模块用于调整溶液采集模块检测目标溶液的时间间隔，具体为：

10、当目标溶液标记为待检溶液时，将该标记时刻标记为待检时刻，获取得到该目标溶液的待检间隔fu，设置每个待检间隔均对应一个待检间隔阈值，将每个待检间隔与待检间隔阈值进行对比，当待检间隔＜待检间隔阈值时，将该待检间隔标记为高频间隔，获取得到高频值sj，当待检间隔≥待检间隔阈值时，将该待检间隔标记为低频间隔，获取得到低频值gb；

11、获取得到间隔调整值jx，设置间隔调整低值为sp，设置间隔调整高值为ti，当间隔调整值jx≥间隔调整高值ti时，将溶液采集模块检测该目标溶液量的时间间隔缩短，当间隔调整低值sp≤间隔调整值jx＜间隔调整高值ti时，不作处理，当间隔调整值jx＜间隔调整低值sp时，将溶液采集模块检测该目标溶液量的时间间隔延长。

12、优选地，理想值wz通过下述步骤获取得到：将目标降值与理想降值进行差值计算，获取得到理想降差，将所有理想降差进行求和处理，获取得到理想降总差，并标记为pr，获取得到该溶液降值标记为理想降值的总次数，并标记为kg。

13、优选地，将理想降差按照对应定点溶液量的检测时间先后顺序进行排序，将排序后相邻两个定点溶液量的检测时间进行时间差值计算，获取得到理想间隔，将所有理想间隔进行求和处理并取均值，获取得到平均理想间隔，并标记为jt，利用公式获取得到理想值wz，其中，a1为理想降总差系数，a2为理想次数系数，a3为理想间隔系数。

14、优选地，失落值ed通过下述步骤获取得到：将失落降值与目标降值进行差值计算，获取得到失落降差，将所有失落降差进行求和处理，获取得到失落降总差，并标记为cb，获取得到该溶液降值标记为失落降值的总次数，并标记为se。

15、优选地，将失落降差按照对应定点溶液量的检测时间先后顺序进行排序，将排序后相邻两个定点溶液量的检测时间进行时间差值计算，获取得到失落间隔，将所有失落间隔进行求和处理并取均值，获取得到平均失落间隔，并标记为fz，利用公式获取得到失落值ed，其中，b1为失落降总差系数，b2为失落次数系数，b3为失落间隔系数。

16、优选地，增温调整值tw通过下述步骤获取得到：利用公式获取得到增温调整值tw，其中，c1为失落值系数，c2为理想值系数。

17、优选地，待检间隔fu通过下述步骤获取得到：获取得到该目标溶液在系统当前时间之前的m个待检时刻，将相邻两个待检时刻进行时间差值计算，获取得到待检间隔，并标记为fu。

18、优选地，高频值sj通过下述步骤获取得到：将待检间隔阈值与高频间隔进行差值计算，获取得到高频间隔差，将所有高频间隔差进行求和处理，获取得到高频间隔总差，并标记为bk，获取得到待检间隔标记为高频间隔的总次数，并标记为fm，利用公式获取得到高频值sj，其中，x1为高频间隔总差系数，x2为高频间隔次数系数，低频值gb通过下述步骤获取得到：将低频间隔与待检间隔阈值进行差值计算，获取得到低频间隔差，将所有低频间隔差进行求和处理，获取得到低频间隔总差，并标记为ap，获取得到待检间隔标记为低频间隔的总次数，并标记为nb，利用公式获取得到低频值gb，其中，y1为低频间隔总差系数，y2为低频间隔次数系数。

19、与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

20、（1）本发明中通过设置增温调整模块，可以根据溶液温度降值及时调整每个目标溶液中加热器的增温功率，不再需要频繁的开关加热器，通过加热器的增温功率的自动调整满足目标溶液的热交换需求，保证目标溶液的合理增温，从而提高热交换的效率。

21、（2）本发明中通过设置间隔调整模块，可以及时调整溶液采集模块检测目标池塘溶氧量的时间间隔，保证每个目标溶液可以得到合理的信息采集。

技术特征：

1.一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，包括溶液采集模块、增温调整模块、间隔调整模块；

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，所述间隔调整模块用于调整溶液采集模块检测目标溶液的时间间隔，具体为：

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，理想值wz通过下述步骤获取得到：将目标降值与理想降值进行差值计算，获取得到理想降差，将所有理想降差进行求和处理，获取得到理想降总差，并标记为pr，获取得到该溶液降值标记为理想降值的总次数，并标记为kg。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，将理想降差按照对应定点溶液量的检测时间先后顺序进行排序，将排序后相邻两个定点溶液量的检测时间进行时间差值计算，获取得到理想间隔，将所有理想间隔进行求和处理并取均值，获取得到平均理想间隔，并标记为jt，利用公式获取得到理想值wz，其中，a1为理想降总差系数，a2为理想次数系数，a3为理想间隔系数。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，失落值ed通过下述步骤获取得到：将失落降值与目标降值进行差值计算，获取得到失落降差，将所有失落降差进行求和处理，获取得到失落降总差，并标记为cb，获取得到该溶液降值标记为失落降值的总次数，并标记为se。

7.根据权利要求6所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，将失落降差按照对应定点溶液量的检测时间先后顺序进行排序，将排序后相邻两个定点溶液量的检测时间进行时间差值计算，获取得到失落间隔，将所有失落间隔进行求和处理并取均值，获取得到平均失落间隔，并标记为fz，利用公式获取得到失落值ed，其中，b1为失落降总差系数，b2为失落次数系数，b3为失落间隔系数。

8.根据权利要求7所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，增温调整值tw通过下述步骤获取得到：利用公式获取得到增温调整值tw，其中，c1为失落值系数，c2为理想值系数。

9.根据权利要求8所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，待检间隔fu通过下述步骤获取得到：获取得到该目标溶液在系统当前时间之前的m个待检时刻，将相邻两个待检时刻进行时间差值计算，获取得到待检间隔，并标记为fu。

10.根据权利要求9所述的一种用于半导体设备的热交换温控系统，其特征在于，高频值sj通过下述步骤获取得到：将待检间隔阈值与高频间隔进行差值计算，获取得到高频间隔差，将所有高频间隔差进行求和处理，获取得到高频间隔总差，并标记为bk，获取得到待检间隔标记为高频间隔的总次数，并标记为fm，利用公式获取得到高频值sj，其中，x1为高频间隔总差系数，x2为高频间隔次数系数，低频值gb通过下述步骤获取得到：将低频间隔与待检间隔阈值进行差值计算，获取得到低频间隔差，将所有低频间隔差进行求和处理，获取得到低频间隔总差，并标记为ap，获取得到待检间隔标记为低频间隔的总次数，并标记为nb，利用公式获取得到低频值gb，其中，y1为低频间隔总差系数，y2为低频间隔次数系数。

技术总结本发明公开了一种用于半导体设备的热交换温控系统，涉及半导体热交换技术领域，包括溶液采集模块、增温调整模块、间隔调整模块；所述溶液采集模块用于将系统中热交换溶液采集的数据标记为目标溶液，在相同时间间隔的基础上，连续检测目标溶液的溶液量温度，所述增温调整模块用于调整目标溶液中加热器的增温功率，具体为：获取得到目标溶液在系统当前时间温度与系统设定的温度差，通过设置增温调整模块，可以根据溶液温度降值及时调整每个目标溶液中加热器的增温功率，不再需要频繁的开关加热器，通过加热器的增温功率的自动调整满足目标溶液的热交换需求，保证目标溶液的合理增温，从而提高热交换的效率。技术研发人员：张斌,曹亚峰,赵宗龙,石明来受保护的技术使用者：安徽优睿半导体技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/23