一种改进型静电吸盘的制作方法

本发明涉及半导体制造设备，尤其涉及一种改进型静电吸盘。

背景技术：

1、半导体器件或显示器件是通过化学气相沉(cvd)工艺、物理气相沉积(pvd)工艺、离子注入工艺(ionimplantation)、蚀刻工艺(etchprocess)等的半导体工艺在玻璃基板、柔性基板或半导体晶圆基板等上堆叠和图案化多个薄膜层来制造。在用于执行这种半导体工艺的腔室装置中具有静电吸盘(electro static chuck，esc)，静电吸盘用于支撑如玻璃基板、柔性基板和半导体晶圆基板等的各种基板。

2、静电吸盘通常由衬底基板以及配置在所述衬底基板上部的静电吸盘板(静电吸盘结构物)构成，其中，静电吸盘板作为执行静电吸盘功能的多层结构物，可以包括绝缘层、加热层、电极层；静电吸盘具备用于利用外部的冷却气体而使腔室内部的基板均匀冷却的冷却结构，同时，静电吸盘需要使用探针使使基板在工艺位和上升位活动；

3、传统的静电吸盘的探针在气缸的驱动进行上下运动的过程中，容易发生颤抖，造成基板不稳，影响工艺质量，甚至造成基板破碎。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明的目的在于提出一种改进型静电吸盘，以解决静电吸盘探针在移动时容易发生震颤，影响工艺质量的问题。

2、基于上述目的，本发明提供了一种改进型静电吸盘，包括有主基座，所述主基座的顶部设置有陶瓷盘，所述陶瓷盘上开设有至少一组的针孔，还包括：

3、固定框，固定连接设置在陶瓷盘的底部，所述固定框内部空心形成限位腔，所述固定框的顶部开设有顶槽；

4、定位板，滑动连接设置在顶槽内，所述定位板的顶部固定连接设置有与针孔相对应的探针，所述探针通过所述针孔穿设陶瓷盘并向外漏出，所述定位板的底部固定连接设置有定位杆，所述定位杆向下穿设固定框的顶部并在限位腔的顶部漏出；

5、用于顶起定位杆的顶块，呈圆台状，滑动连接设置在限位腔内，顶块的底部设置有用于驱动顶块移动的驱动组件；

6、所述主基座内腔的两侧对称开设有限位孔，所述限位孔内滑动连接设置有支撑杆，所述支撑杆的一端位于第一通孔(内，另一端穿设固定框并与顶块外表面的斜面贴合；

7、第一弹性件，固定连接设置在支撑杆位于第一通孔内的一端；

8、第二弹性件，固定连接设置在陶瓷盘的底部，所述第二弹性件的底部与顶块的顶部搭接。

9、进一步的，所述驱动组件包括侧基座，所述主基座的一侧固定连接设置有侧基座，所述主基座上开设有滑孔，主基座的内腔与侧基座的内腔通过所述滑孔连通，所述固定框的底部中心处开设有第二通孔，所述顶块的底部固定连接设置有竖杆，所述竖杆通过第二通孔向下穿设固定框的底部，所述竖杆的底部固定连接设置有横杆，所述横杆通过滑孔穿设主基座的外壁并伸入至侧基座内，所述侧基座的外壁固定连接设置有用于带动横杆沿着滑孔内纵向移动的气缸。

10、进一步的，所述第二通孔的内壁设置有密封垫，密封垫的内壁与竖杆的外壁紧贴。

11、进一步的，所述顶块的顶部设置有定位组件。

12、进一步的，所述定位组件包括凹槽，所述顶块的顶部开设有凹槽，所述凹槽的底部中心处固定连接设置有顶杆，所述定位杆的底部开设有与顶杆相适配的定位槽。

13、进一步的，所述顶杆的顶部设置有圆锥凸起，所述定位槽的顶部开设有与圆锥凸起相适配的圆锥槽。

14、进一步的，所述固定框的两侧对称开设有第一通孔，所述支撑杆通过第一通孔穿设固定框的外壁，所述第一通孔的内周设置有密封圈，所述密封圈的内壁与支撑杆的外壁紧贴。

15、本发明的有益效果：从上面所述可以看出，本发明提供的一种改进型静电吸盘，通过设置的支撑杆，顶块向上移动会向两侧推动支撑杆移动，使第一弹性件压缩形变产生弹性势能，抑制顶块在水平方向的震动，顶块向上移动会使第二弹性件压缩形变产生弹性势能，抑制了顶块在垂直方向的震动，从而能够使顶块平稳移动，有效保证了定位板的平稳移动，进而保证了探针的平稳移动。

技术特征：

1.一种改进型静电吸盘，包括有主基座(1)，所述主基座(1)的顶部设置有陶瓷盘(4)，所述陶瓷盘(4)上开设有至少一组的针孔(401)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的改进型静电吸盘，其特征在于，所述驱动组件包括侧基座(2)，所述主基座(1)的一侧固定连接设置有侧基座(2)，所述主基座(1)上开设有滑孔(101)，主基座(1)的内腔与侧基座(2)的内腔通过所述滑孔(101)连通，所述固定框(5)的底部中心处开设有第二通孔(502)，所述顶块(6)的底部固定连接设置有竖杆(9)，所述竖杆(9)通过第二通孔(502)向下穿设固定框(5)的底部，所述竖杆(9)的底部固定连接设置有横杆(8)，所述横杆(8)通过滑孔(101)穿设主基座(1)的外壁并伸入至侧基座(2)内，所述侧基座(2)的外壁固定连接设置有用于带动横杆(8)沿着滑孔(101)内纵向移动的气缸(3)。

3.根据权利要求2所述的改进型静电吸盘，其特征在于，所述第二通孔(502)的内壁设置有密封垫，密封垫的内壁与竖杆(9)的外壁紧贴。

4.根据权利要求1所述的改进型静电吸盘，其特征在于，所述顶块(6)的顶部设置有定位组件。

5.根据权利要求1所述的改进型静电吸盘，其特征在于，所述定位组件包括凹槽(601)，所述顶块(6)的顶部开设有凹槽(601)，所述凹槽(601)的底部中心处固定连接设置有顶杆(602)，所述定位杆(11)的底部开设有与顶杆(602)相适配的定位槽(1101)。

6.根据权利要求5所述的改进型静电吸盘，其特征在于，所述顶杆(602)的顶部设置有圆锥凸起，所述定位槽(1101)的顶部开设有与圆锥凸起相适配的圆锥槽。

7.根据权利要求1所述的改进型静电吸盘，其特征在于，所述固定框(5)的两侧对称开设有第一通孔(501)，所述支撑杆(7)通过第一通孔(501)穿设固定框(5)的外壁，所述第一通孔(501)的内周设置有密封圈，所述密封圈的内壁与支撑杆(7)的外壁紧贴。

技术总结本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种改进型静电吸盘，包括有主基座，所述主基座的顶部设置有陶瓷盘，所述陶瓷盘上开设有至少一组的针孔，还包括固定框，固定连接设置在陶瓷盘的底部，所述固定框内部空心形成限位腔，所述固定框的顶部开设有顶槽；定位板，滑动连接设置在顶槽内。本发明通过设置的支撑杆，顶块向上移动会向两侧推动支撑杆移动，使第一弹性件压缩形变产生弹性势能，抑制顶块在水平方向的震动，顶块向上移动会使第二弹性件压缩形变产生弹性势能，抑制了顶块在垂直方向的震动，从而能够使顶块平稳移动，有效保证了定位板的平稳移动，进而保证了探针的平稳移动。技术研发人员：徐会杰,孙晓东,郭铁,顾勇,程飞,尤杨,陈占开,蔡爱玲受保护的技术使用者：安徽华矽半导体科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25